多模式声波传感器制造技术

描述一种多模式传感系统，其可以从包含用于监视化学物质的多个传感元件的声波传感器配置。多个传感元件可以设置在由所述声波传感器的多个壁形成的空腔内，以致于每个传感元件涂敷不同的传感膜。多模式传感系统还包括与所述多个传感元件关联的多个振荡器，其中每个传感元件通常位于具有相同振荡器的反馈环中，以此提供多模式声波传感器，多模式声波传感器提供用于检测和解除吸附化学物质的多模式频率输出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
实施例通常涉及传感系统和方法。实施例还涉及声波传感器，诸如，例如，表面声波(SAW)和体声波(BAW)装置和传感器。
技术介绍
声波传感器应用在许多传感应用中，诸如，例如、温度、压力、和/或气体传感装置和系统。声波传感器的例子包括能被用来检测物质诸如化学和生物材料的存在的例如声波传感器的装置。由于对于表面负荷的高灵敏度和产生自它们的固有高Q因子的低噪声，用作传感器的声波(SAW/SBW)装置能提供高灵敏度的检测机制。表面声波装置典型地使用光刻技术由放置在压电材料上的梳妆交叉指式的转换器制成。表面声波装置可能具有延迟线或谐振器配置。表面声波化学的和/或生物的传感器的选择性通常由置于压电材料上的选择性涂层确定。被测量物质到选择性涂层的吸收和/或吸附能引起SAW/SBW装置上的质量负荷效应、弹性效应、和/或粘弹效应。由于物质的吸收和/或吸附引起的声学性质的变换能解释为对延迟线表面声波装置的延迟时间漂移或对谐振器(BAW/SAW)声波装置的频率偏移。声波传感设备经常依赖于石英晶体谐振器元件的使用，例如适于与电子振荡器一起使用的类型。在典型的气体传感应用中，在选择性薄膜涂层(即，施加到晶体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多模式传感系统，包括：声波传感器，包括用于监视化学物质的多个传感元件，其中所述多个传感元件设置在由所述声波传感器的多个壁形成的空腔内，其中所述多个传感元件的每个传感元件涂敷不同的传感膜；和与所述多个传感元件关联的多个振荡 器，其中所述多个传感元件的每个传感元件位于具有所述多个振荡器中的一个振荡器的反馈环中，以此提供多模式声波传感器，该多模式声波传感器提供它的多模式频率输出，其中所述多模式频率输出之间的计算出的差值被用来通过去除由于环境变化而不是所述被监视的化学物质引起的响应以促进传感准确度的增加。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：JZ刘，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]