超声波探头及其制造方法技术

技术编号:2593885 阅读:167 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的用于生物体的超声波诊断装置的超声波探头具有由多个积层型振动元件构成的振子阵列。通过跨过邻接的两个振动元件,形成特定结构(对置结构)。在各振动元件中,接地用第一垂直电极层与顶面电极层和内部电极层连接,信号用第二垂直电极层与底面电极层和内部电极层连接。当形成特定结构时,反复进行在积层体上形成槽和填充该槽等的工序。最终,通过形成多个分离槽,将积层体分割为多个振动元件。另一方面,沿水平方向对各振动元件进行复合处理。该复合处理可在特定结构的形成之前、形成之中和形成之后的任何阶段进行。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及,本专利技术特别涉及用于生物体的超声波诊断的积层型振子阵列的结构及其制造方法。
技术介绍
作为排列有多个振动元件的振子阵列,已知有2D振子阵列(包括稀疏型2D振子阵列),1.5D振子阵列。在这样的振子阵列中,构成这种振子阵列的各振动元件的尺寸非常小。因此,各振动元件的电阻抗极高,在各振动元件与电缆(或装置主体)之间,无法获得电阻抗匹配。其结果是导致显著的灵敏度损失的问题。于是,人们提出使各振动元件形成积层型的技术。如果采用这种技术,则各振动元件构成以规定顺序将多个压电层和多个电极层积层的积层体。具体来说,在该积层体的底面,设有底面电极层,在该积层体的顶面,设有顶面电极层,在邻接的两个压电层之间,则设有内部电极层。因此,该多个电极层中的第奇数个电极层用作比如,信号电极层,而第偶数个电极层用作比如,接地电极层。在多个信号电极层和多个接地电极层之间,施加电压信号。按照该方案,可减小振动元件的电阻抗。如上所述的积层型振动元件,在多个电极层的电连接方面会出现问题。特别是,问题在于如何将导线或电极层与多个内部电极层连接。作为1个已有实例,可以举出采用通道(via)(例如,垂直地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波探头,其特征在于,含有具有相互邻接的第一部分和第二部分的积层型超声波振子, 所述第一部分和第二部分分别具有: 沿垂直方向交错设置的多个第一水平电极层和多个第二水平电极层; 与所述多个第一水平电极层电连接的第一垂直电极层; 与所述多个第二水平电极层电连接的第二垂直电极层; 所述第一部分所具有的第一垂直电极层与所述第二部分所具有的第一垂直电极层邻接且具有相同的极性,在它们之间具有第一间隙区域, 所述超声波振子具有由第一部分所具有的第一垂直电极层、第二部分所具有的第一垂直电极层、和第一间隙区域所构成的第一特定结构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤正平
申请(专利权)人:阿洛卡株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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