【技术实现步骤摘要】
用于化学药液桶的连接装置
本技术涉及掩膜版制造
,尤其是一种用于化学药液桶的连接装置。
技术介绍
掩膜版又称光掩膜版、光罩,由石英玻璃作为基板衬底,首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层,然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光,被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模母版。掩膜版是LCD等面板生产过程中不可或缺的重要部件,LCD面板厂用掩膜版进行曝光以获取其需求图形。在掩膜版涂胶过程中,由于光刻胶具有很强的挥发性,在刮涂过程中留在刀口的光刻胶会很快结块,因此会用相应的化学药液来对刀口进行清理;此外,在旋涂过程中,有大部分光刻胶会因为离心力的作用被甩出掩膜版,甩到涂胶机腔体转盘及卡盘盖子上,这些被甩出的光刻胶也需要用到特定的化学药剂进行清理。目前的清理步骤为:将化学药液桶内的化学药液转运到缓存桶中,通过气压将缓存桶中的化学药液压送至待清理的地方对光刻胶进行清理。将化学药液桶内的化学药液转运到缓存桶中主要有两种方式: ...
【技术保护点】
1.用于化学药液桶的连接装置,其特征在于,包括壳体(1),壳体(1)上设置有与化学药液桶(4)螺纹匹配的螺纹凹槽(11),壳体(1)上贯穿的布置有高压气管(12)和出液管(13),所述出液管(13)延伸至化学药液桶(4)的底部,高压气管(12)上连接有动力机构。/n
【技术特征摘要】
1.用于化学药液桶的连接装置,其特征在于,包括壳体(1),壳体(1)上设置有与化学药液桶(4)螺纹匹配的螺纹凹槽(11),壳体(1)上贯穿的布置有高压气管(12)和出液管(13),所述出液管(13)延伸至化学药液桶(4)的底部,高压气管(12)上连接有动力机构。
2.如权利要求1所述的用于化学药液桶的连接装置,其特征在于,还包括力矩机构,所述力矩机构包括围合壳体(1)布置的U形力矩件(2)和力矩杆(3),所述力矩件(2)一端内侧布置有凸柱(21),另一端布置有螺纹通孔(22),力矩杆(3)上设置有螺纹,力矩杆(3)通过螺纹通孔(22)与力矩件(2)连接,壳体(1)上布置有与凸柱(21)匹配的卡槽(14)。
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【专利技术属性】
技术研发人员:林伟,林超,
申请(专利权)人:成都路维光电有限公司,
类型:新型
国别省市:四川;51
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