一种TiAl靶材结构成型模具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种TiAl靶材结构成型模具，主要包括底框、螺纹杆、盖板、侧套、内衬和排水环，所述底框内侧中部固定安装有加热板，所述底框底端位于加热板下方旋接安装有检修板，检修板顶端紧密接触加热板底端侧壁，所述底框顶端边缘处开设有环槽，所述底框顶端位于环槽处插接安装有层叠设置的侧套。实用新型专利技术在结构上设计合理，本模具在生产时，模具采用装配式结构，对长径比差别大的靶材，生产时适应性强；模具在使用时，组成部件可以单独更换，维护成本低，拆装快捷，使用高效。

【技术实现步骤摘要】
一种TiAl靶材结构成型模具
本技术涉及一种靶材模具，具体是一种TiAl靶材结构成型模具。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等，在靶材的生产中，先通过模具进行浇铸成型，在通过CNC中心铣削成目标形状。现有的模具在生产时，模具采用整体化结构，对长径比差别大的靶材，生产时适应性差；模具在使用时，原料浆在成型时，会有水份脱出，排出不畅，会使得成品中产生气孔。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种TiAl靶材结构成型模具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种TiAl靶材结构成型模具，主要包括底框、螺纹杆、盖板、侧套、内衬和排水环，所述底框内侧中部固定安装有加热板，所述底框底端位于加热板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种TiAl靶材结构成型模具，主要包括底框(1)、螺纹杆(6)、盖板(7)、侧套(8)、内衬(10)和排水环，其特征在于，所述底框(1)内侧中部固定安装有加热板(12)，所述底框(1)底端位于加热板(12)下方旋接安装有检修板(11)，检修板(11)顶端紧密接触加热板(12)底端侧壁，所述底框(1)顶端边缘处开设有环槽，所述底框(1)顶端位于环槽处插接安装有层叠设置的侧套(8)，侧套(8)顶端盖设安装有盖板(7)，所述底框(1)顶端位于侧套(8)内部叠放安装有底板(13)，底板(13)顶端位于侧套(8)内部插接安装有内衬(10)，内衬(10)侧壁贯穿设置有疏水孔(9)，所述底板(13)顶端...

【技术特征摘要】
1.一种TiAl靶材结构成型模具，主要包括底框(1)、螺纹杆(6)、盖板(7)、侧套(8)、内衬(10)和排水环，其特征在于，所述底框(1)内侧中部固定安装有加热板(12)，所述底框(1)底端位于加热板(12)下方旋接安装有检修板(11)，检修板(11)顶端紧密接触加热板(12)底端侧壁，所述底框(1)顶端边缘处开设有环槽，所述底框(1)顶端位于环槽处插接安装有层叠设置的侧套(8)，侧套(8)顶端盖设安装有盖板(7)，所述底框(1)顶端位于侧套(8)内部叠放安装有底板(13)，底板(13)顶端位于侧套(8)内部插接安装有内衬(10)，内衬(10)侧壁贯穿设置有疏水孔(9)，所述底板(13)顶端边缘处侧壁开设有与疏水孔(9)配合的集水槽(15)，所述底板(13)中部贯穿开设有对称设置的出水孔(14)，所述底框(1)内侧边缘处开设有与出水孔(14)配合的水道(17)，所述侧套(8)外侧中部固定安装有对称设置的装配片(2)，所述底框(1)顶端位于装配片(2)中部固定安装有螺纹杆(6)，螺纹杆(6)贯穿连接装配片(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘耀文，黄军浩，
申请(专利权)人：昆山全亚冠环保科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32