一种超高真空全金属阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种超高真空全金属阀，包括旋转机构、焊接波纹管、密封垫、第一密封法兰、第二密封法兰和压力弹簧；所述旋转机构与焊接波纹管连接；所述焊接波纹管与密封垫连接；所述第一密封法兰设置在第二密封法兰下方等。本实用新型专利技术解决了高温下，或者低温时，存在气密性差的问题，能在高温300度，低温正‑200度正常使用，气密性好漏气率小，阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于10‑11torr(mbar)的真空密封。

【技术实现步骤摘要】
一种超高真空全金属阀
本技术涉及金属阀
，更为具体地，涉及一种超高真空全金属阀。
技术介绍
全金属真空阀门是真空系统的重要元件。但是，在现有技术中，一般阀门密封结构主要是采用橡胶垫圈密封，利用阀板与阀座间压紧橡胶垫圈连接，通常会将橡胶垫的高度压缩比控制在15％以上，以达到漏气率小于1.33×10-7Pa·L/s·cFn的使用要求。但是，这种技术在高温下，或者低温时，会存在气密性较差，漏气率高，且阀门需要经常维护，养护成本高等问题。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种超高真空全金属阀，解决了高温下，或者低温时，存在气密性差的问题，能在高温300度，低温正-200度正常使用，气密性好漏气率小，阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于10-11torr(mbar)的真空密封。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种超高真空全金属阀，包括旋转机构、焊接波纹管、密封垫、第一密封法兰、第二密封法兰和压力弹簧；所述旋转机构与焊接波纹管连接；所述焊接波纹管与密封垫连接；所述第一密封法兰设置在第二密封法兰下方。进一步的，所述密封垫包括高真空金属密封垫。进一步的，所述第一密封法兰包括CF法兰。进一步的，所述第二密封法兰包括CF法兰。进一步的，所述第一密封法兰包括CF真空法兰。进一步的，所述第二密封法兰包括CF真空法兰。本技术的有益效果是：(1)本技术通过旋转机构、焊接波纹管、密封垫、第一密封法兰、第二密封法兰和压力弹簧等，解决了高温下，或者低温时，存在气密性差的问题，能在高温300度，低温正-200度正常使用，气密性好漏气率小，阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于10-11torr(mbar)的真空密封。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的第一结构示意图；图2为本技术的第二结构示意图；图3为本技术的第三结构示意图；图中，1-旋转机构，2-焊接波纹管，3-密封垫，4-第一密封法兰，5-第二密封法兰，6-压力弹簧。具体实施方式下面结合附图进一步详细描述本技术的技术方案，但本技术的保护范围不局限于以下所述。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在对实施例进行描述之前，需要对一些必要的术语进行解释。例如：若本申请中出现使用“第一”、“第二”等术语来描述各种元件，但是这些元件不应当由这些术语所限制。这些术语仅用来区分一个元件和另一个元件。因此，下文所讨论的“第一”元件也可以被称为“第二”元件而不偏离本技术的教导。应当理解的是，若提及一元件“连接”或者“联接”到另一元件时，其可以直接地连接或直接地联接到另一元件或者也可以存在中间元件。相反地，当提及一元件“直接地连接”或“直接地联接”到另一元件时，则不存在中间元件。在本申请中出现的各种术语仅仅用于描述具体的实施方式的目的而无意作为对本技术的限定，除非上下文另外清楚地指出，否则单数形式意图也包括复数形式。当在本说明书中使用术语“包括”和/或“包括有”时，这些术语指明了所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但是也不排除一个以上其他特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其群组的存在和/或附加。如图1～3所示，一种超高真空全金属阀，包括旋转机构1、焊接波纹管2、密封垫3、第一密封法兰4、第二密封法兰5和压力弹簧6；所述旋转机构1与焊接波纹管2连接；所述焊接波纹管2与密封垫3连接；所述第一密封法兰4设置在第二密封法兰5下方。进一步的，所述密封垫3包括高真空金属密封垫。进一步的，所述第一密封法兰4包括CF法兰。进一步的，所述第二密封法兰5包括CF法兰。进一步的，所述第一密封法兰4包括CF真空法兰。进一步的，所述第二密封法兰5包括CF真空法兰。实施例一如图1～3所示，本领域技术人员可将本技术作为一种超高真空全金属阀进行实施，包括旋转机构1、焊接波纹管2、密封垫3、第一密封法兰4、第二密封法兰5和压力弹簧6；所述旋转机构1与焊接波纹管2连接；所述焊接波纹管2与密封垫3连接；所述第一密封法兰4设置在第二密封法兰5下方。在本实施例中，超高真空全金属阀可用于真空系统中作启闭机构，适用的介质为空气及非腐蚀性气体，转动部件以螺纹结构，气动结构，工作可靠，适用温度范围全金属阀是属提升锥阀的一种。当提升锥被顶至顶端时，阀门内部的结构腔是开放系统且气体流动不受阻碍。一旦提升锥被移动至阀门底部时，铜垫片之密封垫被压缩密封阀门，而阻绝气体的流通达到密封之效果。真空提供之全金属阀门设计适用于超高真空的环境下，其封止用的垫片是可耐大温差之金属垫片。真空设计所有系列全金属阀门适用于真空排气系统、高真空应用的抽气系统、半导体技术与研究系统等。对于全金属超高真空阀门密封是用全金属垫片密封，相比于传统橡胶密封阀门优点在于，能在高温300度，低温正-200度正常使用，气密性好漏气率小，阀门几乎无需维护，可靠性高，可满足从大气压到低于10-11torr(mbar)的真空密封。在本实施例中的其余技术特征，本领域技术人员均可以根据实际情况进行灵活选用以满足不同的具体实际需求。然而，对于本领域普通技术人员显而易见的是：不必采用这些特定细节来实行本技术。在其他实例中，为了避免混淆本技术，未具体描述公知的组成，结构或部件，均在本技术的权利要求书请求保护的技术方案限定技术保护范围之内。在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”均是广义含义，本领域技术人员应作广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是活动连接，或整体地连接，或局部地连接，可以是机械连接，也可以是电性连接，可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接连接，还可以是两个元件内部的连通等，对于本领域的技术人员来说，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义，即，文字语言的表达与实际技术的实施可以灵活对应，本技术的说明书的文字语言(包括附图)的表达不构成对权利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超高真空全金属阀，其特征在于，包括旋转机构(1)、焊接波纹管(2)、密封垫(3)、第一密封法兰(4)、第二密封法兰(5)和压力弹簧(6)；所述旋转机构(1)与焊接波纹管(2)连接；所述焊接波纹管(2)与密封垫(3)连接；所述第一密封法兰(4)设置在第二密封法兰(5)下方。/n

【技术特征摘要】
1.一种超高真空全金属阀，其特征在于，包括旋转机构(1)、焊接波纹管(2)、密封垫(3)、第一密封法兰(4)、第二密封法兰(5)和压力弹簧(6)；所述旋转机构(1)与焊接波纹管(2)连接；所述焊接波纹管(2)与密封垫(3)连接；所述第一密封法兰(4)设置在第二密封法兰(5)下方。


2.根据权利要求1所述的一种超高真空全金属阀，其特征在于，所述密封垫(3)包括高真空金属密封垫。


3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈本富，
申请(专利权)人：四川宇天真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51