一种用于双反射层膜中的复合阻隔材料及其应用制造技术

本发明专利技术属于材料科学技术领域，提供了用于双反射层膜中的复合阻隔材料及其制备方法，包括呈共混状态的第一组分和第二组分；其中第一组分和第二组分均选自金属氟化物、金属氧化物、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的任意一种或几种物质的组合；两者所包含的物质种类不完全相同。并且还提供了一种双反射层膜及其制备方法。有益效果：1、阻隔层能够使第一子反射层与第二子反射层之间的阻隔更为彻底，避免了电偶腐蚀现象的发生；2、双反射层膜在极端条件下的耐老化性能更佳，有效延长常规和极端使用寿命，有效拓展膜材料的应用领域和场景；3、合理提高双反射层膜的全光谱反射率，避免了因缝隙中留存其他物质而对光的反射与透射的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种用于双反射层膜中的复合阻隔材料及其应用
本专利技术属于材料科学
，涉及到一种用于双反射层膜中的复合阻隔材料及其应用。
技术介绍
铝和银是最为常见的两种宽带高反射膜材料，主要是因为与金膜、铜膜和铑膜不同，铝膜在紫外、可见和红外波段均具备很高的反射率，而银膜则在可见到红外整个波段具备更高的反射率。但缺陷在于：铝膜在860nm可见光处存在明显的吸收峰，从而降低了整个可见区的反射率。银膜则由于表面等离子激元的作用，使其在300nm～400nm紫外波段的反射率急剧降低，特别当银膜的厚度小于170nm时，位于320nm波长处会出现透过窗，即从光源发射出的紫外光会透过银膜，并且其透过率与波长范围也随着银膜厚度的进一步降低而增大。为克服上述技术缺陷，现有技术提供了多种解决方案，但通常都不可避免的引发新的技术问题出现：技术矛盾1：一些现有技术设计为增加银膜的厚度。虽可以避免出现透过窗，但往往会导致膜层自身的应力过大，从而使得银膜在弯曲卷绕时容易出现断层剥落现象；同时因表面等离子激元而使其在300nm～400nm紫外波段的反射率急剧降低的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，包括呈共混状态的第一组分和第二组分；其中所述第一组分和所述第二组分均选自金属氟化物、无机非金属氧化物、金属氧化物、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的任意一种或几种物质的组合；所述第一组分和所述第二组分所包含的物质种类不完全相同。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，包括呈共混状态的第一组分和第二组分；其中所述第一组分和所述第二组分均选自金属氟化物、无机非金属氧化物、金属氧化物、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的任意一种或几种物质的组合；所述第一组分和所述第二组分所包含的物质种类不完全相同。


2.根据权利要求1所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，所述第一组分和所述第二组分所形成的共混状态通过共同蒸镀法、共同溅射法或共同气相沉积法得到。


3.根据权利要求1所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，所述第一组分和所述第二组分的共混程度为RSD≤5％。


4.根据权利要求3所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，所述第一组分和所述第二组分的共混程度为RSD≤2％。


5.根据权利要求1所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，所述阻隔层具备下述技术特征中的任意一种或几种：
a应力值为-5～-0.01GPa；
b折射率为1.3～2.5；
c消光系数小于0.01；
d层厚度为5～30nm。


6.根据权利要求1～5任一所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，按重量份数计算，包括：
所述第一组分15～85份；
所述第二组分15～85份；
其中，两者相加合计100份。


7.根据权利要求6所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，所述金属氟化物选自MgF2、BaF2、YF3、YbF3、GdF3、LaF3、AlF3中的任意一种或几种物质的组合；所述无机非金属氧化物为SiO2；所述金属氧化物选自Y2O3、Al2O3、ZnO、SnO、TiO2、Ta2O5、Nb2O5、ZrO2、HfO2中的任意一种或几种物质的组合；所述金属氮化物选自Si3N4、AlN中的任意一种或几种物质的组合；所述半导体掺杂化合物选自AZO、ITO、IZO、ZTO、GZO中的任意一种或几种物质的组合。


8.根据权利要求7所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，按重量份数计算，包括：
MgF265～85份；
BaF215～35份；
其中，两者相加合计100份。


9.根据权利要求7所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，按重量份数计算，包括：
TiO235～45份；
Nb2O555～65份；
其中，两者相加合计100份。


10.根据权利要求7所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料，其特征在于，按重量份数计算，包括：
ZrO275～85份；
Y2O315～25份；
其中，两者相加合计100份。


11.一种如权利要求1～10任一所述的用于双反射层膜中的复合阻隔材料的制备方法，其特征在于，通过共同蒸镀法、共同溅射法或共同气相沉积法的方式，使第一组分和第二组分形成共混状态；其中所述第一组分和所述第二组分均选自金属氟化物、无机非金属氧化物、金属氧化物、金属氮化物、半导体掺杂化合物中的任意一种或几种物质的组合；所述第一组分和所述第二组分所包含的物质种类不完全相同。


12.一种双反射层膜，其特征在于，包括：
第一子反射层：所述第一子反射层的材质为银或银合金；
第二子反射层：所述第二子反射层的材质为Al、Ti、Cu、W或Ta；
阻隔层：所述阻隔层位于所述第一子反射层和所述第二子反射...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐绍禹，翟怀伦，尹铮杰，赵锦玲，颜毓雷，王明辉，
申请(专利权)人：宁波瑞凌新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33