一种基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极及制备方法技术

本发明专利技术涉及一种基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极及制备方法，结构包括柔性电极基底，聚乙烯绝缘护套包裹的漆包铜导线，PDMS封装包层，电极焊盘处和导线聚合处的硅酮密封胶等，其中漆包铜导线和柔性电极焊盘之间的连接，通过导电银浆实现。类似由三片小叶组成的掌状复叶结构，柔性电极基底也采用了相似的倒三角形叶片结构，可用于多脑区皮层的同步神经信号记录。本发明专利技术的制备方法，通过MEMS聚合物薄膜加工工艺，实现金属记录电极点和柔性电极焊盘分别在底面和顶面异侧分布，便于漆包铜导线与柔性电极焊盘的垂直连接。本发明专利技术方法简单易行，机械强度良好，并能够有效避免和脑组织的刚性接触，可满足长期埋植采集脑皮层电信号的神经科学研究应用需求。

【技术实现步骤摘要】
一种基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极及制备方法
本专利技术属于生物医学工程
的神经微电极，涉及一种基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极及制备方法。
技术介绍
作为新兴柔性神经接口之一的柔性微型脑皮层电极，能够在大脑皮层表面采集高分辨率、高信噪比、宽频率范围的脑皮层电信号(electrocorticogram，ECoG)，包含皮层神经元群体活动信息，已经在脑电分布记录，治疗刺激和脑机接口系统上表现出巨大潜力。随着微机电(Micro-electromechanicalsystems,MEMS)技术的飞速发展，柔性微型脑皮层电极可以获得超小尺寸电极点，甚至能够在皮层表面记录到单个神经元活动。但是，大多数现有技术面向的主要是急性短时间的神经信号记录，而稳定可靠的长期植入技术仍是非常关键，亟待解决的难题之一。其中，柔性电极接口的连接形式对是否能够长期可靠植入以及适应低模量脑组织有重要影响。现有基于聚酰亚胺基底的柔性神经微电极焊盘接口多采用以下四种连接形式：1、利用各向异性导电胶(anisotropicconductivefilm，ACF)，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极，其特征在于包括柔性电极基底(1)、聚乙烯绝缘护套包裹的漆包铜导线(3)、PDMS封装包层(5)和金属记录电极点(7)；柔性电极基底(1为三叶片的酢浆草掌状复叶结构，为三片倒三角叶片；叶片结构上设有多根漆包铜导线(3)，导线(3)的终点上设有金属记录电极点(7)；多根漆包铜导线(3)在三叶片中心集束后形成叶杆，集束后的多根漆包铜导线(3)的外部为PDMS封装包层(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极，其特征在于包括柔性电极基底(1)、聚乙烯绝缘护套包裹的漆包铜导线(3)、PDMS封装包层(5)和金属记录电极点(7)；柔性电极基底(1为三叶片的酢浆草掌状复叶结构，为三片倒三角叶片；叶片结构上设有多根漆包铜导线(3)，导线(3)的终点上设有金属记录电极点(7)；多根漆包铜导线(3)在三叶片中心集束后形成叶杆，集束后的多根漆包铜导线(3)的外部为PDMS封装包层(5)。


2.根据权利要求1所述基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极，其特征在于：所述多根漆包铜导线(3)按照每个叶片形成一束，每束外部设有聚乙烯绝缘护套(4)。


3.根据权利要求1所述基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极，其特征在于：所述多根漆包铜导线(3)在叶杆根部设有导线聚合处弹性密封胶(6)，保护漆包铜导线。


4.根据权利要求1所述基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极，其特征在于：所述多根漆包铜导线(3)连接叶片展开的始端设有柔性电极焊盘(8)，导线上覆盖有导电银浆(9)。


5.根据权利要求1所述基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极，其特征在于：所述每根漆包铜导线直径为40～100微米。


6.一种制备权利要求1～5任一项所述基于酢浆草仿生结构的柔性神经微电极，其特征在于步骤如下：
步骤1：在硅片上方沉积一层金属铝作为金属牺牲层；
步骤2：在金属牺牲层上方旋涂一层可光刻型聚酰亚胺材料，通过光刻、显...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉博文，冯慧成，常洪龙，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西;61