【技术实现步骤摘要】
具有高温脱附的控制系统
本技术涉及一种具有高温脱附的控制系统,尤其涉及一种具有自动调控温度的效能,以增加挥发性有机废气的处理效率,并达到减少污染物排放的效果,而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的厂房的废气处理。
技术介绍
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC),因此,在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备,以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。目前在厂区安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备大多采用吸附转轮方式来吸附挥发性有机气体(VOC),但在使用一段时间后,常有高沸点物质不易脱附而残留在吸附转轮上,直接影响了吸附转轮的吸附效能,因此,目前处理方式都是委托外面专业厂商来定期进行洗涤吸附转轮,以确保吸附转轮的运作效率和气流流畅度。另外,在处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备中进入吸附转轮的脱附温度大多是先设定好,一方面是确保进入吸附转轮的脱附温度能达到脱附的效能,另一方面则是保护吸附转轮的运转功能,但是,在吸附转轮的长 ...
【技术保护点】
1.一种具有高温脱附的控制系统,其特征在于,包括:/n一焚烧装置;/n一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路、一第二热气输送管路、一脱附浓缩气体管路及一高温脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该第二 ...
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
20191009 TW 1082133941.一种具有高温脱附的控制系统,其特征在于,包括:
一焚烧装置;
一吸附转轮,该吸附转轮设有吸附区、冷却区、脱附区及高温脱附区,该吸附转轮连接有一废气进气管路、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一冷却气输送管路、一第一热气输送管路、一第二热气输送管路、一脱附浓缩气体管路及一高温脱附浓缩气体管路,该废气进气管路的一端连接至该吸附转轮的吸附区的一侧,该净气排放管路的一端与该吸附转轮的吸附区的另一侧连接,该冷却气进气管路的一端与该吸附转轮的冷却区的一侧连接,该冷却气输送管路的一端与该吸附转轮的冷却区的另一侧连接,该第一热气输送管路的一端与该吸附转轮的脱附区的另一侧连接,该第二热气输送管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的另一侧连接,该脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的脱附区的一侧连接,该脱附浓缩气体管路的另一端与该焚烧装置连接,该高温脱附浓缩气体管路的一端与该吸附转轮的高温脱附区的一侧连接,该高温脱附浓缩气体管路的另一端与该脱附浓缩气体管路连接;
一第一加热装置,该冷却气输送管路的另一端与该第一加热装置连接,该第一热气输送管路的另一端与该第一加热装置连接;
一第二加热装置,该第一热气输送管路设有一第一热气旁通管路,该第一热气旁通管路的另一端与该第二加热装置连接,该第二热气输送管路的另一端与该第二加热装置连接;
一第二温度控制系统,该第二温度控制系统与该第二加热装置进行连接,该第二温度控制系统设有一第二温度计及一第二温度控制器,该第二温度计的一端与该第二热气输送管路连接,该第二温度计的另一端与该第二温度控制器电性连接;
一可程序控制器,该可程序控制器与该第二温度控制系统的第二温度控制器电性连接;
一浓度探测仪器,该浓度探测仪器与该可程序控制器电性连接;以及
一烟囱,该净气排放管路的另一端与该烟囱连接。
2.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统,其特征在于,该浓度探测仪器进一步设有一第一探测管线及一第二探测管线,该第一探测管线与该废气进气管路连接,该第二探测管线与该烟囱连接。
3.如权利要求1所述的具有高温脱附的控制系统,其特征在于,该浓度探测仪器进一步设有一第一探测管线及一第二探测管线,该第一探测管线与该废气进气管路连接,该第二探测管线与该净气排放管路连接。
技术研发人员:郑石治,扶亚民,李政逊,
申请(专利权)人:华懋科技股份有限公司,上海华懋环保节能设备有限公司,
类型:新型
国别省市:中国台湾;71
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