【技术实现步骤摘要】
带自保护功能的切晶冲床
本技术涉及电子加工装置
,具体涉及一种带自保护功能的切晶冲床。
技术介绍
在集成电路的生产过程中,需要通过切晶冲床对晶片进行切割,在切割的过程中,首先由工作人员将基板放入到静模上,基板上则放置着大晶片,再由动模对大晶片进行切割,切割成小晶片,最后由工作人员将基板取出,但是在取出的过程中会因为动模上的气缸发生故障,出现动模掉下的情况,此时就容易砸到工作人员,造成安全事故;不仅如此,现在的切晶冲床中,气缸频繁驱动的过程中,产生大量的热量,而对气缸进行降温散热处理的方式,是通过水循环散热进行降温,但是现在对于工业废水的排放要求很高,所以经过水循环散热以后的水需要经过特殊处理,这样就增加了生产成本。
技术实现思路
本技术为了克服上述的不足,提供一种带自保护功能的切晶冲床。本技术通过以下技术方案来实现上述目的:一种带自保护功能的切晶冲床,包括工作台,工作台的上方设有机架,机架为框形,机架内部的底部设有静模,机架内部的顶部设有动模,机架的上方竖向固定有第一气缸,第一气缸穿过机 ...
【技术保护点】
1.一种带自保护功能的切晶冲床,其特征在于:包括工作台,工作台的上方设有机架,机架为框形,机架内部的底部设有静模,机架内部的顶部设有动模,机架的上方竖向固定有第一气缸,第一气缸穿过机架与动模传动连接;/n机架的一侧设有限位组件,限位组件包括第二气缸和限位块,第二气缸水平固定在机架的一侧,第二气缸与限位块传动连接,限位块在静模和动模之间;/n第一气缸的内部设有吸热板,吸热板上方设有导热板,导热板连通有散热组件,散热组件包括框架,框架的顶部设有导水管,框架的背面设有若干散热翅片,散热翅片的内部通过导水管与导热板的内部连通,框架的内部设有一个水泵,水泵位于导水管和散热翅片之间,水 ...
【技术特征摘要】
1.一种带自保护功能的切晶冲床,其特征在于:包括工作台,工作台的上方设有机架,机架为框形,机架内部的底部设有静模,机架内部的顶部设有动模,机架的上方竖向固定有第一气缸,第一气缸穿过机架与动模传动连接;
机架的一侧设有限位组件,限位组件包括第二气缸和限位块,第二气缸水平固定在机架的一侧,第二气缸与限位块传动连接,限位块在静模和动模之间;
第一气缸的内部设有吸热板,吸热板上方设有导热板,导热板连通有散热组件,散热组件包括框架,框架的顶部设有导水管,框架的背面设有若干散热翅片,散热翅片的内部通过导水管与导热板的内部连通,框架的内部设有一个水泵,水泵位于导水管和散热翅片之间,水泵用于控制水在散热翅片、导水管以及导热板之间循环流动,框架的正面设有散热单元。
2.根据权利要求1所述的带自保护功能的切晶冲床,其特征在于:所述限位块的下端面与静模的上端面位于同一水平面,限位块的上端面的高度略...
【专利技术属性】
技术研发人员:芮聪,杨吉明,匡华强,范宇,戴亮,马宇腾,徐海军,其他发明人请求不公开姓名,
申请(专利权)人:江苏海德半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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