单晶炉用加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种方便调节加热器轴向温度分布梯度的单晶炉用加热器，所述加热器包括至少2个发热圈、至少2个支撑脚和连接两者的连接螺栓；发热圈为筒体，与支撑脚装配处加工有发热圈连接平面和连接螺孔；支撑脚包括发热圈连接端、电极连接端，整体呈L型，发热圈连接端上加工有用于装配发热圈的支撑脚连接平面，支撑脚连接平面上设有用于让连接螺栓穿过的连接通孔，发热圈通过连接螺栓安装在发热圈连接端上；电极连接端加工有用于装配电极的通孔；本实用新型专利技术结构简单、性能可靠，加热器可整体成型或组合成型，方便制造安装，通过改变发热圈的数量及高度、相邻发热圈之间的间距，以调节加热器轴向温度的分布梯度。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉用加热器
本技术涉及一种单晶炉，具体地说是一种单晶炉用加热器，特别是涉及一种方便调节加热器轴向温度分布梯度的单晶炉用加热器。
技术介绍
目前，单晶炉中的加热器多数为开槽式栅栏圆筒型。在结构设计方面，为了匹配电阻，通过在圆筒身上加工出依次分布的仅贯穿上端面或下端面的轴向槽，从而构成一对首尾相连的并联电阻条。在所用材质方面，多采用石墨或碳碳复合材料。该加热器电阻均匀，无法调节沿轴向不同位置的发热量。同时，使用过程中，碳素材料与热场内富硅气氛的反应能使碳变成一氧化碳，即不断侵蚀碳素材料的基体。由于碳素加热器筒身上开槽弧顶处横截面积较小，且是一个形状也即电流流向的拐点，最容易发生腐蚀。而腐蚀一旦开始，该点的尺寸因侵蚀会不断变细，电流密度会越发加大，表现为反应速度越来越快，形成一个恶性循环，直至开槽顺着槽顶贯通到加热器端面后产品整体断开，电路形成断路而无法使用。虽然碳素加热器一直在致力于提升产品密度，尤其是像碳碳复合材料加热器可在其表面制作出一层十分致密的碳涂层，但依旧不能解决可与富硅气氛发生反应的这点本质特性，所能做到的仅是延缓腐蚀的发生。以致于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉用加热器，其特征是所述加热器包括至少2个发热圈、至少2个支撑脚和连接两者的连接螺栓；发热圈为筒体，与支撑脚装配处加工有发热圈连接平面和连接螺孔；支撑脚包括发热圈连接端、电极连接端，整体呈L型，发热圈连接端上加工有用于装配发热圈的支撑脚连接平面，支撑脚连接平面上设有用于让连接螺栓穿过的连接通孔，发热圈通过连接螺栓安装在发热圈连接端上；电极连接端加工有用于装配电极的通孔；通过改变发热圈的数量及高度、相邻发热圈之间的间距，以调节加热器轴向温度的分布梯度。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用加热器，其特征是所述加热器包括至少2个发热圈、至少2个支撑脚和连接两者的连接螺栓；发热圈为筒体，与支撑脚装配处加工有发热圈连接平面和连接螺孔；支撑脚包括发热圈连接端、电极连接端，整体呈L型，发热圈连接端上加工有用于装配发热圈的支撑脚连接平面，支撑脚连接平面上设有用于让连接螺栓穿过的连接通孔，发热圈通过连接螺栓安装在发热圈连接端上；电极连接端加工有用于装配电极的通孔；通过改变发热圈的数量及高度、相邻发热圈之间的间距，以调节加热器轴向温度的分布梯度。


2.根据权利要求1所述的单晶炉用加热器，其特征是所述支撑脚连接平面下方设有用于支撑发热圈的凸台。


3.根据权利要求1或2所述的单晶炉用加热器，其特征是所述加热器由石墨材料或碳碳复合材料或碳陶复合材料制备而成。


4.根据权利要求3所述的单晶炉用加热器，其特征是所述碳陶复合材料的开气孔率为1﹪～9﹪，密度为1.5g/㎝3～2.3g/㎝3，抗弯强度为250MPa～480MPa，电阻率为10μΩ•m～300μΩ•m...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖寄乔，石磊，邓华峰，李丙菊，李军，王冰泉，彭信辉，刘学文，王跃军，龚玉良，
申请(专利权)人：湖南金博碳素股份有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43