柔性铰链移相器制造技术

本发明专利技术公开了一种柔性铰链移相器，包括基座和主体；所述基座上固定有促动器组件；促动器组件电连接线束，线束共同连接线束接头，线束接头上套接有线扣，线扣固定在基座上；所述主体包括前主体和后主体；前主体和后主体之间的相对侧面之间安装有弹性复位结构；所述促动器组件的端部固定连接在后主体上；所述前主体的侧面设置有若干遮挡块，遮挡块固定连接在基座与前主体之间，实现前主体与基座的固定连接。本发明专利技术通过多点支撑同步移相的方式获得稳定的精密的位移，柔性铰链的结构使得主体与基座实现刚性连接，不会产生位置的偏差，大大提升了使用寿命，间接帮助企业减少损失，提高了干涉仪的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
柔性铰链移相器
本专利技术涉及干涉仪零部件领域，具体而言，涉及一种柔性铰链移相器。
技术介绍
目前在干涉仪检测领域，通过计算机算法来计算干涉仪条纹所反映的被测样品的优劣越来越被广泛的使用。在干涉移相算法中，要求被测样品与标准镜头之间具有一段亚微米级、被移动物体端面各点位移曲线一致、稳定、可恢复的一段位移，移相器的作用便是如此。干涉仪在通过软件计算时，无法获得一段稳定、精密、可恢复的位移，往往带来很大的位移误差，导致最后的计算结果与实际的数值相差很大，最终影响企业对于被测样品优劣的判断。市场上已有的相近方案，是在干涉仪上设置单点支撑的移相器。移相器为单点支撑，往往造成移相的位置有偏差，复位的恢复性能随时间推移降低，并且移相器的使用寿命短。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的缺点，提供了一种柔性铰链移相器，解决了上述技术的缺陷。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：柔性铰链移相器，其特征在于：包括基座和主体；所述基座上固定有促动器组件；促动器组件电连接线束，线束共同连接线束接头，线束本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.柔性铰链移相器，其特征在于：包括基座和主体；/n所述基座上固定有促动器组件；促动器组件电连接线束，线束共同连接线束接头，线束接头上套接有线扣，线扣固定在基座上；/n所述主体包括前主体和后主体；前主体和后主体之间的相对侧面之间安装有弹性复位结构；/n所述促动器组件的端部固定连接在后主体上；/n所述前主体的侧面设置有若干遮挡块，遮挡块固定连接在基座与前主体之间，实现前主体与基座的固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.柔性铰链移相器，其特征在于：包括基座和主体；
所述基座上固定有促动器组件；促动器组件电连接线束，线束共同连接线束接头，线束接头上套接有线扣，线扣固定在基座上；
所述主体包括前主体和后主体；前主体和后主体之间的相对侧面之间安装有弹性复位结构；
所述促动器组件的端部固定连接在后主体上；
所述前主体的侧面设置有若干遮挡块，遮挡块固定连接在基座与前主体之间，实现前主体与基座的固定连接。


2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤明智，
申请(专利权)人：上海乾曜光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31