扫描电镜样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及检测仪器技术领域，特别涉及一种扫描电镜样品台，该样品台包括圆盘形的基座和位于基座上的样品托架；基座上设置有若干个样品插孔和与样品插孔对应的样品固定孔，样品插孔由基座顶部向下开设，样品固定孔由基座侧面向基座中心开设，且样品固定孔与样品插孔连通；样品托架包括插入样品插孔内的插杆和设置于样品插杆顶部的托板；基座上还设置有用于固定样品托架的固定机构，固定机构具有插入顶杆，插入顶杆沿样品固定孔向内插入与样品插孔中的样品托架配合。本案的扫描电镜样品台可以用于扫描电镜对样品托架的快速无损拆装。在拆装样品托架时，操作更加快速简便，样品台经久耐用且不会使样品托插杆造成变形损坏。

【技术实现步骤摘要】
扫描电镜样品台
本技术涉及检测仪器
，特别涉及一种扫描电镜样品台。
技术介绍
现代材料科学、生物技术、纳米技术和电子芯片等研究领域在目前均得到飞速发展，共同的特点是，在这些领域中都迫切需要更多地从微观层次揭示材料的结构。电子显微镜以其比光学显微镜更高的分辨率、比透射显微镜更大的景深范围以及更容易快速掌握的制样技术而得到了广泛的应用。因此，扫描电镜在上述各研究领域中的利用率都很高。在采用扫描电镜进行实际操作中，样品的安装与拆卸效率以及样品台的故障率直接影响到扫描电镜的使用效率。具体的，在扫描电镜对多种材料的检测中，需要预先用导电胶将样品固定在样品托上，部分样品需经镀膜处理；然后再把样品托固定在样品台上。样品台是扫描电镜的重要部件，对扫描电镜的操作产生的影响较大。目前常用的扫描电镜样品台，是把样品托插入基座的插孔后，需用螺丝刀把在基座外侧与插孔相通的紧固螺栓拧紧，从而实现样品托的固定，在拆卸时也同样需要用螺丝刀把紧固螺栓松开才能取下样品托。目前的这种装拆样方式有以下不足：一方面，这种方式的装拆速度较慢，影响扫描电镜的使用效率；另一方面，经过反复使用后，紧固螺栓极易损坏甚至卡死，基座上的内螺纹和紧固螺栓出现滑丝现象，从而造成样品台的损坏；除此之外，紧固力度如果掌握不好还会使样品托铝制插杆受损。基于上述的对扫描电镜的背景分析可知，需要针对扫描电镜的样品台结构进行技术改进，以提高扫描电镜的使用效率以及在使用过程中的耐久稳定性。
技术实现思路
本技术的目的在于解决上述存在的上述问题，提供一种扫描电镜样品台。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扫描电镜样品台，包括圆盘形的基座和位于基座上的样品托架；基座上设置有若干个样品托插孔和与样品托插孔对应的样品托固定孔，样品托插孔由基座顶部向下开设，样品托固定孔由基座侧面向基座中心开设，且样品托固定孔与样品托插孔连通；样品托架包括插入样品托插孔内的插杆和设置于样品插杆顶部的托板；基座上还设置有用于固定样品托架的固定机构，固定机构具有插入顶杆，插入顶杆沿样品托固定孔向内插入与样品托插孔中的样品托架配合。作为优选的方案，插杆上部或托板底部设置有限位杆，基座上插孔对应处设置有限位槽，限位槽由样品托插孔向外开设。作为优选的方案，样品托插孔中心对称设置形成环状。作为优选的方案，基座底部设置有安装座，安装座底部具有滑槽。作为优选的方案，滑槽为燕尾槽。作为优选的方案，固定机构还包括固定拉簧和顶杆拉环，顶杆拉环设置于插入顶杆外端，固定拉簧一端与基座固定，另一端与顶杆拉环固定。作为优选的方案，基座底部还设置有把手，把手对称设置于基座上。作为优选的方案，把手向外延伸具有外端面，外端面上设置有防滑槽。作为优选的方案，插杆侧面具有V形的固定槽，插入顶杆端部为楔形，固定槽位置与样品托插孔及样品托固定孔的相对位置相配；插入顶杆端部与固定槽相配。作为优选的方案，基座中心具有样品托插孔且基座上设置相对应的样品托固定孔。本技术的有益效果是：本案的扫描电镜样品台可以用于扫描电镜的检测过程中，用于实现对样品托架的快速无损拆装。具体的是在拆装样品托架时，无需使用螺丝刀，仅需向外轻拉顶杆拉环，取出或放入样品托后松开顶杆拉环即可完成，操作更加快速简便，样品台经久耐用且不会使样品托插杆造成变形损坏。附图说明图1给出的是本技术的俯视结构示意图。图2给出的是本技术的仰视结构示意图。图3给出的是本技术的侧视结构示意图。图4给出的是本技术的插杆和基座配合结构示意图。图5给出的是本技术的插杆和插入顶杆的配合结构示意图。具体实施方式现在将进一步细化基于附图所示的代表性实施方案。应当理解，以下描述并非旨在将实施方案限制于一个优选实施方案。相反，其旨在涵盖可被包括在由所附权利要求限定的所述实施方案的实质和范围内的替代形式、修改形式和等同形式。在以下的详细描述中，参考了形成说明书的一部分的附图，并且在附图中以举例说明的方式示出了根据所述实施方案的具体实施方案。