【技术实现步骤摘要】
透镜加工装置及透镜阵列
本专利技术涉及透镜加工
，特别是涉及一种透镜加工装置及透镜阵列。
技术介绍
激光退火处理是指利用线状的激光束照射基板上的非晶硅膜以使非晶硅膜结晶化，从而将非晶硅膜转化为多晶硅膜的过程。为了通过激光退火处理工艺总成具有良好结晶度的多晶硅膜，线状激光束的能量强度分布必须均匀并且形状不能变形。现有的激光退火处理中，激光束通过均质器处理后虽然具有均匀的能量分布，但是没有足够的适于激光退火的能量强度。因此，需要利用透镜阵列(由若干具有凸出射面的柱状透镜组成)将该激光束扩展为更多的扩展激光束，然后利用一个聚光透镜将扩展激光束聚焦在激光束光轴上并组合成一个激光束，通过该处理，可以将激光束的能量强度增加到足以进行激光退火处理所需的水平。为了能够使扩展激光束进行正常的聚焦合成，需要保证透镜阵列的每个柱状透镜的凸出射面的曲面整体上保持相同的曲率半径，并且还需保持其对称性。这就要求必须对柱状透镜的凸出射面的曲面进行精细加工，并且在透镜的加工过程中，需要很好的控制好柱状透镜的研磨设备，以使每个柱状透镜的...
【技术保护点】
1.一种透镜加工装置，其特征在于，所述透镜加工装置包括：/n旋转加工轮，具有沿所述旋转加工轮的外侧壁间隔设置的若干透镜插槽，并且所述插槽沿与所述旋转加工轮的转动轴平行的方向延伸，所述透镜插槽的深度方向沿所述旋转加工轮的径向设置；/n旋转驱动单元，所述旋转驱动单元与所述旋转加工轮的转动轴连接；/n透镜研磨组件，远离所述旋转加工轮的外侧壁设置，其中，所述透镜研磨组件上设置有供研磨液通过的排水孔，所述透镜研磨组件具有与透镜所需曲面的相同曲率半径的弧形研磨面；以及/n研磨液供给系统，所述研磨液供给系统与所述排水孔连接；以及/n研磨组件调整部，与所述透镜研磨组件连接，所述研磨组件调整...
【技术特征摘要】
1.一种透镜加工装置，其特征在于，所述透镜加工装置包括：
旋转加工轮，具有沿所述旋转加工轮的外侧壁间隔设置的若干透镜插槽，并且所述插槽沿与所述旋转加工轮的转动轴平行的方向延伸，所述透镜插槽的深度方向沿所述旋转加工轮的径向设置；
旋转驱动单元，所述旋转驱动单元与所述旋转加工轮的转动轴连接；
透镜研磨组件，远离所述旋转加工轮的外侧壁设置，其中，所述透镜研磨组件上设置有供研磨液通过的排水孔，所述透镜研磨组件具有与透镜所需曲面的相同曲率半径的弧形研磨面；以及
研磨液供给系统，所述研磨液供给系统与所述排水孔连接；以及
研磨组件调整部，与所述透镜研磨组件连接，所述研磨组件调整部用于调整所述透镜研磨组件与所述旋转加工轮的外侧壁之间距离、调整所述透镜研磨组件的角度。
2.根据权利要求1所述的透镜加工装置，其特征在于，若干所述透镜插槽沿所述旋转加工轮的外侧壁均匀设置。
3.根据权利要求1所述的透镜加工装置，其特征在于，所述透镜插槽的内壁上设置有弹性加压部。
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【专利技术属性】
技术研发人员：袁明峰，朱鹏程，凌步军，滕宇，赵有伟，孙月飞，冷志斌，冯高俊，吕金鹏，
申请(专利权)人：江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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