一种弯管过滤式涂层机制造技术

本发明专利技术涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种弯管过滤式涂层机，其包括控制柜、真空泵、真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；真空容器设置有真空内腔；靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构，真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件；弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件。本申请的涂层机的靶材离化机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化机构的冷却效果。同时，靶材夹头机构设置有一段弧形管组件，弧形管组件具有一定的弧度，增加本申请的涂层机的过滤效果。

【技术实现步骤摘要】
一种弯管过滤式涂层机
本专利技术涉及涂层设备
，尤其是指一种弯管过滤式涂层机。
技术介绍
真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术，在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基材温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定、操作控制方便等优点，成为镀膜工业应用领域特别是建筑镀膜玻璃、透明导电膜玻璃、柔性基材卷绕镀等对大面积的均匀性有特别苛刻要求的连续镀膜场合的首选方案。涂层机的靶材离化机构在工作中会产生大量的热量，现有的靶材离化机构的冷却效果差，靶材离化机构所产生的热量会影响整个溅射过程，从而导致镀膜失败。此外，靶材离化机构所产生的热量会影响靶材离化机构内部的零部件，使得靶材离化机构不能正常地工作，甚至会造成靶材离化机构的损坏，增加生产的成本。同时，靶材离化机构的真空管机构均为直管，对某些被离化的杂原子或离子的过滤效果差。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种弯管过滤式涂层机，该涂层机的靶材离化机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化机构的冷却效果，保护了靶材离化机构内部的零部件，保证靶材离化机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。同时，靶材夹头机构设置有一段弧形管组件，弧形管组件具有一定的弧度，能更好地将某些被离化的杂原子或离子挡落至弧形管组件的内管上，增加本申请的涂层机的过滤效果。为了解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种弯管过滤式涂层机，其包括控制柜和真空泵，还包括真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；所述真空容器设置有真空内腔，若干个所述离子发生机构分别装设于真空内腔并用于向真空内腔产生离子；若干个所述靶材离化机构分别连接于真空容器；所述真空泵连接于真空容器并用于对真空容器进行抽真空处理；所述真空泵、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构均与控制柜电性连接；所述靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构；所述真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件，弧形管组件的两端分别连接有至少一组直管组件；所述弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；所述真空管机构连接于真空容器，所述内管与真空内腔连通；所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有第一冷却液腔；所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与第一冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻弧形管组件的第二连接块或相邻直管组件的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧螺钉也用于将第二连接块锁紧于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。进一步地，所述冷却机构包括水管套、进水管、出水管、出水管锁紧组件和热交换座，所述热交换座设置于安装座的一侧并位于内管的内部，水管套和出水管锁紧组件设置于安装座的另一侧；所述水管套设置有第二进水口和第二出水口，所述热交换座设置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔连通第一容置腔和第二容置腔，所述热交换座与靶材夹头机构连接，所述第一容置腔位于热交换座靠近靶材夹头机构的一端；所述出水管套设于进水管的外侧，进水管与出水管之间设置有流通间隙；所述安装座设置有第一安装孔，第一安装孔贯穿安装座，所述进水管的一端连接于水管套，进水管的另一端穿经第一安装孔并连接于热交换座，进水管连通第二进水口和第一容置腔；所述出水管的一端连接于水管套，出水管的另一端穿经第一安装孔并连接于热交换座，出水管连通第二出水口和第二容置腔；所述出水管锁紧组件用于将出水管锁紧于安装座。进一步地，所述水管套设置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔连通第三容置腔和外界；所述第二进水口与第三容置腔连通，所述第二出水口与第四容置腔连通；所述第三容置腔的内壁设置有第一内螺纹，进水管的外壁设置有用于与第一内螺纹螺纹连接的第一外螺纹；所述第四容置腔的内壁设置有第二内螺纹，出水管的外壁设置有用于与第二内螺纹螺纹连接的第二外螺纹。进一步地，所述弧形管组件或/和直管组件的内管的内部间隔设置有多个挡料板。进一步地，所述靶材夹头机构包括夹头底座和夹头座，所述夹头底座连接于安装座，夹头座连接于夹头底座远离安装座的一端，夹头座用于夹紧待离化靶材；所述夹头底座开设有冷却机构容置腔，所述热交换座位于冷却机构容置腔内并抵触着夹头座的底部。进一步地，所述离子发生机构包括装配基体、正极载件、负极载件、气腔基件和冷却组件，装配基体安装于真空内腔内，负极载件安装于装配基体的顶部，所述冷却组件安装于负极载件的底部并用于对负极载件进行冷却，气腔基件设置于正极载件与负极载件之间；所述气腔基件设置有离子发生腔和多个离子发射通孔，多个离子发射通孔分别与离子发生腔连通。进一步地，所述冷却组件包括冷却托件、第三进水口和第三出水口；冷却托件安装于负极载件的底部，冷却托件与负极载件围设形成第二冷却液腔，第三进水口和第三出水口分别设置于冷却托件的两端，第三进水口和第三出水口分别与第二冷却液腔连通；所述正极载件安装有电极接线柱，电极接线柱用于接入外界的电源正极；所述负极载件用于接入外界的电源负极。进一步地，所述离子发生机构还包括冷却围板，冷却围板的中部设置有第二安装孔，气腔基件经由第二安装孔安装于冷却围板；冷却围板的底部设置有注液棒，注液棒设置有第一进液通道和第一出液通道，冷却围板的顶部设置有冷却环槽，第一进液通道和第一出液通道均与冷却环槽连通，冷却环槽用于对气腔基件冷却；注液棒的外侧套设有用于保护注液棒的绝缘部件。进一步地，所述离子发生机构还包括多个磁性部件，所述气腔基件设置有多个限位孔，多个限位孔呈环形阵列以形成限位孔环；多个离子发射通孔呈直线阵列，多个离子发射通孔均位于限位孔环的内部，多个磁性部件与多个限位孔一一对应装配。进一步地，所述真空容器还包括容器本体、挡门、加热棒和气体供应管；所述挡门转动安装于容器本体，挡门用于开启或关闭容器本体的真空内腔；挡门设置有安装槽位，离子发生机构安装于安装槽位，加热棒的数量为多个，多个加热棒呈环形阵列设置于真空内腔，气体供应管设置于真空内腔并用于向离子发生机构供应气体。本专利技术的有益效果：实际工作中，先根据生产的需要在弧形管组件的两端安装一组或多组直管组件，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弯管过滤式涂层机，包括控制柜和真空泵，其特征在于：还包括真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；/n所述真空容器设置有真空内腔，若干个所述离子发生机构分别装设于真空内腔并用于向真空内腔产生离子；若干个所述靶材离化机构分别连接于真空容器；所述真空泵连接于真空容器并用于对真空容器进行抽真空处理；所述真空泵、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构均与控制柜电性连接；/n所述靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构；所述真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件，弧形管组件的两端分别连接有至少一组直管组件；所述弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；/n所述真空管机构连接于真空容器，所述内管与真空内腔连通；所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有第一冷却液腔；/n所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与第一冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻弧形管组件的第二连接块或相邻直管组件的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧螺钉也用于将第二连接块锁紧于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；/n所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。/n...

