紫外LED光刻曝光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光刻技术领域，且公开了紫外LED光刻曝光装置，包括安装板，安装板的下端通过若干个连接杆共同固定连接有连接板，连接板的下端开设有滑槽，连接板的侧壁上固定连接有驱动电机，驱动电机的输出端固定连接有转动杆，转动杆穿过连接板并向滑槽内延伸，且通过轴承与滑槽的槽壁上转动连接，位于滑槽内转动杆的杆壁上固定套接有往复丝杆，往复丝杆上啮合有往复滑套，往复滑套滑动连接在滑槽内，往复滑套的下端穿过滑槽的槽口并固定连接有长条形的LED光源，连接板的下端对称固定连接有定位杆，定位杆的下端安装有夹具，两个夹具共同夹持有掩模板。本实用新型专利技术使得曝光后光刻胶组成图案的厚度均匀，不会影响后续工艺。

【技术实现步骤摘要】
紫外LED光刻曝光装置
本技术涉及光刻
，尤其涉及紫外LED光刻曝光装置。
技术介绍
在集成电路和液晶显示器的制造过程中，光刻工艺是制备其中电子元器件的必要基本工艺，例如，用于制备液晶显示器中阵列基板和彩膜基板。光刻工艺的基本过程包括：首先在基板的表面上涂覆一层光刻胶，然后对光刻胶进行曝光，以将掩模板上的图案转印到光刻胶上，形成潜影；再用溶剂对曝光后的光刻胶进行显影，使潜影显现出来；接下来用蚀刻液喷淋或者浸润基板，剩余的光刻胶作为抗蚀膜保护其覆盖部分的基板，基板上未被光刻胶覆盖的部分被蚀刻；最后用剥离液除去基板表面的光刻胶，得到产品。在曝光过程中，基板上的光刻胶经过曝光后得到的图案要求厚度均匀。但是在曝光进行过程中，由于曝光灯的位置固定，所以在曝光过程中，曝光灯发出的光在掩模板的边缘处和中间部分的照度分布不均，导致经过曝光后光刻胶组成图案的厚度不均匀，影响后续工艺，造成产品的良率低。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中曝光灯发出的光在掩模板的边缘处和中间部分的照度分布不均，导致经过曝光后光刻胶组成图案的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.紫外LED光刻曝光装置，包括安装板(1)，其特征在于，所述安装板(1)的下端通过若干个连接杆共同固定连接有连接板(2)，所述连接板(2)的下端开设有滑槽(3)，所述连接板(2)的侧壁上固定连接有驱动电机(4)，所述驱动电机(4)的输出端固定连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)穿过连接板(2)并向滑槽(3)内延伸，且通过轴承与滑槽(3)的槽壁上转动连接，位于所述滑槽(3)内转动杆(5)的杆壁上固定套接有往复丝杆(6)，所述往复丝杆(6)上啮合有往复滑套(7)，所述往复滑套(7)滑动连接在滑槽(3)内，所述往复滑套(7)的下端穿过滑槽(3)的槽口并固定连接有长条形的LED光源(8)，所述连接板...

【技术特征摘要】
1.紫外LED光刻曝光装置，包括安装板(1)，其特征在于，所述安装板(1)的下端通过若干个连接杆共同固定连接有连接板(2)，所述连接板(2)的下端开设有滑槽(3)，所述连接板(2)的侧壁上固定连接有驱动电机(4)，所述驱动电机(4)的输出端固定连接有转动杆(5)，所述转动杆(5)穿过连接板(2)并向滑槽(3)内延伸，且通过轴承与滑槽(3)的槽壁上转动连接，位于所述滑槽(3)内转动杆(5)的杆壁上固定套接有往复丝杆(6)，所述往复丝杆(6)上啮合有往复滑套(7)，所述往复滑套(7)滑动连接在滑槽(3)内，所述往复滑套(7)的下端穿过滑槽(3)的槽口并固定连接有长条形的LED光源(8)，所述连接板(2)的下端对称固定连接有定位杆(9)，所述定位杆(9)的下端安装有夹具(10)，两个所述夹具(10)共同夹持有掩模板(11)，所述LED光源(8)位于掩模板(11)的正上方。


2.根据权利要求1所述的紫外LED光刻曝光装置，其特征在于，所述滑槽(3)的槽底开设有限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚旭，周爱东，
申请(专利权)人：江苏佰元鸿金属科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32