激光器发散角测量系统及测量方法技术方案

本公开提供一种激光器发散角测量系统及测量方法，该测量系统包括：待测激光器单元，包括可移动的多个待测激光器；列探测器，设置于待测激光器的出光向一侧，包括沿直线均匀排布于一旋转支架上的多个探测器；以及测试探针，用于对多个待测激光器之一的位于列探测器中心法线的被测激光器进行电注入使被测激光器导通发射激光；其中，所述列探测器能够在被测激光器出光面旋转形成圆形探测截面，顺次完成所有待测激光器发散角的测量。

【技术实现步骤摘要】
激光器发散角测量系统及测量方法
本公开涉及激光器
，尤其涉及一种激光器发散角测量系统及测量方法。
技术介绍
近年来，随着光通信行业的蓬勃发展，通信速率不断加快，对激光器光源也提出了更加严格的要求，尤其是半导体激光器，既要求它有着足够高的调制速率，又要求它的入纤功率能够满足需要。增大激光器的出光功率和耦合效率都能够提高入纤功率，而激光器的出光功率与调制速率相互制约，所以提高激光器的光耦和效率是提高入纤功率的一种有效方法。半导体激光器因为其特定的结构导致其出射光为一椭圆形光斑，其发散角的大小对于光耦和效率有着较大的影响，因此快速的测量激光器的发散角对于提高光耦和效率，改进光耦和方案有着重要的意义。现有的测试激光器远场发散角的装置，通过测试探针给激光器供电，在远场方向通过探测器组件进行采集出光截面，从而达到实现测量激光器远场发散角的目的。典型的，如专利号为CN201821181890.0的专利文件中提出在激光器远场方向设立一个面探测器阵列，通过这个面探测器阵列的前后移动，得出移动前后的距离差与光截面差来计算远场发散角的大小。这种装置使用大量探测器来组成探测面来采集出射光，成本较高，且无法对大量的激光器进行快速测量。另一典型的，如专利号为CN201310508297.8的专利文件公开的一种利用旋转平移台来控制少量探测器进行旋转和平移操作，最终实现探测整个激光器发光截面的目的。该装置虽然减少了探测器的数量，但整个测量过程需要多次平移和旋转操作，大大增加了测量时间。公开内容(一)要解决的技术问题r>基于上述问题，本公开提供了一种激光器发散角测量系统及测量方法，以缓解现有技术中激光器远场发散角探测器成本较高，且无法应对大量的激光器测量，或测量过程繁琐，时间较长等技术问题。(二)技术方案本公开的一个方面，提供一种激光器发散角测量系统，包括：待测激光器单元，其包括可移动的多个待测激光器；列探测器，设置于待测激光器的出光向一侧，包括沿直线均匀排布于一旋转支架上的多个探测器；以及测试探针，用于对多个待测激光器之一的位于列探测器中心法线的被测激光器进行电注入使被测激光器导通发射激光；其中，所述列探测器能够在被测激光器出光面旋转形成圆形探测截面。在本公开实施例中，所述多个待测激光器等间距顺次固定于夹具上。在本公开实施例中，所述多个待测激光器固定在夹具上后再置于载物台上。在本公开实施例中，所述多个待测激光器借助载物台按设定方式移动。在本公开实施例中，所述探测器包括光电探测器或者积分球中至少一种。在本公开实施例中，所述旋转支架在其中心位置通过一旋转轴连接驱动器实现旋转进而带动多个探测器旋转。在本公开实施例中，所述列探测器沿中心法线旋转180°。在本公开实施例中，所述列探测器沿中心法线逆时针或顺时针旋转180°在本公开实施例中，所述测试探针可以按照设定方式移动与供电。在本公开的另一方面，提供一种激光器发散角测量方法，采用上述任一项所述的激光器发散角测量系统对激光器的发散角进行测量，所述激光器发散角测量方法，包括：步骤S1：将多个待测激光器等间距顺次固定在夹具上后再置于载物台上，将列探测器设置于待测激光器的出光向一侧；步骤S2：移动载物台的位置，使得多个待测激光器之一位于列探测器中心法线上作为被测激光器；步骤S3：通过测试探针对被测激光器进行电注入，使得被测激光器导通发出激光；步骤S4：驱动列探测器沿中心法线旋转180度，得到被测激光器的完整探测截面的光强分布，完成被测激光器的发散角的测量；步骤S5：断开测试探针对被测激光器的电注入，抬升测试探针；以及步骤S6：自动重复步骤S2-S5，顺次完成所有待测激光器发散角的测量。(三)有益效果从上述技术方案可以看出，本公开激光器发散角测量系统及测量方法至少具有以下有益效果其中之一或其中一部分：(1)系统组成简洁，需器件较少，成本低；(2)测量过程简单，测量效率更高；(3)可进行自动化的批量测试；(4)列探测器旋转构成探测截面，减少了探测器组件在测量被侧激光器发散角后繁杂的复位过程。附图说明图1为本公开实施例激光器发散角测量系统的组成示意图。