蒸镀掩模制造技术

提供蒸镀掩模。蒸镀掩模具备：掩模主体，其具有第1贯通孔；和支承体，其具有与第1贯通孔重合的第2贯通孔，模主体具有：处于与支承体侧相反一侧的第1面；和处于支承体侧的第2面，与第2贯通孔重合的第1贯通孔中的最外周第1贯通孔包含为其中心的第1点，第2贯通孔包含其轮廓中的最接近第1点的第2点，最外周第1贯通孔具有作为第2点侧的壁的第1壁，第1截面是包含有第1点和第2点且与法线方向平行的平面，最外周第1贯通孔在第1截面中具有连接第1壁和第2面的第2面侧连接部，支承体相对于通过第2面侧连接部和第1壁上的任意点的直线中的、与掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，位于第1点侧的相反侧。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模
本公开涉及蒸镀掩模。
技术介绍
近年，对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置来说，要求是高精细的显示装置。在显示装置中，由于响应性良好、能耗低且对比度高，有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知这样的方法：使用包含有以所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所希望的图案形成像素。具体来说，首先，将被蒸镀基板(有机EL显示装置用的基板)放入蒸镀装置中，接下来，在蒸镀装置内使蒸镀掩模与被蒸镀基板紧密贴合，执行使有机材料蒸镀于被蒸镀基板上的蒸镀工序。作为这样的蒸镀掩模的一例，可以列举出JP2018-26344A所公开的那样的掩模组合体。JP2018-26344A所公开的掩模组合体具备掩模片，所述掩模片具有构成贯通孔的2个以上的开口部。在使蒸镀材料蒸镀于被蒸镀基板上的蒸镀工序中，朝向蒸镀掩模飞来的蒸镀材料通过贯通孔附着于被蒸镀基板上。这种情况下，蒸镀材料不仅朝向被蒸镀基板沿着蒸镀掩模的法线方向移动，也可能沿着相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的方向移动。这种情况，也要求抑制如下这样的所谓的遮蔽的发生：沿着相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的方向移动的蒸镀材料的行进被遮蔽薄板妨碍而使得蒸镀材料没有恰当地附着于被蒸镀基板上。
技术实现思路
本公开是考虑这样的问题而完成的，其目的在于提供能够抑制遮蔽的发生的蒸镀掩模。本公开的蒸镀掩模具备：掩模主体，其具有2个以上的第1贯通孔；和支承体，其处于所述掩模主体上，并且具有在俯视时处于与所述第1贯通孔重合的位置处的第2贯通孔，所述掩模主体具有：第1面，其处于与所述支承体侧相反的一侧；和第2面，其处于所述支承体侧，在俯视时处于与所述第2贯通孔重合的位置处的2个以上的所述第1贯通孔中的、在俯视时位于最外周的最外周第1贯通孔包含第1点，在俯视时，所述第1点为所述最外周第1贯通孔的中心，所述第2贯通孔包含所述第2贯通孔的轮廓中的最接近所述第1点的第2点，所述最外周第1贯通孔在第1截面中具有作为所述第2点侧的壁的第1壁，其中，所述第1截面是包含有所述第1点和所述第2点且与所述掩模主体的法线方向平行的平面，所述最外周第1贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第1壁和所述第2面的第2面侧连接部，在所述第1截面中，所述支承体相对于通过所述第2面侧连接部和所述第1壁上的任意点的直线中的、与所述掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，在所述支承体的平面方向上位于作为第1侧的相反侧的第2侧，其中，所述第1侧是所述第1截面中的所述第2贯通孔的中心侧。根据本公开，能够提供可抑制遮蔽的发生的蒸镀掩模。附图说明图1是用于说明本公开的第1实施方式的图，并且是用于说明具有蒸镀掩模装置的蒸镀装置的图。图2是示出利用图1所示的蒸镀装置制造出的有机EL显示装置的一例的剖视图。图3是概要性地示出具有蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的俯视图。图4是在与图3的IV-IV线对应的截面中示出蒸镀掩模装置的图。图5是示出蒸镀掩模的掩模主体的一例的俯视图。图6是示出蒸镀掩模的支承体的一例的俯视图。图7A是蒸镀掩模装置的部分俯视图，并且是从蒸镀掩模的第1面侧观察并示出图3的标记有VII的部分的图。图7B是将图7A的标记有VIIB的部分放大并示出的图。图8是在与图7B的VIII-VIII线对应的截面中示出蒸镀掩模的图。图9A是示出为了制造掩模主体而使用的图案基板的制造方法的一例的一个工序的图。图9B是示出为了制造掩模主体而使用的图案基板的制造方法的一例的一个工序的图。图9C是示出为了制造掩模主体而使用的图案基板的制造方法的一例的一个工序的图。