流体控制阀制造技术

本发明专利技术提供一种可以在确保活塞推力的情况下削减零件数量的流体控制阀。本发明专利技术的流体控制阀(1)由多层活塞执行器部(X)和阀部(Y)构成，所述多层活塞执行器部(X)中，排列在同轴上的第1活塞(21)、第2活塞(22)在其内部滑动，所述阀部(Y)具备供控制流体流入的输入口(11a)和供控制流体流出的输出口(11b)，其中，第1活塞(21)、第2活塞(22)的滑动方向是与连结输入口(11a)的中心与输出口(11b)的中心的假想线正交的方向。多层活塞执行器部(X)的与所述假想线正交的方向而且是与所述滑动方向正交的方向的厚度尺寸为阀部(Y)的与所述假想线正交的方向而且是与所述滑动方向正交的方向的厚度尺寸以下。第1活塞(21)、第2活塞(22)的与所述滑动方向正交的截面为长边方向与所述假想线平行的长圆形状或椭圆形状。

【技术实现步骤摘要】
流体控制阀
本专利技术涉及由多层活塞执行器部和阀部构成的流体控制阀，所述多层活塞执行器部中，排列在同轴上的多个活塞在其内部滑动，所述阀部具备供控制流体流入的输入口和供控制流体流出的输出口。
技术介绍
在半导体制造工序中的气体控制中，使用有由执行器部和阀部构成的流体控制阀，所述执行器部中，活塞在其内部滑动，所述阀部借助活塞的滑动来进行阀芯的开闭。在近年来的半导体制造装置中，为了进行多种气体的切换，应设置的流体控制阀的数量在增加。当流体控制阀的设置数量增加时，半导体制造装置的设置面积会相应地增大，因此，谋求流体控制阀的小型化、减少流体控制阀在半导体制造装置内的设置面积便成为了课题。但是，要可靠地进行流体控制阀的开阀及闭阀动作，就必须确保活塞的推力。要确保活塞的推力，须确保活塞的承受操作流体的压力的受压面的面积有足够大小，但是，若为了确保受压面的面积而扩大活塞的尺寸，则执行器部的尺寸会增大，从而导致流体控制阀的设置面积扩大。因此，例如使用有如下流体控制阀，即，像专利文献1揭示的流体控制阀100(参考图7)那样在同轴上排列第1活塞101本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流体控制阀(1)，其由多层活塞执行器部(X)和阀部(Y)构成，所述多层活塞执行器部(X)中，排列在同轴上的多个活塞(21、22)在其内部滑动，所述阀部(Y)具备供控制流体流入的输入口(11a)和供控制流体流出的输出口(11b)，该流体控制阀(1)的特征在于，/n所述活塞(21、22)的滑动方向(S)是与连结所述输入口(11a)的中心与所述输出口(11b)的中心的假想线正交的方向，/n所述多层活塞执行器部(X)的与所述假想线正交的方向(T)而且是与所述滑动方向正交的方向的厚度尺寸(T1)为所述阀部(Y)的与所述假想线正交的方向(T)而且是与所述滑动方向(S)正交的方向(T)的厚度尺寸(T...

【技术特征摘要】
20190405 JP 2019-0725541.一种流体控制阀(1)，其由多层活塞执行器部(X)和阀部(Y)构成，所述多层活塞执行器部(X)中，排列在同轴上的多个活塞(21、22)在其内部滑动，所述阀部(Y)具备供控制流体流入的输入口(11a)和供控制流体流出的输出口(11b)，该流体控制阀(1)的特征在于，
所述活塞(21、22)的滑动方向(S)是与连结所述输入口(11a)的中心与所述输出口(11b)的中心的假想线正交的方向，
所述多层活塞执行器部(X)的与所述假想线正交的方向(T)而且是与所述滑动方向正交的方向的厚度尺寸(T1)为所述阀部(Y)的与所述假想线正交的方向(T)而且是与所述滑动方向(S)正交的方向(T)的厚度尺寸(T2)以下，
所述活塞的与所述滑动方向正交的截面为长轴与所述假想线平行的长圆形状或椭圆形状。


2.根据权利要求1所述的流体控制阀，其特征在于，
所述多层活塞执行器部(X)由排列在所述活塞的滑动方向的同轴上的第1气缸(23)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩田敏男，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP