一种湿度传感器制造技术

技术编号:2610725 阅读:212 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种能在高温(≤250℃)状态下测定气体中湿度的湿度传感器,包括两个氧化锆薄片,薄片中央有一个扩散孔,薄片两侧印刷有第一电极、第二电极,两个薄片上的第二电极被同一盖件覆盖且在两个第二电极与盖件间分别形成各自的扩散室。该湿度传感器的优点是可在250℃以下温度范围内测量气体中的湿度。(*该技术在2009年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种湿度传感器,特别是一种利用固体电解质氧化锆界限电流式氧传感器测氧原理制作的、能在温度不大于250℃环境中测量气体中水分含量的湿度传感器。在许多用干燥气体进行保护的工业生产或材料贮运过程中,监测这些气体中的水分含量至关重要。在湿度测量领域,应用各种材料,采用各种原理制作的湿度传感器很多。如氧化铝湿度传感器(CN2129414Y),陶瓷湿度传感器(CN2168250Y),高分子湿敏元件(CN2101237U),复合型湿度传感器湿敏元件(CN11777102A),热敏电阻湿度传感器(CN1142263A)等利用感湿材料对水分子的物理吸附现象实现对湿度的测量,当环境度大于100℃时,上述各种传感器感湿材料对水分子的吸附量将变得非常少(接近物理吸附极限值),因此,当环境温度大于100℃时,上述各类湿度传感器均不能对环境中的湿度进行测量。热传导式传感器(CN1142263A)因不能吸收水分,因此其长期稳定性好,但是,热敏电阻在温度100℃~150℃范围内时的输出电压与湿度无关,所以它也不能在100℃以上实现对气体中湿度的测量。本技术的目的是提供一种既可在低于100℃环境下测量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种湿度传感器,其特征在于它包括两个氧化锆薄片1,在氧化锆薄片1中央有一个扩散孔2,同时氧化锆薄片1两侧分别印刷有电极3、4,将此两个氧化锆1通过玻璃釉质6与盖件5分别粘接,在两个氧化锆薄片1与盖件5之间分别形成扩散室7。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张益康杨邦朝
申请(专利权)人:康达成都电子有限公司
类型:实用新型
国别省市:51[中国|四川]

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