一种用于蓝宝石基底的增透薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种用于蓝宝石基底的增透薄膜，该增透薄膜包括五层薄膜层，其由蓝宝石材料基面（1）向外依次为SiO

【技术实现步骤摘要】
一种用于蓝宝石基底的增透薄膜及其制备方法
本专利技术涉及光学薄膜
，具体涉及一种用于蓝宝石基底的增透薄膜及其制备方法。
技术介绍
蓝宝石晶体—最硬的氧化物晶体，是氧化铝（Al2O3）最基本的单晶形态。蓝宝石光学材料因其优越的物理性能（高硬度、高抗弯强度、抗风砂、耐高温、耐腐蚀以及良好的光学性能、电绝缘性能优良等）被广泛应用于潜艇光电桅杆、陆基光电对抗装备、机载光电吊舱、大型运输机可视窗口、导弹头罩等军用
，是红外装置、导弹、潜艇、卫星空间技术、探测和高功率强激光等的窗口材料、优质光学材料、耐磨轴承材料和衬底材料。然而，蓝宝石在实际应用过程中还是会遇到一些技术难题，例如蓝宝石材料在中波4.0μm波段以上就表现出不同程度的晶格振动吸收，而且下降幅度与厚度明显相关，一定程度上限制蓝宝石在红外波段上的应用。减反射膜，又称增透膜，它的主要功能是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光，从而增加这些元件的透光量，减少或消除系统的杂散光。现有技术通常通过在蓝宝石表面制备减反射膜来降低其反射率、增加其透过率，从而消除其在红外波段上的限本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于蓝宝石基底的增透薄膜，其特征在于：所述增透薄膜包括五层薄膜层；所述五层薄膜层由蓝宝石材料基面（1）向外依次为SiO

【技术特征摘要】
1.一种用于蓝宝石基底的增透薄膜，其特征在于：所述增透薄膜包括五层薄膜层；所述五层薄膜层由蓝宝石材料基面（1）向外依次为SiO2薄膜层（2）、第一SiOxNy薄膜层（3）、第二SiOxNy薄膜层（4）、第三SiOxNy薄膜层（5）、第四SiOxNy薄膜层（6）；其中，所述第一SiOxNy薄膜层（3）到第四SiOxNy薄膜层（6）中氮元素的原子百分数依次递减、氧元素的原子百分数依次递增，且氮元素的原子百分数应不大于40at.%、氧元素的原子百分数应不大于60at.%。


2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石基底的增透薄膜，其特征在于：所述SiO2薄膜层（2）厚度可为130～170nm。


3.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石基底的增透薄膜，其特征在于：所述第一SiOxNy薄膜层（3）、第二SiOxNy薄膜层（4）、第三SiOxNy薄膜层（5）、第四SiOxNy薄膜层（6）的厚度分别可为10～30nm、40～85nm、90～140nm、146～200nm。


4.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石基底的增透薄膜的制备方法，其特征在于：首先对蓝宝石材料以及靶材进行清洗，出去表面杂质；然后采用非平衡磁控溅射设备进行SiO2薄膜层（2）的沉积、通入气源为氧气和氩气；再沉积SiOxNy薄膜层、通入气源为氩气、氧气与氮气，通过调节氮气、氧气与氩气的气体流量速率，依次沉积第一SiOxNy薄膜层（3）、第二SiOxNy薄膜层（4）、第三SiOxNy薄膜层（5）以及第四SiOxNy薄膜层（6）；即得增透薄膜。


5.根据权利要求4所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐照英，刘垚，王锦标，苏永要，
申请(专利权)人：重庆文理学院，
类型：发明
国别省市：重庆;50