蒸镀掩模制造技术

提供蒸镀掩模。蒸镀掩模具备：掩模主体，其具有第1贯通孔；和支承体，其具有与第1贯通孔重合的第2贯通孔，模主体具有：处于与支承体侧相反一侧的第1面；和处于支承体侧的第2面，与第2贯通孔重合的第1贯通孔中的最外周第1贯通孔包含为其中心的第1点，第2贯通孔包含其轮廓中的最接近第1点的第2点，最外周第1贯通孔具有作为第2点侧的壁的第1壁，第1截面是包含有第1点和第2点且与法线方向平行的平面，最外周第1贯通孔在第1截面中具有连接第1壁和第2面的第2面侧连接部，支承体相对于通过第2面侧连接部和第1壁上的任意点的直线中的、与掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，位于第1点侧的相反侧。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀掩模
本公开涉及蒸镀掩模。
技术介绍
近年，对于在智能手机或平板电脑等可移动设备中使用的显示装置来说，要求是高精细的显示装置。在显示装置中，由于响应性良好、能耗低且对比度高，有机EL显示装置正在受到关注。作为形成有机EL显示装置的像素的方法，已知这样的方法：使用包含有以所希望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所希望的图案形成像素。具体来说，首先，将被蒸镀基板(有机EL显示装置用的基板)放入蒸镀装置中，接下来，在蒸镀装置内使蒸镀掩模与被蒸镀基板紧密贴合，执行使有机材料蒸镀于被蒸镀基板上的蒸镀工序。作为这样的蒸镀掩模的一例，可以列举出JP2018-26344A所公开的那样的掩模组合体。JP2018-26344A所公开的掩模组合体具备掩模片，所述掩模片具有构成贯通孔的2个以上的开口部。在使蒸镀材料蒸镀于被蒸镀基板上的蒸镀工序中，朝向蒸镀掩模飞来的蒸镀材料通过贯通孔附着于被蒸镀基板上。这种情况下，蒸镀材料不仅朝向被蒸镀基板沿着蒸镀掩模的法线方向移动，也可能沿着相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的方向移动。这种情况，也要求抑制如下这样本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其具备：掩模主体，其具有2个以上的第1贯通孔；和支承体，其处于所述掩模主体上，并且具有在俯视时处于与所述第1贯通孔重合的位置处的第2贯通孔，/n其特征在于，/n所述掩模主体具有：第1面，其处于与所述支承体侧相反的一侧；和第2面，其处于所述支承体侧，/n在俯视时处于与所述第2贯通孔重合的位置处的2个以上的所述第1贯通孔中的、在俯视时位于最外周的最外周第1贯通孔包含第1点，在俯视时，所述第1点为所述最外周第1贯通孔的中心，/n所述第2贯通孔包含所述第2贯通孔的轮廓中的最接近所述第1点的第2点，/n所述最外周第1贯通孔在第1截面中具有作为所述第2点侧的壁的第1壁，其中，所述第1截面...

【技术特征摘要】
20181225 JP 2018-2415941.一种蒸镀掩模，其具备：掩模主体，其具有2个以上的第1贯通孔；和支承体，其处于所述掩模主体上，并且具有在俯视时处于与所述第1贯通孔重合的位置处的第2贯通孔，
其特征在于，
所述掩模主体具有：第1面，其处于与所述支承体侧相反的一侧；和第2面，其处于所述支承体侧，
在俯视时处于与所述第2贯通孔重合的位置处的2个以上的所述第1贯通孔中的、在俯视时位于最外周的最外周第1贯通孔包含第1点，在俯视时，所述第1点为所述最外周第1贯通孔的中心，
所述第2贯通孔包含所述第2贯通孔的轮廓中的最接近所述第1点的第2点，
所述最外周第1贯通孔在第1截面中具有作为所述第2点侧的壁的第1壁，其中，所述第1截面是包含有所述第1点和所述第2点且与所述掩模主体的法线方向平行的平面，
所述最外周第1贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第1壁和所述第2面的第2面侧连接部，
在所述第1截面中，所述支承体相对于通过所述第2面侧连接部和所述第1壁上的任意点的直线中的、与所述掩模主体的法线方向所成的角度最大的直线，在所述支承体的平面方向上位于作为第1侧的相反侧的第2侧，其中，所述第1侧是所述第1截面中的所述第2贯通孔的中心侧。


2.一种蒸镀掩模，其具备：掩模主体，其具有2个以上的第1贯通孔；和支承体，其处于所述掩模主体上，并且具有在俯视时处于与所述第1贯通孔重合的位置处的第2贯通孔，
其特征在于，
所述掩模主体具有：第1面，其处于与所述支承体侧相反的一侧；和第2面，其处于所述支承体侧，
在俯视时处于与所述第2贯通孔重合的位置处的2个以上的所述第1贯通孔中的、在俯视时位于最外周的最外周第1贯通孔包含第1点，在俯视时，所述第1点为所述最外周第1贯通孔的中心，
所述第2贯通孔包含所述第2贯通孔的轮廓中的最接近所述第1点的第2点，
所述最外周第1贯通孔在第1截面中具有作为所述第2点侧的壁的第1壁，其中，所述第1截面是包含有所述第1点和所述第2点且与所述掩模主体的法线方向平行的平面，
所述最外周第1贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第1壁和所述第1面的第1面侧连接部，
所述第1壁不具有比所述第1面侧连接部更接近所述第1点的部分，
在所述第1截面中，所述支承体相对于通过所述第1面侧连接部和所述第1壁上的任意点的直线中的、与所述掩模主体的法线方向所成的角度最小的直线，在所述支承体的平面方向上位于作为第1侧的相反侧的第2侧，其中，所述第1侧是所述第1截面中的所述第2贯通孔的中心侧。


3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述支承体具有：处于所述掩模主体侧的第1面；和处于与所述掩模主体侧相反的一侧的第2面，
所述第2贯通孔在所述第1截面中具有最接近所述最外周第1贯通孔的第2壁，
所述第2贯通孔在所述第1截面中具有连接所述第2壁和所述支承体的所述第2面的第2面侧连接部，
在所述第1截面中，通过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田泰弘，小林幸司，落合洋光，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP