一种检测无水肼的LB膜气体传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种检测无水肼的ＬＢ膜气体传感器，属于制造领域，包括敏感薄膜、基片、微电极、电源、电流表；通过掩膜方法在玻璃基底上刻蚀出微电极Ａｌ电极，利用单分子层转移膜的方法将敏感薄膜覆盖在微电极Ａｌ电极上，同时也与玻璃基底有接触，电源、电流表和微电极成串联关系。其中，敏感薄膜采用二硫杂环戊二烯络合物ＬＢ膜；基片采用表面的光洁程度玻璃或者石英玻璃；微电极采用厚度２５０－３５０ｎｍ、５０微米的微电极宽度、欧姆接触电阻最小金属Ａｌ；电源：输出为０～２００Ｖ；电流表：灵敏度为１０↑［－１０］Ａ。本发明专利技术的有益效果为：检测的灵敏度要高，对肼浓度的检测限应达到０．０５ｐｐｍ即５０ｐｐｂ。肼气体传感器体积小、重量轻，特别是使用其敏感薄膜选择性强、灵敏度高的特点，补偿了平面叉指微电极传感器输出信号较弱的缺点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种LB膜气体传感器，特别是涉及一种检测无水肼的LB膜气体 传感器，属于制造领域。
技术介绍
肼气体的检测方法虽然有多种方法，但各有其特点。从实际使用的角度来 看，要求检测的灵敏度要高。 一般应优于lppm。按当前美国工业卫生与健康协 会的要求标准，对肼浓度的检测限应达到0.05ppm即50ppb。其次是检测器的 体积小、重量轻。此外，从星载和其它空间飞行器应用的角度考虑，检测器的 能耗还要尽可能的小。对于地面检测来说，后面两条要宽松得多。但本文的设 计总指导思想仍以上述三个方面来考虑。如果以小型化为主来考虑，场效应管式的气体传感器是一种很好的选择， 它的特点是集成度高，输出信号强，基本上无需二次信号的放大处理。缺点是 敏感薄膜对气体的选择性要强，稳定性高，与器件工艺的兼容性差。如采用LB 膜，目前很难达到使用的要求。与场效应管式结构不同，平面微电极式和表面 声学波式LB膜气体传感器在近年来受到广泛的重视，特别是平面叉指微电极 式薄膜气体传感器，由于制作工艺相对简单，成功的使用较大面积来减小由于 敏感薄膜局域结构的缺陷等因素，特别是使用其敏感薄膜选择性强、灵敏度高 的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于无水肼探测的二硫杂化环戊二烯络合物ＬＢ膜，包括敏感薄膜、基片、微电极、电源、电流表；其特征在于连接关系为：通过掩膜方法在玻璃基底３上刻蚀出微电极Ａｌ电极１，利用单分子层转移膜的方法将敏感薄膜２覆盖在微电极Ａｌ电极１上，同时也与玻璃基底有接触，电源、电流表和微电极１成串联关系。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郭云，孙岩，王润福，熊玉卿，杨德全，张剑锋，
申请(专利权)人：中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所，
类型：发明
国别省市：62[中国|甘肃]