【技术实现步骤摘要】
TEM样品的制备方法
本申请总体上涉及材料表征
,更特别地,涉及一种TEM样品的制备方法。
技术介绍
自石墨烯发现以来,二维材料由于其新奇的特性给物理学和材料学的研究带来了新的机遇和挑战。相较体材料而言,当材料达到单个或者几个原子层厚度时,很可能会出现新奇的物性,促使人们不断寻找并生长新材料。新材料的发现离不开材料的表征,透射电镜(TEM,Transmissionelectronmicroscope)及扫描透射电镜(STEM,Scanningtransmissionelectronmicroscope)分析表征是材料原子结构的重要表征技术,制备出高质量TEM样品又是进行TEM和STEM分析表征的前提。当需表征的材料生长在特殊衬底上,例如单晶衬底,碳化硅衬底,钛酸锶衬底等,通常很难将单个或者几个原子层厚的材料与衬底分离。这种情况下,我们可以通过制备截面TEM样品来对材料进行原子结构的表征。由于需表征的材料是单个或者几个原子层厚度,按照普通TEM样品的制备过程,很可能因材料表面在大气环境中不稳定或者在TEM样品制备过程中材 ...
【技术保护点】
1.一种透射电镜TEM样品的制备方法,包括:/n在需表征材料表面覆盖二维材料,以形成具有二维材料保护层的样品;以及/n使用所述样品制备具有二维材料保护层的TEM样品。/n
【技术特征摘要】
1.一种透射电镜TEM样品的制备方法,包括:
在需表征材料表面覆盖二维材料,以形成具有二维材料保护层的样品;以及
使用所述样品制备具有二维材料保护层的TEM样品。
2.根据权利要求1所述的TEM样品的制备方法,其中,在需表征材料表面覆盖二维材料,包括:
将二维材料随机覆盖在任意区域的需表征材料表面;或者,
将二维材料定向覆盖在指定区域的需表征材料表面。
3.根据权利要求1所述的TEM样品的制备方法,其中,在需表征材料表面覆盖二维材料,包括:
将二维材料薄片附着到载体表面;
将载体盖压在需表征材料表面,且载体上具有二维材料薄片的一面与所述需表征材料表面接触;以及,
按压所述载体后揭起,使部分二维材料保留在所述需表征材料表面。
4.根据权利要求1所述的TEM样品的制备方法,其中,在需表征材料表面覆盖二维材料,包括:
将二维材料薄片附着到载体表面;
在操作仪器的辅助下,将载体表面纳米级厚度的二维材料薄片与需表征材料表面的指定区域对准并接触;以及
抬起载体,使所述二维材料薄片保留在需表征材料表面的指定区域。
5.根据权利要求4所述的TEM样品的制...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴良妹,周武,鲍丽宏,钱凯,林晓,杜世萱,高鸿钧,
申请(专利权)人:中国科学院物理研究所,中国科学院大学,
类型:发明
国别省市:北京;11
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