电子管的制造方法技术

准备由绝缘性材料形成的第一部件、和排列设置有随着向前端去而变窄并可拆装地保持着导电性部件的凸部的夹具，将第一部件和夹具的至少任一者加热到第一部件可熔融变形的温度。在使第一部件与多个凸部相对的状态下，以将多个凸部嵌入第一部件的方式使夹具与第一部件接触后，取下夹具，形成包括第一部件和多个导电性部件的中间体，其中第一部件与多个凸部对应地形成有随着向开口侧去而变宽的多个凹部，多个导电性部件贯通该第一部件而突出到凹部内。准备第二部件，封闭多个凹部的开口，以形成进行电子放出的多个内部空间的方式将第二部件气密接合到中间体，而形成接合体。

【技术实现步骤摘要】
电子管的制造方法
本专利技术的一个方面涉及一种电子管(ELECTRONTUBE)的制造方法。
技术介绍
作为现有的与电子管的制造方法有关的技术，已知例如专利文献1～3所记载的技术。在日本特开2013－19719号公报中，记载了一种火焰传感器，其包括通过蚀刻而设有腔室的下盖、以封闭腔室的方式与下盖接合的上盖和配置于腔室内的电极。在美国专利第5500531号说明书中，记载了一种放电型的紫外线检测器，其包括通过蚀刻形成有腔室的硅基板、设置于硅基板上的玻璃基板和设置于腔室内的电极。在日本专利第3470077号公报中，记载了一种放电发光装置，其包括：互相重叠的基板及透明基板；和形成于基板及透明基板的内部电极及外部电极。在日本专利第3470077号公报所记载的放电发光装置中，在基板与透明基板之间形成有放电空间。
技术实现思路
近年来，作为如上述那样的电子管的制造方法，在例如电子管的各种领域的应用扩展中，要求能够容易地制造电子管的内部结构的方法。本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种能够容易地制造电子管的内部结构的电子管的制造方法。本专利技术的电子管的制造方法包括：第一工序，其准备：由绝缘性材料形成的第一部件、和排列设置有凸部的夹具(jig)，该凸部随着向前端去而变窄并可拆装地保持着导电性部件，将第一部件和夹具的至少任一者加热到第一部件可熔融变形的温度；第二工序，其在使第一部件与多个凸部相对的状态下，以将多个凸部嵌入第一部件的方式使夹具与第一部件接触后，取下夹具，形成包括第一部件和多个导电性部件的中间体，其中第一部件与多个凸部对应地形成有随着向开口侧去而变宽的多个凹部，多个导电性部件贯通该第一部件而突出到凹部内；和第三工序，其在第二工序后，准备第二部件，封闭多个凹部的开口，以形成进行电子放出的多个内部空间的方式将第二部件气密接合到中间体，而形成接合体。在该电子管的制造方法中，使用夹具，能够将多个凹部一并成形，多个凹部中贯通第一部件的导电性部件突出到其内部，且能够一并制造具有由该凹部构成的内部空间的内部结构。即，能够容易地制造电子管的内部结构。本专利技术的一个方面的电子管的制造方法还可以包括第四工序，其在第三工序后，以至少具有一个内部空间的方式将接合体切断成多个电子管。该情况下，能够稳定地制造具有规定的内部结构的多个电子管。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为夹具的凸部的侧面以随着向前端侧去而凸部变窄的方式连续地倾斜。该情况下，能够在抑制第一部件和夹具的破损的情况下将该夹具脱模，能够稳定地制造电子管的内部结构。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为夹具的凸部具有保持凹部，该保持凹部在使导电性部件的一端侧比该凸部突出的状态下保持导电性部件的另一端侧，在保持凹部所保持的导电性部件的另一端侧与保持凹部的侧面之间的至少一部分形成有间隙。该情况下，能够通过将第一部件嵌入间隙而包覆导电性部件，因此即使在使导电性部件突出的情况下，也能够稳定地固定该导电性部件。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为保持凹部所保持的导电性部件的另一端侧具有随着向该另一端侧去而变宽的扩大部，在扩大部与保持凹部的侧面之间的至少一部分形成有间隙。该情况下，由于能够通过将第一部件嵌入间隙而包覆扩大部，因此能够扩大导电性部件与第一部件的接触面积。由此，在使导电性部件突出的情况下，也能够稳定地固定该导电性部件。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为扩大部的侧面以随着向导电性部件的另一端侧去而导电性部件变宽的方式连续地倾斜。该情况下，由第一部件无间隙地包覆扩大部的侧面变得容易。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为夹具在凸部的周围可拆装地保持馈电部件，在第二工序中，以馈电部件进一步嵌入第一部件的方式使夹具与第一部件接触，形成还包含馈电部件的中间体，在第三工序中，以与突出到凹部内的导电性部件相对的方式在第二部件设置相对电极部件，并且将该相对电极部件与馈电部件电连接。该情况下，能够无需其他工序而形成向第二部件侧的相对电极部件的馈电路径。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为第二部件由绝缘性材料形成。该情况下，能够提高所制造的电子管中的内部空间内的耐压性能。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为在构成夹具的凸部的面的至少一部分形成有凹部、凸部和糙面部的至少任一者。