一种第三代半导体干冰降温系统技术方案

本发明专利技术公开了一种第三代半导体干冰降温系统，其结构包括研磨机主体和推送装置，本发明专利技术通过在干冰箱左侧设置了推送装置，在电动推杆运行下，将导杆推动并在连接杆作用下，实现推杆的右移活动，然后随着推杆的右移，就可带动推动板来将储存箱内部储存的干冰，推动到干冰箱内部，从而实现干冰自动推送的优点，通过在干冰箱左侧下端设置了密封机构，在推动板进行推送活动时，进料口处会将密封板推动到收取槽内部，而当完成推送活动后，扭簧回弹，使密封板重新复位，来将进料口密封，从而达到了对未使用干冰保温的优点，通过压缩泵运行，压缩空气，出来的冷却气体驱动虹吸喷雾喷头，并于内部抛光液接触实现冷却，进而实现半导体的快速降温。

【技术实现步骤摘要】
一种第三代半导体干冰降温系统
本专利技术涉及半导体干冰降温系统
，具体涉及一种第三代半导体干冰降温系统。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，而为了更好的进行半导体的使用，通常需要采用研磨机来进行半导体表面的研磨，并且为了防止半导体研磨过程中过热影响精度，还通过设置了干冰降温系统，来使抛光液不仅具有加强研磨效果，还具有降温效果，大大提高了半导体研磨的效率。目前在进行半导体干冰降温系统的使用时，需要不断的进行干冰的使用，而干冰属于消耗品，因此当干冰使用完后，需要使用者再一次进行干冰的添加，而不断的反复添加，不仅加大了使用者的工作量，也导致使用者无法很好的进行其他工作。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了克服现有技术不足，现提出一种第三代半导体干冰降温系统，解决了在进行半导体干冰降温系统的使用时，需要不断的进行干冰的使用，而干冰属于消耗品，因此当干冰使用完后，需本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种第三代半导体干冰降温系统，包括研磨机主体(1)，所述研磨机主体(1)下端均与支撑垫(2)固定连接；/n其特征在于：还包括推送装置(14)，所述推送装置(14)设置于干冰箱(5)左侧，所述推送装置(14)由电动推杆(141)、导杆(142)、连接杆(143)、连接块(144)、推杆(145)、推动板(146)、磁铁(147)、伸缩杆(148)、密封机构(149)、储存箱(1410)和进料口(1411)组成，所述电动推杆(141)设置于研磨机主体(1)左侧，并且电动推杆(141)左侧与导杆(142)转动连接，所述导杆(142)左侧上端中部与连接杆(143)转动连接，所述连接杆(143)右侧...

【技术特征摘要】
1.一种第三代半导体干冰降温系统，包括研磨机主体(1)，所述研磨机主体(1)下端均与支撑垫(2)固定连接；
其特征在于：还包括推送装置(14)，所述推送装置(14)设置于干冰箱(5)左侧，所述推送装置(14)由电动推杆(141)、导杆(142)、连接杆(143)、连接块(144)、推杆(145)、推动板(146)、磁铁(147)、伸缩杆(148)、密封机构(149)、储存箱(1410)和进料口(1411)组成，所述电动推杆(141)设置于研磨机主体(1)左侧，并且电动推杆(141)左侧与导杆(142)转动连接，所述导杆(142)左侧上端中部与连接杆(143)转动连接，所述连接杆(143)右侧上端与连接块(144)转动连接，所述连接块(144)与储存箱(1410)左侧下端焊接固定，所述推杆(145)左侧与导杆(142)转动连接，并且推杆(145)右侧与推动板(146)焊接固定，所述推动板(146)上端内部设置有磁铁(147)，并且推动板(146)与储存箱(1410)内部下端滑动连接，所述磁铁(147)与伸缩杆(148)右侧吸附固定，所述伸缩杆(148)左侧与储存箱(1410)插接固定，所述密封机构(149)设置于进料口(1411)内部，所述储存箱(1410)焊接固定于干冰箱(5)左侧，所述进料口(1411)开设于干冰箱(5)左侧下端。


2.根据权利要求1所述的一种第三代半导体干冰降温系统，其特征在于：所述推送装置(14)由密封板(1491)、转轴(1492)、扭簧(1493)和收取槽(1494)组成，所述密封板(1491)下端通过转轴(1492)与收取槽(1494)转动连接，所述转轴(1492)中部外表面环绕连接有扭簧(1493)，所述扭簧(1493)下端与收取槽(1494)相贴合，所述收取槽(1494)开设于干冰箱(5)左侧下端。


3.根据权利要求1所述的一种第三代半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永成，
申请(专利权)人：上海致领半导体科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31