一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座制造技术

本实用新型专利技术的一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座，属于材料微纳尺度结构与性能原位表征技术领域，由相互凹凸配合并用于夹持片状样品的装载台和固定台组成，装载台在靠近于固定台的一侧顶部开设有侧开凹槽，固定台在靠近装载台的一侧设有与侧开凹槽卡合的凸块，且固定台上所设的凸块相对于装载台上所设的侧开凹槽轴向滑动配合；装载台面对固定台的对应面上并位于侧开凹槽两侧开设有安装孔，固定台面对装载台的对应面上并位于凸块两侧开设有与安装孔对应的通孔，且装载台上所设的安装孔与固定台上所设的通孔通过联接件连接；装载台在背离固定台的一侧顶部开设有用于放置三维原子探针样品的圆孔。本通用样品座适用于原位力学加载、扫描电镜和三维原子探针设备。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座
本技术属于材料微纳尺度结构与性能原位表征
，涉及一种扫描电子显微镜中特定位置取样加工和观察样品、原位力学加载测试、三维原子探针设备通用的、适合放置不同形状样品的底座设计。
技术介绍
扫描电子显微镜是材料微观组织结构分析的重要工具之一，结合其中加配的能谱探头(EDS)、电子背散射电子衍射探头(EBSD)可以检测从宏观到微观尺度下材料的成分、结构和取向信息；配有离子束的扫描电镜(聚焦离子束扫描电镜，FIB)可实现对样品特定位置的取样和加工；基于扫描电子显微镜的原位力学加载测试系统是指在微纳尺度下对样品进行力学性能测试，同时利用扫描电子显微图像信号的采集，对材料发生的微观变形和损伤进行全程动态监测的一种表征方法。近年来，基于扫描电子显微镜从宏观到微米甚至到纳米尺度放大倍数可调(约100到10万倍)、样品腔较大的特点，美国Hysitron公司等开发了商业化的原位力学测试系统，可以实现在扫描电镜的表征尺度下观察材料在受力状态下组织结构的变化。三维原子探针技术是近年来发展的先进表征技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座，其特征在于，由相互凹凸配合并用于夹持片状样品的装载台(1)和固定台(2)组成，装载台在靠近于固定台的一侧顶部开设有侧开凹槽(11)，固定台在靠近装载台的一侧设有与侧开凹槽卡合的凸块(21)，且固定台上所设的凸块相对于装载台上所设的侧开凹槽轴向滑动配合；装载台面对固定台的对应面上并位于侧开凹槽两侧开设有安装孔(12)，固定台面对装载台的对应面上并位于凸块两侧开设有与安装孔对应的通孔(22)，且装载台上所设的安装孔与固定台上所设的通孔通过联接件连接；装载台在背离固定台的一侧顶部开设有用于放置三维原子探针样品的圆孔(13)。/n

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座，其特征在于，由相互凹凸配合并用于夹持片状样品的装载台(1)和固定台(2)组成，装载台在靠近于固定台的一侧顶部开设有侧开凹槽(11)，固定台在靠近装载台的一侧设有与侧开凹槽卡合的凸块(21)，且固定台上所设的凸块相对于装载台上所设的侧开凹槽轴向滑动配合；装载台面对固定台的对应面上并位于侧开凹槽两侧开设有安装孔(12)，固定台面对装载台的对应面上并位于凸块两侧开设有与安装孔对应的通孔(22)，且装载台上所设的安装孔与固定台上所设的通孔通过联接件连接；装载台在背离固定台的一侧顶部开设有用于放置三维原子探针样品的圆孔(13)。


2.根据权利要求1所述的扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座，其特征在于，所述联接件为与安装孔所设螺纹相匹配的螺栓，或与安装孔及通孔过盈配合且具有锥度的销柱。


3.根据权利要求1所述的扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座，其特征在于，所述装载台底部设有底柱(3)，所述底座上套装有延长杆(4)。


4.根据权利要求3所述的扫描电镜及三维原子探针用跨设备表征通用样品底座，其特征在于，所述延长杆套设于呈中空状的底柱内，或所述底柱套设于呈中空状的延长杆内；相应的底柱或延长杆侧面开始有限位孔(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹玲飞，宋辉，吴晓东，张玲，黄晓旭，
申请(专利权)人：重庆大学，
类型：新型
国别省市：重庆;50