【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传感器，特别是在兼作加热器用的电极线圈内穿入中心电极后，埋在金属氧化物半导体小珠中的气体传感器。本申请人曾提出过在兼作加热器用的电极线圈内穿入中心电极后，埋在金属氧化物半导体小珠中，把中心电极的一端与线圈的两端装在支杆上，三点支撑的气体传感器方案(特开昭61-264264)。但这样的传感器由于是三点支撑机械强度不够，中心电极相对于线圈定位困难。本专利技术的目的是提供一种机械强度高、传感器电阻等特性的标准离差小的。本专利技术中，线圈和中心电极都埋入金属氧化物半导体小珠后，把金属氧化物半导体放在基座凹陷部位的上面，线圈的两端装在基座上的三根引线中的两根上。如能把中心电极定位在线圈的中心，就能减小气体传感器电阻值等的标准离差。而中心电极两端可引到基座外，例如用夹头等可以定位。同样可用三根引线中剩余的中间的一根使中心电极的一端定位，使另一端在凹陷部位或基座外定位。因此能使气体传感器特性的标准离差小。中心电极一端用引线固定，另一端用基座表面或凹陷部位内或另一引线固定。因此传感器主体呈4点支撑，与3点支撑相比机械强度显著增加。在基座成形时把三根引线做成...
【技术保护点】
一种气体传感器，其特征为：该传感器具有的传感器主体是在兼作加热器用的线圈中穿入中心电极，把上述线圈和中心电极埋入金属氧化物半导体小珠内制成的，该气体传感器包括有至少三根引线和凹陷部位的基座，上述线圈的两端附近和上述中心电极的一端附近被装在上述三根引线上，上述小珠支撑在上述凹陷部位，而且上述中心电极的另一端附近被装在基座或另外的引线上。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：野村徹，吉村知子，田尻裕一朗，大越秀树，岸本让，
申请(专利权)人：费加罗技研株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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