芯片测试装置和系统制造方法及图纸

本申请公开了一种芯片测试装置和系统。该芯片测试装置包括：两个探针机构、两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；两个探针机构和两个耦合机构均对称设置在载物台的两侧；探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测待测芯片的电极探针；电极探针连接在探针支架的第一端，探针支架的第二端连接在多自由度驱动座上；耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对待测芯片传输光信号的光纤，光纤夹持在光纤夹具上端，光纤夹具连接在多自由度驱动座上；以使多自由度驱动座驱动光纤夹具或电极探针以多自由度移动，并使光纤或电极探针接触或远离待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地对芯片进行检测的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
芯片测试装置和系统
本申请涉及芯片检测
，具体而言，涉及一种芯片测试装置和系统。
技术介绍
光学器件作为一种精密元器件，对测试精度要求极高。在光学器件的测试过程中，光的耦合是一大难点，存在效率低，损耗大和自动化程度不高的问题。现有的自动化测试平台，大多用于整片晶圆测试，且价格十分昂贵。而对于样品阶段的器件，由于设计迭代快，结构变化大，尺寸不一，无法使用预制的夹具，每次都需重新耦合。若采用人工耦合，需要消耗大量人力成本，效率低下，且人工耦合受操作人员的经验和主观判断的影响，会引入一定量的误差，导致结果的不可重复性。同时，随着半导体工艺的发展，芯片上元器件愈发密集，测试难度也愈发增大。对于量产芯片，由于其设计已经确定，一般采用预设电路和夹具，将芯片插入测试孔进行测试。而对于还处于设计迭代阶段的样片，由于设计不固定，形状不确定，无法使用预设的电路和夹具，一般采用手工连接的方式进行测试。由于芯片电路复杂，尺寸小，操作人员必须长时间集中注意力将通过人手将电极探针连接在芯片对应引脚上，费时费力，且容易出错。针对相关技术中无法稳定地对芯片进行检本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种芯片测试装置，其特征在于，包括两个探针机构、两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；/n所述两个探针机构对称设置在所述载物台的两侧，所述两个耦合机构对称设置在所述载物台的两侧；/n所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针；所述电极探针连接在所述探针支架的第一端，所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动，并使所述电极探针接触或远离所述待测芯片；/n所述耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对所述待测芯片传输光信号的光纤，所述光纤夹持在所述光纤夹具上端，所述光纤夹具连接在所述多...

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试装置，其特征在于，包括两个探针机构、两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台；
所述两个探针机构对称设置在所述载物台的两侧，所述两个耦合机构对称设置在所述载物台的两侧；
所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针；所述电极探针连接在所述探针支架的第一端，所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动，并使所述电极探针接触或远离所述待测芯片；
所述耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对所述待测芯片传输光信号的光纤，所述光纤夹持在所述光纤夹具上端，所述光纤夹具连接在所述多自由度驱动座上，以使所述多自由度驱动座驱动所述光纤夹具以多自由度移动，并使所述光纤接触或远离所述待测芯片。


2.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，所述两个探针机构和所述两个耦合机构交叉设置在所述载物台周围。


3.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于，所述多自由度驱动座包括第一驱动机构、第二驱动机构、第一滑块、第二滑块、第一导轨和第二导轨；
所述第一导轨和所述载物台的下端均设置在工作端面上，所述第一滑块滑动连接在所述第一导轨上，所述第一驱动机构分别与所述第一导轨、所述第一滑块连接，以使所述第一驱动机构驱动所述第一滑块在所述第一导轨上滑动；
所述第二导轨的下端固定在所述第一滑块上，所述第二滑块滑动连接在所述第二导轨上，所述第二驱动机构分别与所述第二导轨、所述第二滑块连接，以使所述第二驱动机构驱动所述第二滑块在所述第二导轨上滑动；
所述光纤夹具或所述探...

【专利技术属性】
技术研发人员：巫海苍，周颖聪，宋一品，梁寒潇，
申请(专利权)人：苏州极刻光核科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32