可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO制造技术

本发明专利技术为可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法。本发明专利技术包括绝缘区域、电极区域、银涂层区域与气敏区域，所述绝缘区域设置于底端，所述电极区域与所述气敏区域设置于绝缘区域上表面，所述银涂层区域设置于电极区域两端的电极连接区域，所述电极区域与气敏区域为通过激光的高能量一步诱导制备的具有更大孔隙率结构的三维多孔石墨烯图案。气敏区域由于其独特石墨烯三维结构尺寸，可省去额外添加气敏材料的步骤，达到同样甚至更好效果的气体吸附。该方法利于NO2气体分子快速脱附，提高传感器使用重复性，降低制造成本，制造周期短，灵敏度高，检测限可以达到10ppb，在环境监测和医疗诊断方面有广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法
本专利技术涉及传感器领域，具体涉及一种可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法。
技术介绍
二氧化氮(NO2)是一种易挥发有刺激性的有毒气体。根据国家标准《工作场所有害因素职业接触限值(GBZ2-2007)》规定，人体NO2接触限值为5mg/m3(2.54PPM)。即使人体暴露于二氧化氮的时间很短，肺功能也会受到损害；如果长时间暴露于二氧化氮，呼吸道感染的机会就会增加，而且可能导致肺部永久性器质性病变。人体呼出气冷凝液中也含有NO2，并且通过研究发现呼出气冷凝液中NO2浓度越高，支气管哮喘急性发作几率越高。因此，一种具有高灵敏度、柔性、低检测限的NO2气体传感器是目前环境监测和医疗诊断行业迫切需要的，且有助于实现NO2的高可靠实时监控。石墨烯具有优异的化学和物理性质，三维多孔结构的石墨烯，以其高比表面积，高电子迁移率以及机械稳定性在气体传感器方面发挥着巨大的优势。激光诱导石墨烯(LaserInducedGraphene，LIG)是利用激光的高能量破坏原碳源的结构，形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法，该方法包括下述步骤：/n(1)将聚酰亚胺PI胶带裁剪至所需尺寸的矩形形状；/n(2)通过水溶胶将经步骤(1)得到的PI胶带粘至载玻片表面；/n(3)将经步骤(2)得到的PI胶带利用高能量激光诱导出三维石墨烯图案，三维石墨烯图案包括两端的电极连接区域和连接两电极连接区域的单线石墨烯区域，单线石墨烯区域起到连接两电极连接区域的作用，形成导电通路，同时又能直接作为气敏区域；所述单线石墨烯的宽度为40-90μm；/n(4)将经步骤(3)得到的电极连接区域用导电银墨水对其上表面完全涂覆，制成银涂层区域；/n(5)将涂好银涂层的组合体脱离载玻...

【技术特征摘要】
20200619 CN 20201056880131.一种可自加热的激光诱导石墨烯柔性NO2气体传感器的制备方法，该方法包括下述步骤：
(1)将聚酰亚胺PI胶带裁剪至所需尺寸的矩形形状；
(2)通过水溶胶将经步骤(1)得到的PI胶带粘至载玻片表面；
(3)将经步骤(2)得到的PI胶带利用高能量激光诱导出三维石墨烯图案，三维石墨烯图案包括两端的电极连接区域和连接两电极连接区域的单线石墨烯区域，单线石墨烯区域起到连接两电极连接区域的作用，形成导电通路，同时又能直接作为气敏区域；所述单线石墨烯的宽度为40-90μm；
(4)将经步骤(3)得到的电极连接区域用导电银墨水对其上表面完全涂覆，制成银涂层区域；
(5)将涂好银涂层的组合体脱离载玻片后，再通过热释活胶带转移至柔性可拉伸基底上，制成柔性气体传感器。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述柔性可拉伸基底为能弯曲、拉伸、能沿待粘贴对象表面贴合的材料，优选PDMS材料。


3.根据权利要求1所述的制备方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨丽，郑广浩，姬华东，王宏丽，
申请(专利权)人：河北工业大学，
类型：发明
国别省市：天津;12