【技术实现步骤摘要】
一种快速退火炉的反应腔体结构
本技术涉及快速退火炉
,具体为一种快速退火炉的反应腔体结构。
技术介绍
快速退火炉是以碘钨灯管为发热元件,升温速度极快,采用S型热电偶测温并采用国际领先的模糊PID控制,具有很高的控温精度(±5℃),快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作,炉子使用过一段时间后,若真空度降低,可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统,以提高系统的整体真空度。传统的快速退火炉的反应腔体结构整体构造简单,如果反应腔体结构的真空隔离中真空度降低,则其隔热效果大减,设备内的热量传递到外界对于快速退火炉周围的机械设备造成严重危害,而设备真空度的降低是一个缓慢的过程,如果能在设备真空度降低的第一时间察觉,可以使得损失大大降低,故而提出一种快速退火炉的反应腔体结构。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种快速退火炉的反应腔体结构,具备可以第一时间发现快速退火炉反应腔体的真空度降低等优点,解决了传统的快速退火炉的反应腔 ...
【技术保护点】
1.一种快速退火炉的反应腔体结构,包括防护箱(1),其特征在于:所述防护箱(1)的顶部活动安装有箱盖(2),所述防护箱(1)的内底壁固定安装有安装板(3),所述安装板(3)的顶部固定安装有炉体(4),所述防护箱(1)的内底壁且位于安装板(3)的右侧固定安装有安装柱(5),所述安装柱(5)的顶部固定安装有气泵(6),所述气泵(6)的进气口连通有吸气管(7),所述气泵(6)的出气口连通有一端贯穿并延伸到防护箱(1)外部的延伸管(8),所述箱盖(2)的顶部开设有一端贯穿并延伸到箱盖(2)底部的透气孔(9),所述箱盖(2)的顶部且位于透气孔(9)的右侧开设有一端贯穿并延伸到箱盖(2 ...
【技术特征摘要】
1.一种快速退火炉的反应腔体结构,包括防护箱(1),其特征在于:所述防护箱(1)的顶部活动安装有箱盖(2),所述防护箱(1)的内底壁固定安装有安装板(3),所述安装板(3)的顶部固定安装有炉体(4),所述防护箱(1)的内底壁且位于安装板(3)的右侧固定安装有安装柱(5),所述安装柱(5)的顶部固定安装有气泵(6),所述气泵(6)的进气口连通有吸气管(7),所述气泵(6)的出气口连通有一端贯穿并延伸到防护箱(1)外部的延伸管(8),所述箱盖(2)的顶部开设有一端贯穿并延伸到箱盖(2)底部的透气孔(9),所述箱盖(2)的顶部且位于透气孔(9)的右侧开设有一端贯穿并延伸到箱盖(2)底部的插孔(10),所述防护箱(1)的顶部固定安装有一端贯穿插孔(10)并延伸到箱盖(2)上方的插板(11),所述插板(11)的左侧开设有一端贯穿并延伸到插板(11)右侧的限制孔(12),所述箱盖(2)的右侧固定安装有螺纹外筒(13),所述螺纹外筒(13)的右侧活动安装有一端贯穿并延伸到螺纹外筒(13)内部的螺纹控制杆(14),所述螺纹控制杆(14)的左侧固定安装有一端贯穿并延伸到限制孔(12)内部的限制钉(15),所述防护箱(1)的内壁右侧固定安装有温...
【专利技术属性】
技术研发人员:马陶然,刘建军,陈建兵,
申请(专利权)人:湖北东舟重工科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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