【技术实现步骤摘要】
一种新式连续加料微下拉法装置及工艺
本专利技术涉及加料
，具体是一种新式连续加料微下拉法装置及工艺。
技术介绍
微下拉法是一种单晶生长方法，利用坩埚底部加工成模具形状，原料熔体顺着重力方向，在冷凝驱动力和重力的牵引下，在坩埚底部模具口进行晶体生长。但在晶体生长之前，原料熔体不会沿着模具口漏料，是因为熔体在坩埚底内壁有表面张力作用，但这也导致坩埚装料量很小，进而限制了坩埚底部模具数量和大尺寸模具的设计使用，大大提高了长晶成本，其单周期产能较小，一般都作为研发实验所用，严重影响了其市场规模化应用前景。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种新式连续加料微下拉法装置及工艺，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新式连续加料微下拉法装置，包括底部保温层，所述底部保温层固定连接在炉体内侧底部，炉体为带有炉门的现有密封炉体，所述底部保温层顶部固定连接有侧保温层，所述侧保温层设置于炉体内部，所述侧保温层顶部固定连接有第二上部保温层，所述第二上部保温层顶...
【技术保护点】
1.一种新式连续加料微下拉法装置，包括底部保温层(11)，其特征在于：所述底部保温层(11)固定连接在炉体内侧底部，炉体为带有炉门的现有密封炉体，所述底部保温层(11)顶部固定连接有侧保温层(8)，所述侧保温层(8)设置于炉体内部，所述侧保温层(8)顶部固定连接有第二上部保温层(16)，所述第二上部保温层(16)顶部固定连接有第一上部保温层(6)，所述第一上部保温层(6)和第二上部保温层(16)均位于炉体内部，所述第一上部保温层(6)、第二上部保温层(16)、侧保温层(8)和底部保温层(11)为不易被感应的绝缘材料或不在感应加热线圈(7)感应频率范围内的材料，所述第一上部保...
【技术特征摘要】
1.一种新式连续加料微下拉法装置，包括底部保温层(11)，其特征在于：所述底部保温层(11)固定连接在炉体内侧底部，炉体为带有炉门的现有密封炉体，所述底部保温层(11)顶部固定连接有侧保温层(8)，所述侧保温层(8)设置于炉体内部，所述侧保温层(8)顶部固定连接有第二上部保温层(16)，所述第二上部保温层(16)顶部固定连接有第一上部保温层(6)，所述第一上部保温层(6)和第二上部保温层(16)均位于炉体内部，所述第一上部保温层(6)、第二上部保温层(16)、侧保温层(8)和底部保温层(11)为不易被感应的绝缘材料或不在感应加热线圈(7)感应频率范围内的材料，所述第一上部保温层(6)正上方设置有供料装置(1)，所述供料装置(1)包括第一供料机构(2)和第二供料机构(17)，所述第一供料机构(2)包括供料箱(3)和供料管(5)，所述供料管(5)的一端与供料箱(3)的出料口连接，所述供料管(5)的另一端贯穿炉体后进一步贯穿第一上部保温层(6)和第二上部保温层(16)后伸入侧保温层(8)内，所述供料箱(3)内部设置有称重传感器，所述供料管(5)未伸入侧保温层(8)内的部分外侧套设有水冷套管(4)，所述水冷套管(4)的进水口与进水管的一端连接，所述水冷套管(4)的出水口与出水管的一端连接，所述侧保温层(8)内位于供料管(5)正下方的位置设置有坩埚(14)，所述坩埚(14)通过坩埚支撑筒(19)固定安装在底部保温层(11)顶部，所述坩埚(14)内壁固定连接有盖板(20)，所述盖板(20)上沿圆周方向等距离开设有八个进料开口(21)，所述供料管(5)伸入侧保温层(8)的一端位于盖板(20)一侧的位置，所述坩埚(14)底部固定连接有成型模具(18)，所述成型模具(18)与坩埚(14)内侧底部连通，所述成型模具(18)正下方设置有籽晶支柱(12)，所述籽晶支柱(12)顶部固定安装有转接槽，转接槽顶部固定安装有籽晶(13)，所述籽晶支柱(12)底端伸出底部保温层(11)，所述底部保温层(11)上开设有用于籽晶支柱(12)穿过的通孔，所述侧保温层(8)外侧套设有感应加热线圈(7)，所述侧保温层(8)内部上方设置有顶部加热体(15)，所述侧保温层(8)内部位于坩埚(14)外侧的位置设置有侧向加热体(9)，所述侧向加热体(9)为环形设计且套设在坩埚(14)外侧。
2.根据权利要求1所述的新式连续加料微下拉法装置，其特征在于：所述侧保温层(8)为环形设计。
3.根据权利要求1所述的新式连续加料微下拉法装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：付善任，张红，夏倩倩，
申请(专利权)人：上海岚玥新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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