反射式主动元件阵列基板及其制作方法与反射式显示设备技术

本发明专利技术提供一种反射式主动元件阵列基板及其制作方法与反射式显示设备。反射式主动元件阵列基板包括基板、多个主动组件、保护层以及多个金属氧化物导体层。主动组件分散地配置于基板上。保护层配置于基板上且覆盖主动组件。保护层具有多个开口，且每一开口分别暴露出相对应的主动组件的源极或漏极。金属氧化物导体层配置于基板上且覆盖保护层。每一金属氧化物导体层通过对应的开口与相对应的主动元件的源极或漏极电性连接。因此，可减少外界光线反射。

【技术实现步骤摘要】
反射式主动元件阵列基板及其制作方法与反射式显示设备
本专利技术涉及一种基板及其制作方法，由其涉及一种反射式主动元件阵列基板及其制作方法与采用此反射式主动元件阵列基板的反射式显示设备。
技术介绍
电泳式显示设备多为反射式显示设备，利用其内部的电泳粒子反射外界光束，进而达到显示画面的目的。目前，电泳式显示设备的主动元件阵列基板大都使用不透光的金属材质作为导电电极。金属材质的导电电极除了导电的效果之外，亦可遮光以避免主动元件因照光而有光电效应发生。然而，当显示介质层发生破洞时，金属材料的导电电极会直接反射光线，造成观看者会看到明显亮点，进而影响产品品质。
技术实现思路
本专利技术是针对一种反射式主动元件阵列基板，以金属氧化物导体层取代现有的金属材质的导电电极，具有较低的光反射率，可减少外界光线反射。本专利技术是针对一种反射式主动元件阵列基板的制作方法，用以制作上述的反射式主动元件阵列基板。本专利技术亦提供一种反射式显示设备，包括上述的反射式主动元件阵列基板，具有较佳的显示品质。本专利技术的反射式主动元件阵列本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种反射式主动元件阵列基板，包括：/n基板；/n多个主动元件，分散地配置于所述基板上；/n保护层，配置于所述基板上，且覆盖所述多个主动元件，其中所述保护层具有多个开口，且所述多个开口的每一个分别暴露出相对应的所述多个主动元件的每一个的源极或漏极；以及/n多个金属氧化物导体层，配置于所述基板上，且覆盖所述保护层，其中所述多个金属氧化物导体层的每一个通过对应的所述多个开口的每一个与相对应的所述多个主动元件的每一个的所述源极或所述漏极电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种反射式主动元件阵列基板，包括：
基板；
多个主动元件，分散地配置于所述基板上；
保护层，配置于所述基板上，且覆盖所述多个主动元件，其中所述保护层具有多个开口，且所述多个开口的每一个分别暴露出相对应的所述多个主动元件的每一个的源极或漏极；以及
多个金属氧化物导体层，配置于所述基板上，且覆盖所述保护层，其中所述多个金属氧化物导体层的每一个通过对应的所述多个开口的每一个与相对应的所述多个主动元件的每一个的所述源极或所述漏极电性连接。


2.根据权利要求1所述的反射式主动元件阵列基板，其中所述多个金属氧化物导体层的每一个的材质包括氧化钼、氧化钼铌、氧化钽或氧化铝。


3.根据权利要求1所述的反射式主动元件阵列基板，其中所述多个主动元件的每一个包括：
栅极，配置于所述基板上；
半导体通道层；
栅绝缘层，覆盖所述栅极，且位于所述栅极与所述半导体通道层之间；以及
所述源极与所述漏极，配置于所述半导体通道层的同一侧，且暴露出部分所述半导体通道层。


4.一种反射式主动元件阵列基板的制作方法，包括：
提供阵列基板，所述阵列基板包括基板、多个主动元件以及保护层，其中所述多个主动元件分散地形成在所述基板上，而所述保护层形成在所述基板上且覆盖所述多个主动元件，所述保护层具有多个开口，而所述多个开口的每一个分别暴露出相对应的所述多个主动元件的每一个的源极或漏极；
将所述阵列基板移至反应腔室内，其中所述反应腔室设置有金属靶材；以及
将反应气体通入所述反应腔室，以与所述金属靶材进行化学反应，而在所述阵列基板上形成多个金属氧化物导电层，其中所述多个金属氧化物导体层覆盖所述保护层，且所述多个金属氧化物导体层通过对应的所述多个开口的每一个与相对应的所述多个主动元件的每一个的所述源极或所述漏极电性连接。


5.根据权利要求4所述的反射式主动元件阵列基板的制作方法，其中所述金属靶材包括钼、钼铌、钽或铝，而所述反应气体包括氧。
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【专利技术属性】
技术研发人员：张建兴，
申请(专利权)人：元太科技工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71