【技术特征摘要】
1.一种弯管过滤式涂层机，包括控制柜和真空泵，其特征在于：还包括真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；
所述真空容器设置有真空内腔，若干个所述离子发生机构分别装设于真空内腔并用于向真空内腔产生离子；若干个所述靶材离化机构分别连接于真空容器；所述真空泵连接于真空容器并用于对真空容器进行抽真空处理；所述真空泵、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构均与控制柜电性连接；
所述靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构；所述真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件，弧形管组件的两端分别连接有至少一组直管组件；所述弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；
所述真空管机构连接于真空容器，所述内管与真空内腔连通；所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有第一冷却液腔；
所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与第一冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻弧形管组件的第二连接块或相邻直管组件的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧螺钉也用于将第二连接块锁紧于相邻弧形管组件的第一连接块或相邻直管组件的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；
所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。


2.根据权利要求1所述的一种弯管过滤式涂层机，其特征在于：所述冷却机构包括水管套、进水管、出水管、出水管锁紧组件和热交换座，所述热交换座设置于安装座的一侧并位于内管的内部，水管套和出水管锁紧组件设置于安装座的另一侧；所述水管套设置有第二进水口和第二出水口，所述热交换座设置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔连通第一容置腔和第二容置腔，所述热交换座与靶材夹头机构连接，所述第一容置腔位于热交换座靠近靶材夹头机构的一端；所述出水管套设于进水管的外侧，进水管与出水管之间设置有流通间隙；所述安装座设置有第一安装孔，第一安装孔贯穿安装座，所述进水管的一端连接于水管套，进水管的另一端穿经第一安装孔并连接于热交换座，进水管连通第二进水口和第一容置腔；所述出水管的一端连接于水管套，出水管的另一端穿经第一安装孔并连接于热交换座，出水管连通第二出水口和第二容置腔；所述出水管锁紧组件用于将出水管锁紧于安装座。


3.根据权利要求2所述的一种弯管过滤式涂层机，其特征在于：所述水管套设置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔连通第三容置腔和外...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊锋，袁明，王锋，
申请(专利权)人：广东鼎泰机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44