晶圆绷紧环制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆绷紧环，包括：外环，所述外环包括第一环状体；内环，可拆卸地设置于所述第一环状体中，包括第二环状体；卡接结构，设置在所述外环和内环上以将所述外环和所述内环卡接；至少一个防呆结构，设置在所述外环和内环上以给所述外环套设所述内环外围定向。该晶圆绷紧环通过设置至少一个防呆结构，从而可便于给该外环套于该内环外围定向，进而能够有效的防止使用者错误安装，有效的保护了薄膜，方便了使用者。

【技术实现步骤摘要】
晶圆绷紧环
本技术涉及晶圆保护组件，更具体地说，涉及一种晶圆绷紧环。
技术介绍
目前市场上常见的晶圆绷紧环包括晶圆绷紧环外圈和晶圆绷紧环内圈，晶圆绷紧环外圈内侧壁上部为立边，下部为弧边，晶圆绷紧环内圈外侧壁上部为弧边，下部为立边，此结构有以下缺点：晶圆绷紧环内圈和晶圆绷紧环外圈在安装时没有方向性，晶圆绷紧环四种方向都可以安装，但正确的安装方式只有一种，所以容易错误安装，因为薄膜的边缘卡紧在晶圆绷紧环内圈和晶圆绷紧环外圈之间的，当错误安装时，使的薄膜与立边接触，损坏薄膜，给使用者带来极大的困扰。有鉴于此，急需对现有的晶圆绷紧环的结构进行改进，以防止错误安装而损坏薄膜。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆绷紧环。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆绷紧环，包括：外环，所述外环包括第一环状体；内环，可拆卸地设置于所述第一环状体中，包括第二环状体；卡接结构，设置在所述外环和内环上以将所述外环和所述内环卡接；至少一个防呆结构，设置在所述外环和内环上以给所述外环套设所述内环外围定向。优选地，所述至少一个防呆结构包括：第一防呆结构，设置在所述外环和所述内环的上部；第二防呆结构，设置在所述外环和所述内环的下部。优选地，所述第一防呆结构包括：第一定向凸筋，设置在所述第二环状体的外侧壁且凸出所述第二环状体设置，其上设有第一导引面；所述第一导引面与所述第二环状体的端面倾斜设置；第一定向槽，设置在所述第一环状体的内侧壁且与所述第一定向凸筋对应设置，所述第一定向槽靠近所述第一环状体的上端面的侧壁朝所述第一导引面延伸形成第一防呆凸部，所述第一防呆凸部设有与所述第一导引面贴合的第二导引面。优选地，所述第一导引面为外凸的弧面；所述第二导引面为内凹的弧面。优选地，所述第二防呆结构包括：第二定向凸筋，设置在所述第一环状体的内侧壁且凸出所述第一环状体设置，其上设有第三导引面；所述第三导引面与所述第一环状体的端面倾斜设置；第二定向槽，设置在所述第二环状体的外侧壁且与所述第二定向凸筋对应设置，所述第二定向槽靠近所述第二环状体的下端面的侧壁朝所述第三导引面延伸形成第二防呆凸部，所述第二防呆凸部设有与所述第三导引面贴合的第四导引面。优选地，所述卡接结构，包括：卡接凸台，设置在所述第一环状体内侧壁且位于所述第一环状体中部；卡接凹槽，设置在所述第二环状体的外侧壁且位于所述第二环状体的中部，并与所述卡接凸台对应设置。优选地，所述卡接凸台与所述卡接凹槽通过过盈配合连接。优选地，所述第一环状体的外侧壁为圆环面；和/或所述第二环状体的内侧壁为圆环面。优选地，所述第一环状体的外侧壁与所述第一环状体的上端面相接处设有第一倒角结构。优选地，所述第二环状体的内侧壁与所述第二环状体的下端面相接处设有第二倒角结构。实施本技术的晶圆绷紧环，具有以下有益效果：该晶圆绷紧环通过设置至少一个防呆结构，从而可便于给该外环套于该内环外围定向，进而能够有效的防止使用者错误安装，有效的保护了薄膜，方便了使用者。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：图1是本技术一些实施例晶圆绷紧环的立体结构示意图；图2是图1所示晶圆绷紧环的分解示意图；图3是图1所示晶圆绷紧环的纵向剖视图；图4是图1所示晶圆绷紧环的外环的立体结构示意图；图5是图4所示晶圆绷紧环的外环的纵向剖视图；图6是图1所示晶圆绷紧环的内环的立体结构示意图；图7是图6所示晶圆绷紧环的外环的纵向剖视图的局部放大示意图；图8是图1所述晶圆绷紧环装配方式对照表。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。图1至图3示出了本技术晶圆绷紧环的一些优选实施例。该晶圆绷紧环可用于绷紧薄膜，以起到保护薄膜的作用，其具有安装方便，安装效率高，保护效果好的优点。如图1至图3所示，该晶圆绷紧环可包括外环10、内环20、卡接结构、至少一个防呆结构；该外环10可套设在该内环20的外围，其可与该内环20配合用于绷紧薄膜。该卡接结构可设置在该外环10和该内环20上，其可用于将该外环10和该内环20卡接。该至少一个防呆结构可设置在该外环10和该内环20上，其可给该外环10套设于该内环20外围定向，进而可使得该外环10和该内环20可定向装配，从而可提高装配的效率，并且可有效保护薄膜。如图1至图5所示，进一步地，在一些实施例中，该外环10可包括第一环状体11，该第一环状体11的上端面和下端面均为平面，且其外侧壁为光滑的圆环面。可以理解地，在其他一些实施例中，该第一环状体的外侧壁可不限于圆环面。该第一环状体11的外侧壁与该第一环状体11的上端面相接处设有第一倒角结构15。该第一倒角结构15可以为圆角。如图1至图3、图6至图7所示，进一步地，在一些实施例中，该内环20可拆卸地设置于该第一环状体11中，其可包括第二环状体21，该第二环状体21可拆卸地安装在该第一环状体11中，其外径小于该第二环状体21的内径，该第二环状体21的上端面和下端面均为平面，且其内侧壁为光滑的圆环面。可以理解地，在其他一些实施例中，该第二环状体的内侧壁可不限于圆环面。该第二环状体21的内侧壁与该第二环状体21的下端面相接处设有第二倒角结构25，该第二倒角结构可以为圆角。如图3所示，进一步地，在一些实施例中，该卡接结构包括卡接凸台12以及卡接凹槽22；该卡接凸台12可设置在该第一环状体11内侧壁，且其可位于该第一环状体11的中部，其可凸出该第一环状体11内侧壁设置，其可与该第一环状体11一体成型。该卡接凸台12的凸出端面可以为弧面，从而可避免刮伤薄膜，能够起到对该薄膜有效保护的作用。该卡接凹槽22可设置在该第二环状体21的外侧壁，且其可位于该第二环状体21的中部，其可与该卡接凸台12对应设置，该卡接凹槽22的底面可以为内凹的弧面，以与卡接凸台12相配合，在一些实施例中，该卡接凸台12可与该卡接凹槽22通过过盈配合连接，进而可将该第一环状体11和该第二环状体21稳定连接，从而可有效地固定薄膜。如图3至图7所示，进一步地，在一些实施例中，该至少一个防呆结构可以包括一个或者多个防呆结构。在一些实施例中，该至少一个防呆结构可包括第一防呆结构以及第二防呆结构，该第一防呆结构和该第二防呆结构均能给该外环10套设于该内环20外围定向。该第一防呆结构可设置在该外环10和该内环20的上部，该第二防呆结构可设置在该外环10和该内环20的下部。通过设置该第一防呆结构和该第二防呆结构，可以便于该薄膜的定向装配。通过在该外环10和该内环20的上下部分别设置第一防呆结构和第二防呆结构，加大了非正常装配方式时内环20与外环10之间的过盈量，即非正本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆绷紧环，其特征在于，包括：/n外环(10)，所述外环(10)包括第一环状体(11)；/n内环(20)，可拆卸地设置于所述第一环状体(11)中，包括第二环状体(21)；/n卡接结构，设置在所述外环(10)和内环(20)上以将所述外环(10)和所述内环(20)卡接；/n至少一个防呆结构，设置在所述外环(10)和内环(20)上以给所述外环(10)套设所述内环(20)外围定向。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆绷紧环，其特征在于，包括：
外环(10)，所述外环(10)包括第一环状体(11)；
内环(20)，可拆卸地设置于所述第一环状体(11)中，包括第二环状体(21)；
卡接结构，设置在所述外环(10)和内环(20)上以将所述外环(10)和所述内环(20)卡接；
至少一个防呆结构，设置在所述外环(10)和内环(20)上以给所述外环(10)套设所述内环(20)外围定向。