该情况下，能够在构成内部空间的面形成凹部、凸部和糙面部的至少任一者，能够增大内部空间内的沿面距离。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，可以为还包括在第一工序后，利用按压部件按压第一部件中与夹具接触的一侧的相反侧的工序，在按压部件中的与第一部件接触的接触区域形成有凹部、凸部和糙面部的至少任一者。该情况下，能够在第一部件的外表面形成凹部、凸部和糙面部的至少任一者，能够增大电子管的外表面的沿面距离。在本专利技术的一个方面的电子管的制造方法中，也可以为在第二工序中，以在中间体中导电性部件贯通第一部件的方式，使导电性部件的一端从第一部件露出并且将导电性部件嵌入第一部件，或者，将第一部件研磨至导电性部件的一端从第一部件露出。该情况下，能够具体地实现导电性部件贯通第一部件的结构。附图说明图1是第一实施方式的电子管的剖视图。图2是图1的电子管的分解立体图。图3是图1的电子管的制造方法中使用的夹具的俯视图。图4A是说明图1的电子管的制造方法的局部剖视图。图4B是表示图4A的下一步的局部剖视图。图5A是表示图4B的下一步的局部剖视图。图5B是表示图5A的下一步的局部剖视图。图6A是表示图5B的下一步的局部剖视图。图6B是表示图6A的下一步的局部剖视图。图6C是表示图6B的下一步的局部剖视图。图7A是表示图6C的下一步的局部剖视图。图7B是表示图7A的下一步的局部剖视图。图7C是表示图7B的下一步的局部剖视图。图8A是表示图7C的下一步的局部剖视图。图8B是表示图8A的下一步的局部剖视图。图9是说明第二实施方式的电子管的制造方法的局部剖视图。图10A是说明第三实施方式的电子管的制造方法的局部剖视图。图10B是说明第三实施方式的电子管的制造方法的另一局部剖视图。图11A是说明第四实施方式的电子管的制造方法的局部剖视图。图11B是说明第四实施方式的电子管的制造方法的另一局部剖视图。图12A是说明第五实施方式的电子管的制造方法的局部剖视图。图12B是说明第五实施方式的电子管的制造方法的另一局部剖视图。图13A是说明第五实施方式的变形例的电子管的制造方法的局部剖视图。图13B是说明第五实施方式的变形例的电子管的制造方法的另一局部剖视图。图14A是第一变形例的电子管的剖视图。图14B是第二变形例的电子管的剖视图。图15A是第三变形例的电子管的剖视图。图15B是第四变形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子管的制造方法，其特征在于，包括：/n第一工序，其准备：由绝缘性材料形成的第一部件；和排列设置有凸部的夹具，该凸部随着向前端去而变窄并可拆装地保持着导电性部件，将所述第一部件和所述夹具的至少任一者加热到所述第一部件可熔融变形的温度；/n第二工序，其在所述第一工序后，使所述第一部件与多个所述凸部相对的状态下，以将多个所述凸部嵌入所述第一部件的方式使所述夹具与所述第一部件接触后，取下所述夹具，形成包括所述第一部件和多个所述导电性部件的中间体，其中所述第一部件与多个所述凸部对应地形成有随着向开口侧去而变宽的多个凹部，所述多个所述导电性部件贯通该第一部件而突出到所述凹部内；和/n第三工序，其在所述第二工序后，准备第二部件，封闭多个所述凹部的开口，以形成进行电子放出的多个内部空间的方式将所述第二部件气密接合到所述中间体，而形成接合体。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子管的制造方法，其特征在于，包括：
第一工序，其准备：由绝缘性材料形成的第一部件；和排列设置有凸部的夹具，该凸部随着向前端去而变窄并可拆装地保持着导电性部件，将所述第一部件和所述夹具的至少任一者加热到所述第一部件可熔融变形的温度；
第二工序，其在所述第一工序后，使所述第一部件与多个所述凸部相对的状态下，以将多个所述凸部嵌入所述第一部件的方式使所述夹具与所述第一部件接触后，取下所述夹具，形成包括所述第一部件和多个所述导电性部件的中间体，其中所述第一部件与多个所述凸部对应地形成有随着向开口侧去而变宽的多个凹部，所述多个所述导电性部件贯通该第一部件而突出到所述凹部内；和
第三工序，其在所述第二工序后，准备第二部件，封闭多个所述凹部的开口，以形成进行电子放出的多个内部空间的方式将所述第二部件气密接合到所述中间体，而形成接合体。


2.如权利要求1所述的电子管的制造方法，其特征在于：
还包括第四工序，其在所述第三工序后，以至少具有一个所述内部空间的方式将所述接合体切断成多个电子管。


3.如权利要求1或2所述的电子管的制造方法，其特征在于：
所述夹具的所述凸部的侧面以随着向前端侧去而所述凸部变窄的方式连续地倾斜。


4.如权利要求1～3中任一项所述的电子管的制造方法，其特征在于：
所述夹具的所述凸部具有保持凹部，所述保持凹部在使所述导电性部件的一端侧比该凸部突出的状态下保持所述导电性部件的另一端侧，
在所述保持凹部所保持的所述导电性部件的另一端侧与所述保持凹部的侧面之间的至少一部分，形成有间隙。


5.如权利要求4所述的电子管的制造方法，其特征在于：
所述保持凹部所保持的所述导电性部件的另一端侧具有随着向该另一端侧去而变宽...

【专利技术属性】
技术研发人员：小玉刚史，河野泰行，原真一，大桥一登，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP