【技术实现步骤摘要】
一种用于探针平台的聚焦装置
本技术设计一种聚焦装置，具体涉及一种用于探针平台的聚焦装置。
技术介绍
探针平台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途。目前的检测平台是通过显微镜和探针对平面物品、零部件进行测试，针对不同的待检测物体时，检测平台在使用时需要改变显微镜镜头与待测物体之间的距离，调整焦距，进行聚焦，但目前直接手调显微镜高度虽然可行，但聚集精度低、景深调节范围小，并且在调整过程中会产生震动和抖动现象，影响聚焦的精度。基于此，特提出了一种用于探针平台的聚焦装置。
技术实现思路
针对上述现有技术的不足，本技术所要解决的技术问题是：提供了一种用于探针平台的聚焦装置解决现有的调整过程中会产生震动和抖动现象，影响聚焦的精度问题，结构简单，适用性强。为了解决上述技术问题，本技术采用了如下的技术方案：一种用于探针平台的聚焦装置，包括平台底座、安装有目镜的显微镜、探针臂和探针，所述探针臂底部活动连接在所述平台底座上，所述探针固定在所述探针臂顶端，且所述探针位于所述平台底座上方；所述显微镜位于所述探针的上方；其关键在于：所述显微镜上设有自动聚焦装置；所述平台底座上设有自动载物平台，且该自动载物平台位于所述探针下方；所述自动聚焦装置包括红外线传感器和调焦装置，所述调焦装置位于所述显微镜的目镜的下方；所述平台底座上开...
【技术保护点】
1.一种用于探针平台的聚焦装置，包括平台底座(1)、安装有目镜的显微镜(2)、探针臂(3)和探针(4)，所述探针臂(3)底部活动连接在所述平台底座(1)上，所述探针(4)固定在所述探针臂(3)顶端，且所述探针(4)位于所述平台底座(1)上方；所述显微镜(2)位于所述探针(4)的上方；其特征在于：所述显微镜(2)上设有自动聚焦装置(5)；所述平台底座(1)上设有自动载物平台(6)，且该自动载物平台(6)位于所述探针(4)下方；/n所述自动聚焦装置(5)包括红外线传感器(501)和调焦装置(502)，所述调焦装置(502)位于所述显微镜(2)的目镜的下方；/n所述平台底座(1)上开设有滑动槽(7)，所述自动载物平台(6)滑动设置在所述滑动槽(7)内。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于探针平台的聚焦装置，包括平台底座(1)、安装有目镜的显微镜(2)、探针臂(3)和探针(4)，所述探针臂(3)底部活动连接在所述平台底座(1)上，所述探针(4)固定在所述探针臂(3)顶端，且所述探针(4)位于所述平台底座(1)上方；所述显微镜(2)位于所述探针(4)的上方；其特征在于：所述显微镜(2)上设有自动聚焦装置(5)；所述平台底座(1)上设有自动载物平台(6)，且该自动载物平台(6)位于所述探针(4)下方；
所述自动聚焦装置(5)包括红外线传感器(501)和调焦装置(502)，所述调焦装置(502)位于所述显微镜(2)的目镜的下方；
所述平台底座(1)上开设有滑动槽(7)，所述自动载物平台(6)滑动设置在所述滑动槽(7)内。
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【专利技术属性】
技术研发人员：郭俊春，
申请(专利权)人：重庆盛科纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50
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