图9D是示出为了制造掩模主体而使用的图案基板的制造方法的一例的一个工序的图。图10A是示出掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图10B是示出掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图10C是示出掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图10D是示出掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图11A是示出支承体的制造方法的一例的一个工序的图。图11B是示出支承体的制造方法的一例的一个工序的图。图11C是示出支承体的制造方法的一例的一个工序的图。图11D是示出支承体的制造方法的一例的一个工序的图。图11E是示出支承体的制造方法的一例的一个工序的图。图12A是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图12B是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图12C是示出蒸镀掩模的制造方法的一例的一个工序的图。图13是示出蒸镀掩模装置的制造方法的一例的一个工序的图。图14是示出蒸镀掩模的一个变形例的剖视图。图15A是示出图14的蒸镀掩模的掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图15B是示出图14的蒸镀掩模的掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图15C是示出图14的蒸镀掩模的掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图15D是示出图14的蒸镀掩模的掩模主体的制造方法的一例的一个工序的图。图16是用于说明本公开的第2实施方式的图，并且是示出蒸镀掩模的剖视图。图17是示出蒸镀掩模的另一变形例的剖视图。图18是示出蒸镀掩模的再一个变形例的剖视图。图19是示出蒸镀掩模的再一个变形例的剖视图。具体实施方式在本说明书和本附图中，只要没有特别说明，则“基板”、“基材”、“板”、“片”以及“膜”等、意味着成为某结构的基础的物质的用语并不是仅基于称呼上的不同来互相区别的。在本说明书和本附图中，只要没有特别说明，则关于对形状和几何学上的条件以及它们的程度进行指定的例如“平行”、“垂直”等用语、或者长度、角度的值等，并不限定于严格的含义，而是包含能够期待同样功能的程度的范围在内来进行解释。在本说明书和本附图中，只要没有特别说明，则在某个部件或某个区域等的某个结构处于其它部件或其它区域等的其它结构的“上”或“下”、“上侧”或“下侧”、或者“上方”或“下方”的情况下，包含某个结构与其它结构直接接触的情况。而且，还包含如下情况：在某个结构与其它结构之间包含有另外的结构，即，还包含间接地接触的情况。另外，只要没有特别说明，则对于“上”、“上侧”或“上方”、或者“下”、“下侧”或“下方”这样的语句，也可以使上下方向反转。在本说明书和本附图中，只要没有特别说明，则存在这样的情况：对于同一部分或具有相同功能的部分标记相同的标号或类似的标号，并省略其重复的说明。另外，存在为了便于说明而使附图的尺寸比例与实际的比例不同的情况、或者将结构的一部分从附图省略的情况。在本说明书和本附图中，只要没有特别说明，则在不发生矛盾的范围内，也可以与其它实施方式或变形例组合。另外，其它实施方式彼此、或者其它实施方式与变形例也可以在不发生矛盾的范围内组合。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其具备：掩模主体，其具有2个以上的第1贯通孔；和支承体，其处于所述掩模主体上，并且具有在俯视时处于与所述第1贯通孔重合的位置处的第2贯通孔，/n其特征在于，/n所述掩模主体具有：第1面，其处于与所述支承体侧相反的一侧；和第2面，其处于所述支承体侧，/n在俯视时处于与所述第2贯通孔重合的位置处的2个以上的所述第1贯通孔中的、在俯视时位于最外周的最外周第1贯通孔包含第1点，在俯视时，所述第1点为所述最外周第1贯通孔的中心，/n所述第2贯通孔包含所述第2贯通孔的轮廓中的最接近所述第1点的第2点，/n所述最外周第1贯通孔在第1截面中具有作为所述第2点侧的壁的第1壁，其中，所述第1截面是包含有所述第1点和所述第2点且与所述掩模主体的法线方向平行的平面，/n所述最外周第1贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第1壁和所述第2面的第2面侧连接部，/n在所述第1截面中，所述支承体相对于通过所述第2面侧连接部和所述第1壁上的任意点的直线中的、与所述掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，在所述支承体的平面方向上位于作为第1侧的相反侧的第2侧，其中，所述第1侧是所述第1截面中的所述第2贯通孔的中心侧。/n...

