【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种X光检测仪阵列单元的制作方法,其特征是:包括下列步骤: 提供一基底,具有一电容区与一晶体管区; 形成横向延伸的一栅极线于该基底上,其中该栅极线包含一栅极,且位于该晶体管区内; 形成一栅极绝缘层于该栅极线、该栅极及该基底上; 形成一半导体岛于该晶体管区的该栅极绝缘层上; 形成纵向延伸的一共同线与一资料线于该栅极绝缘层上,并且形成一源极与一漏极于该半导体岛上而构成一薄膜晶体管结构,其中该漏极与该资料线为电性连接; 形成一平坦化层于该栅极绝缘层、该共同线、该薄膜晶体管结构、该资料线与该栅极线上: 形成一第一导体层于该电容区的该平坦化层上; 形成一介电层于该第一导体层及该平坦化层上; 形成一第一介层洞与一第二介层洞穿透该介电层与该平坦化层,其中该第一介层洞露出该源极的表面,该第二介层洞露出部分该第一导体层的表面与部分该共同线的表面; 形成顺应性的一第二导体层于该介电层、该第一介层洞内的周围与该第二介层洞内的周围上;以及 去除部分该第二导体层,形成一第三导体层、一第四导体层与一第一开口,其中该第三导体层与该第四导体层通过该第一 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:施博盛,
申请(专利权)人:瀚宇彩晶股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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