图2为本公开实施例列探测器旋转方式示意图。图3为本公开实施例激光器发散角测量方法的流程示意图。【附图中本公开实施例主要元件符号说明】1-测试探针；2-激光器；3-夹具；4-载物台；5-列探测器；6-旋转轴；7-驱动器。具体实施方式本公开提供了一种激光器发散角测量系统及测量方法，利用现在成熟的自动化工艺，采用可以旋转的探测器组件与可以移动的待测激光器单元，实现使用少量的探测器快速依次测量多个激光器远场发散角的目的。为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。在本公开实施例中，提供一种激光器发散角测量系统，结合图1和图2所示，所述激光器发散角测量系统，包括：待测激光器单元，包括等间距顺次排列于载物台4上的多个待测激光器2；测试探针1，用于对待测激光器进行电注入使激光器导通发射激光；列探测器，设置于待测激光器的出光向一侧，包括沿直线均匀排布于一旋转支架上的多个探测器5，其中，所述列探测器能够在待测激光器出光面旋转形成圆形探测截面。所述多个激光器2等间距固定在夹具3上后再置于载物台上，所述多个激光器可借助载物台4按设定方式移动。所述测试探针设置于待测激光器单元的上方，且可按照设定方式进行移动和供电。列探测器中的探测器可以选用普通的光电探测器或者积分球。所述旋转支架在其中心位置通过一旋转轴连接驱动器实现旋转进而带动多个探测器旋转。在本公开实施例中，如图1所示，以激光器出光方向为Z轴，多个待测激光器沿X轴均匀排列，载物台与特制夹具的堆叠方向为Y轴，以被测激光器的出光位置为原点。列探测器的多个探测器平行于X轴，其入光面正对于激光器出光向；固定多个探测器的旋转支架通过旋转轴连接驱动器，旋转轴位于列探测器入光面的背侧，平行于Z轴，列探测器与旋转轴的中心都在Z轴上，驱动器位于旋转轴的另一侧。其主要特征在于，驱动器驱动列探测器绕旋转轴旋转，在垂直于Z轴的平面(激光器出光面)上形成探测截面，通过移动载物台，使载物台在X方向进行移动，保证被测激光器与列探测器中心在Z方向的对准，达到快速依次测量多个激光器发散角的目的。在本公开实施例中，提供一种快速测量激光器发散角测量方法，如图3所示，所述测量方法，包括：步骤S1：将多个待测激光器等间距顺次固定在夹具上后置于载物台上，将列探测器设置于待测激光器的出光向一侧；首先把待测的激光器放入特制的夹具中并固定，夹具中每个激光器的间隔距离是固定的，都为d。然后将特制夹具固定在载物台上。同时，将列探测器置于待测激光器的出光向一侧，其入光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光器发散角测量系统，包括：/n待测激光器单元，包括可移动的多个待测激光器；/n列探测器，设置于待测激光器的出光向一侧，包括沿直线均匀排布于一旋转支架上的多个探测器；以及/n测试探针，用于对多个待测激光器之一的位于列探测器中心法线的被测激光器进行电注入使被测激光器导通发射激光；/n其中，所述列探测器能够在被测激光器出光面旋转形成圆形探测截面。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光器发散角测量系统，包括：
待测激光器单元，包括可移动的多个待测激光器；
列探测器，设置于待测激光器的出光向一侧，包括沿直线均匀排布于一旋转支架上的多个探测器；以及
测试探针，用于对多个待测激光器之一的位于列探测器中心法线的被测激光器进行电注入使被测激光器导通发射激光；
其中，所述列探测器能够在被测激光器出光面旋转形成圆形探测截面。


2.根据权利要求1所述的激光器发散角测量系统，所述多个待测激光器等间距顺次固定于夹具上。


3.根据权利要求1所述的激光器发散角测量系统，所述多个待测激光器固定在夹具上后再置于载物台上。


4.根据权利要求1所述的激光器发散角测量系统，所述多个待测激光器借助载物台按设定方式移动。


5.根据权利要求1所述的激光器发散角测量系统，所述探测器包括光电探测器或者积分球中至少一种。


6.根据权利要求1所述的激光器发散角测量系统，所述旋转支架在其中心位置通过一旋转轴连接驱动器实现旋转进而带动多个探测器旋转。


7.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈伟，徐长达，陈少康，金亚，祝宁华，
申请(专利权)人：雄芯光电科技有限责任公司，中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：河北;13