【技术特征摘要】
20181225 JP 2018-2415941.一种蒸镀掩模，其具备：掩模主体，其具有2个以上的第1贯通孔；和支承体，其处于所述掩模主体上，并且具有在俯视时处于与所述第1贯通孔重合的位置处的第2贯通孔，
其特征在于，
所述掩模主体具有：第1面，其处于与所述支承体侧相反的一侧；和第2面，其处于所述支承体侧，
在俯视时处于与所述第2贯通孔重合的位置处的2个以上的所述第1贯通孔中的、在俯视时位于最外周的最外周第1贯通孔包含第1点，在俯视时，所述第1点为所述最外周第1贯通孔的中心，
所述第2贯通孔包含所述第2贯通孔的轮廓中的最接近所述第1点的第2点，
所述最外周第1贯通孔在第1截面中具有作为所述第2点侧的壁的第1壁，其中，所述第1截面是包含有所述第1点和所述第2点且与所述掩模主体的法线方向平行的平面，
所述最外周第1贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第1壁和所述第2面的第2面侧连接部，
在所述第1截面中，所述支承体相对于通过所述第2面侧连接部和所述第1壁上的任意点的直线中的、与所述掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，在所述支承体的平面方向上位于作为第1侧的相反侧的第2侧，其中，所述第1侧是所述第1截面中的所述第2贯通孔的中心侧。


2.一种蒸镀掩模，其具备：掩模主体，其具有2个以上的第1贯通孔；和支承体，其处于所述掩模主体上，并且具有在俯视时处于与所述第1贯通孔重合的位置处的第2贯通孔，
其特征在于，
所述掩模主体具有：第1面，其处于与所述支承体侧相反的一侧；和第2面，其处于所述支承体侧，
在俯视时处于与所述第2贯通孔重合的位置处的2个以上的所述第1贯通孔中的、在俯视时位于最外周的最外周第1贯通孔包含第1点，在俯视时，所述第1点为所述最外周第1贯通孔的中心，
所述第2贯通孔包含所述第2贯通孔的轮廓中的最接近所述第1点的第2点，
所述最外周第1贯通孔在第1截面中具有作为所述第2点侧的壁的第1壁，其中，所述第1截面是包含有所述第1点和所述第2点且与所述掩模主体的法线方向平行的平面，
所述最外周第1贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第1壁和所述第1面的第1面侧连接部，
所述第1壁不具有比所述第1面侧连接部更接近所述第1点的部分，
在所述第1截面中，所述支承体相对于通过所述第1面侧连接部和所述第1壁上的任意点的直线中的、与所述掩模主体的法线方向所成的角度最小的直线，在所述支承体的平面方向上位于作为第1侧的相反侧的第2侧，其中，所述第1侧是所述第1截面中的所述第2贯通孔的中心侧。


3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述支承体具有：处于所述掩模主体侧的第1面；和处于与所述掩模主体侧相反的一侧的第2面，
所述第2贯通孔在所述第1截面中具有最接近所述最外周第1贯通孔的第2壁，
所述第2贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第2壁和所述支承体的所述第2面的第2面侧连接部，
在所述第1截面中，通过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田泰弘，小林幸司，落合洋光，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP