一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置，返修设备制程腔腔体槽下部设有腔体口，腔体口通过TANK回流自动阀连接药液槽，通过排水自动阀连接排水口，两个风刀设于腔体槽中，分别连接纯净干空气供给装置和超纯水供给装置，风刀与纯净干空气供给装置和超纯水供给装置的连接管路上分别设有纯净干空气防水自动阀、超纯水自动阀和管道加热器。其工作方法包括：1）排水准备；2）风刀重洗；3）烘干清除。优点：1）结构简单，操作方便，成本低廉，有效避免人力手动清理的风险，显著提高产量和设备稼动率，保证了设备稳定性和产品工艺品质。2）改善了药液超消耗的问题，降低了生产成本，节能减材。

【技术实现步骤摘要】
一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置
本技术是一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置，属于基板返修设备

技术介绍
基板返修设备（Strip）作业时，因制程高温及药液强碱的特性，在停机及生产异常时，分离基板上药液的风刀，因机构装置设计简单，风刀口极易结晶堵塞，不易清理，给正常生产带来了巨大的难题。简易风刀机构易结晶堵塞导致的问题表现在：1）生产时，风刀结晶无法正常分离基板上可再利用的药液，导致药液超消耗。连续生产时，制程腔内各风刀结晶堵塞程度差异性大，导致各药液无法形成有效的等量回流，导致设备报警，影响设备稼动率。同时风刀结晶无法保证基板均匀的膜面分离，产品均一性差，影响产品质量、产量及工艺的稳定性。2）人工停机清理高温强碱腔体的风刀结晶，需要1小时/次作业代价，而且因风刀口为0.12mm，需要较大水压进行结晶清理，时常会出现水压过大，四处溅射危险情况，人工清理危险系数高。而且人为冲洗效果不佳,再次恢复生产，风刀口的结晶及管道内的制程积液，无法彻底清除，会造成生产时的基板表面药液无法有效分离，导致药液的过量消耗，从而增大了设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置，其特征是包括风刀（1）、纯净干空气供给装置（2）、腔体口（3）、腔体槽（4），TANK回流自动阀（5）、排水自动阀（6）、药液槽（7）、排水口（8）、超纯水供给装置（9）、纯净干空气防水自动阀、超纯水自动阀和管道加热器；/n其中，所述返修设备制程腔腔体槽（4）下部设有腔体口（3），腔体口（3）通过TANK回流自动阀（5）连接药液槽，通过排水自动阀（6）连接排水口（8），两个风刀（1）设于腔体槽（4）中，分别连接纯净干空气供给装置（2）和超纯水供给装置（9），风刀（1）与纯净干空气供给装置（2）和超纯水供给装置（9）的连接管路上分别设有纯净干空气防水自动阀...

【技术特征摘要】
1.一种返修设备制程腔的风刀防结晶装置，其特征是包括风刀（1）、纯净干空气供给装置（2）、腔体口（3）、腔体槽（4），TANK回流自动阀（5）、排水自动阀（6）、药液槽（7）、排水口（8）、超纯水供给装置（9）、纯净干空气防水自动阀、超纯水自动阀和管道加热器；
其中，所述返修设备制程腔腔体槽（4）下部设有腔体口（3），腔体口（3）通过TANK回流自动阀（5）连接药液槽，通过排水自动阀（6）连接排水口（8），两个风刀（1）设于腔体槽（4）中，分别连接纯净干空气供给装置（2）和超纯水供给装置（9），风刀（1）与纯净干空气供给装置（2）和超纯水供给装置（9）的连...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟义顺，吴云桂，朱子寰，朱廷，石博平，刘红艳，陈长增，王小霞，
申请(专利权)人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32