2.根据权利要求1所述的晶圆绷紧环，其特征在于，所述至少一个防呆结构包括：
第一防呆结构，设置在所述外环(10)和所述内环(20)的上部；
第二防呆结构，设置在所述外环(10)和所述内环(20)的下部。


3.根据权利要求2所述的晶圆绷紧环，其特征在于，所述第一防呆结构包括：
第一定向凸筋(23)，设置在所述第二环状体(21)的外侧壁且凸出所述第二环状体(21)设置，其上设有第一导引面(231)；所述第一导引面(231)与所述第二环状体(21)的端面倾斜设置；
第一定向槽(13)，设置在所述第一环状体(11)的内侧壁且与所述第一定向凸筋(23)对应设置，所述第一定向槽(13)靠近所述第一环状体(11)的上端面的侧壁朝所述第一导引面(231)延伸形成第一防呆凸部(131)，所述第一防呆凸部(131)设有与所述第一导引面(231)贴合的第二导引面(132)。


4.根据权利要求3所述的晶圆绷紧环，其特征在于，所述第一导引面(231)为外凸的弧面；所述第二导引面(132)为内凹的弧面。


5.根据权利要求2所述的晶圆绷紧环，其特征在于，所述第二防...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱摩西，刘汝拯，陈松平，何江波，
申请(专利权)人：义柏科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44