尽管足够详细地描述了这些实施例以使得本领域的技术人员能够实施所述实施例，但应当理解，这些实例不是限制性的，使得可以使用其它实例并且可在不脱离所述实施例的实质和范围的情况下做出相应的修改。附图1-5给出了一种扫描电镜样品台的实际实施的案例。如图所示，所给出的扫描电镜样品台，具体包括圆盘形的基座101和位于基座101上的样品托架201；首先是基座101上设置有若干个样品托插孔102和与样品托插孔102对应的样品托固定孔103，样品托插孔102由基座101顶部向下开设，大部分的样品托插孔102对称设置成为环状分布，此外，在基座101的中心也设置一个样品托插孔102；基座101为圆盘形的台面，直径50mm，厚度为10mm，样品托插孔102的直径为3.3mm。样品托固定孔103由基座101侧面向基座101中心开设，且样品托固定孔103与样品托插孔102连通；样品托固定孔103的直径为3.3mm，自基座101圆周外贯穿至样品托插孔102样品托架201包括插入样品托插孔102内的插杆202和设置于样品插杆202顶部的托板203。基座101上还设置有用于固定样品托架201的固定机构301，固定机构301具有插入顶杆302，固定拉簧303和顶杆拉环304，顶杆拉环304设置于插入顶杆302外端，固定拉簧303一端与基座101固定，另一端与顶杆拉环304固定。插入顶杆302沿样品托固定孔103向内插入与样品托插孔102中的样品托架201配合。插入顶杆302的长度为29mm，直径均为3mm，固定拉簧303的长度为6mm，固定拉簧303的两端呈逐渐缩小的阶梯状，有利于插入顶杆302位置的稳定，拨动或拉动顶杆拉环304后，插入顶杆302可以在一定范围内移动。固定拉簧303一端用两个拉簧固定螺丝固定在基座101圆周外侧，固定拉簧303另一端勾住顶杆拉环304侧的小孔内。为了更好地稳定样品托架201，插杆202上部或托板203底部设置有限位杆204，基座101上插孔对应处设置有限位槽104，限位槽104由样品托插孔102向外开设。限位杆204和限位槽104的配合确保样品托架201不会转动。进一步固定样品托架201，插杆202侧面具有V形的固定槽205，插入顶杆302端部为楔形，固定槽205位置与样品托插孔102及样品托固定孔103的相对位置相配；插入顶杆302端部与固定槽205相配。基座101底部中心位置固定设置有安装座401，安装座401底部具有滑槽402，滑槽402为燕尾槽，槽宽15~22mm，在此，该槽与德国蔡司公司的Sigma型扫描电镜样品台相匹配。基座101底部还设置有把手501，把手501对称设置于基座101上，把手501向外延伸具有外端面，外端面上设置有防滑槽502。把手501便于装卸样品台时的取放操作，防本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电镜样品台，其特征在于：包括圆盘形的基座和位于基座上的样品托架；基座上设置有若干个样品拖插孔和与样品拖插孔对应的样品托固定孔，样品拖插孔由基座顶部向下开设，样品托固定孔由基座侧面向基座中心开设，且样品托固定孔与样品拖插孔连通；样品托架包括插入样品拖插孔内的插杆和设置于样品插杆顶部的托板；基座上还设置有用于固定样品托架的固定机构，固定机构具有插入顶杆，插入顶杆沿样品托固定孔向内插入与样品拖插孔中的样品托架配合。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜样品台，其特征在于：包括圆盘形的基座和位于基座上的样品托架；基座上设置有若干个样品拖插孔和与样品拖插孔对应的样品托固定孔，样品拖插孔由基座顶部向下开设，样品托固定孔由基座侧面向基座中心开设，且样品托固定孔与样品拖插孔连通；样品托架包括插入样品拖插孔内的插杆和设置于样品插杆顶部的托板；基座上还设置有用于固定样品托架的固定机构，固定机构具有插入顶杆，插入顶杆沿样品托固定孔向内插入与样品拖插孔中的样品托架配合。


2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：插杆上部或托板底部设置有限位杆，基座上插孔对应处设置有限位槽，限位槽由样品拖插孔向外开设。


3.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：样品拖插孔中心对称设置形成环状。


4.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台，其特征在于：基座底部设置有安装座，安装座底部具有滑槽。

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【专利技术属性】
技术研发人员：徐国辉，王冰莹，曹钦存，陈文娟，徐芃羽，
申请(专利权)人：洛阳理工学院，
类型：新型
国别省市：河南;41