一种氧化镓光电探测器及其制备方法技术

本公开提供了一种氧化镓光电探测器，包括：衬底(100)；氧化镓层(200)，其设于衬底(100)的表面；第一电极(300)和第二电极(400)，第一电极(300)和第二电极(400)不接触，第一电极(300)和第二电极(400)均包括多个支层，多个支层的一端镶嵌于氧化镓层(200)的内部及表面，另一端相互连接于氧化镓层(200)的外部。另一方面，本公开还提供了一种氧化镓光电探测器的制备方法。本公开中的结构制作简单，电场在整个探测器中分布均匀，可显著提高氧化镓日盲光电探测器的量子效率、响应度、响应速度和线性响应范围等性能。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化镓光电探测器及其制备方法
本申请涉及光电探测
，尤其涉及一种氧化镓光电探测器及其制备方法。
技术介绍
光电探测器是一类能将光信号转化为电信号从而实现对光的探测的光电子器件。日盲波段指波长范围在200～280nm的紫外光。由于大气臭氧层的强烈吸收，太阳光中的这部分不能达地表，因此日盲探测具有背景干扰小的突出优点，在空间天文望远镜、导弹预警、非视距保密光通信、海上破雾导航、电网监测、火灾遥感及生化监测等方面具有广阔的应用前景。根据机理的不同，光电探测器可以分为外光电效应探测器以及内光电效应探测器。外光电效应探测器依靠电子吸收光子后从材料表面逸出的外光电效应，主要有光电倍增管、像增强器等，这种器件一般需要高真空、体积较大也较脆弱。内光电效应包括光电导效应和光伏效应。光电导效应是指材料吸收光子后发生电子跃迁，从而使得自由载流子浓度上升，电阻率下降。光伏效应则指光照下产生的自由载流子在器件内建电场的作用下分别被运输到器件的两端，从而导致器件两端电压下降。内光电效应探测器具有可小型化、不需要真空等突出优点。目前用于内光电效应日盲探测的材料主要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化镓光电探测器，包括：/n衬底(100)；/n氧化镓层(200)，其设于所述衬底(100)的表面；/n第一电极(300)和第二电极(400)，第一电极(300)和第二电极(400)不接触，所述第一电极(300)和第二电极(400)均包括多个支层，多个支层的一端镶嵌于所述氧化镓层(200)的内部及表面，另一端相互连接于所述氧化镓层(200)的外部。/n

【技术特征摘要】
1.一种氧化镓光电探测器，包括：
衬底(100)；
氧化镓层(200)，其设于所述衬底(100)的表面；
第一电极(300)和第二电极(400)，第一电极(300)和第二电极(400)不接触，所述第一电极(300)和第二电极(400)均包括多个支层，多个支层的一端镶嵌于所述氧化镓层(200)的内部及表面，另一端相互连接于所述氧化镓层(200)的外部。


2.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，所述多个支层的另一端相互连接并延伸至所述衬底(100)的表面。


3.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，所述第一电极(300)的多个支层与所述第二电极(400)的多个支层一一对应。


4.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，所述第一电极(300)和第二电极(400)之间的间距大于5nm。


5.根据权利要求1所述的氧化镓光电探测器，所述同一电极相邻两支层间的氧化镓层(200)的垂直厚度大于5nm。

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓龙，谭鹏举，侯小虎，徐光伟，龙世兵，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：安徽;34