本实用新型专利技术涉及一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置，其特征在于：包括冷却装置、第一容器、升温装置和第二容器；所述冷区装置与第一容器连通，所述第一容器上设有第一出气管，所述第一出气管远离第一容器的一端设有第一收集容器；所述第一容器与第二容器通过升温装置连通，所述第二容器上设有第二出气管和第一出液管，所述第二出气管远离第二容器的一端设有第二收集容器，所述第一出液管远离第二容器的一端设有第三收集容器。本实用新型专利技术提供了一种可以分离二氯化硅的分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置。
【技术实现步骤摘要】
一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置
本技术涉及采样装置领域，尤其是一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置。
技术介绍
二氯硅烷主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅，它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,二氯硅烷沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低，采用二氯硅烷在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间，在二氯硅烷的成品中还含有其他氯硅烷杂质，在对这些杂质进行分析时，现有的采样装置对产品处理不足，所采集的样品中的二氯硅烷会影响分析结果。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种可以分离二氯化硅的分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置。本技术的技术方案是这样实现的：一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置，其特征在于：包括冷却装置、第一容器、升温装置、第二容器和若干管道；所述冷却装置包括冷却液槽、第一热交换器、冷却液泵和冷却液回收槽，所述冷却液槽内盛放有冷却液，所述冷却液泵的输入端通过管道与冷却液槽连通，所述冷却液泵的输出端通过管道与第一热交换器的冷媒入口端连通，所述第一热交换器的冷媒出口端通过管道与冷却液回收槽连通，所述第一热交换器的热媒入口端为样品输入端，所述第一热能交换器的热媒出口端通过管道与第一容器连通；所述第一容器上设有与第一容器内部连通的第一出气管，所述第一出气管远离第一容器的一端可拆卸连接有第一收集容器；所述升温装置包括升温液槽、第二热交换器、升温液泵和升温液回收槽，所述升温液槽内盛放有升温液，所述升温液泵的输入端通过管道与升温液槽连通，所述升温液泵的输出端通过管道与第二热交换器的热媒入口端连通，所述第二热交换器的热媒出口端通过管道与升温液回收槽连通，所述第二热交换器的冷媒入口通过管道与第一容器连通，所述第二热交换器的冷媒出口通过管道与第二容器连通，所述第二容器上设有与第二容器内部连通的第二出气管和第一出液管，所述第二出气管远离第二容器的一端可拆卸连接有第二收集容器，所述第一出液管远离第二容器的一端可拆卸连接有第三收集容器。通过采用上述技术方案，第一热交换器可以将二氯硅烷、三氯硅烷和四氯硅烷液化，第一出气管可以将气态的一氯硅烷导入第一收集容器，第一收集容器用于收集一氯硅烷，冷却液槽用于承载冷却液，冷却液泵可以抽取冷却液，冷却液与产品在第一热交换器内交换内能，所述第一容器用于气态的氯硅烷和其余液态组分的分离，第一出气口可以供气态一氯硅烷通过，第一收集容器用于收集一氯硅烷，第一容器内的液态组分经过第二热交换器可以将二氯硅烷转化为气态，升温泵用于将升温液槽内的升温液送入第二热交换器，升温液在第二热交换器内将热量传递给产品剩余的液态组分，第二出气管用于供气态的二氯硅烷通过，第二收集容器用于收集气态的二氯硅烷，第三收集容器用于收集第二容器内的液态组分。本技术进一步设置为：所述第一出气管上设有第一截止阀，所述第二出气管上设有第二截止阀，所述第一出液管上设有第三截止阀。通过采用上述技术方案，第一截止阀用于控制第一出气管的启闭，第二截止阀用于控制第二出气管的启闭，第三截止阀用于控制第一出液管的启闭，设置第一截止阀、第二截止阀和第三截止阀可以使收集容器的更换更加方便本技术进一步设置为：所述第一容器与第二容器外设有保温层。通过采用上述技术方案，保温层可以维持第一容器与第二容器内的温度保持稳定，内部的液体与气体状态更加稳定，使得样品的收集更加轻松。本技术进一步设置为：所述第一容器与第二热交换器之间的管道设为存水弯形。通过采用上述技术方案，存水弯形的水管道可以防止第一容器内的气体通过管道今入第二容器，提高了收集到的样品纯度。本技术进一步设置为：所述冷却液温度设置为0℃～5℃，所述升温液温度设置为15℃～20℃。通过采用上述技术方案，0℃～5℃的冷却液可以在保证二氯硅烷、三氯硅烷和四氯硅烷液化的同时，还保证了一氯硅烷不会液化；15℃～20℃的升温液可以使液态的二氯硅烷气化且保证三氯硅烷和四氯硅烷保持液态。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术具体实施方式结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术公开了一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置，在本技术具体实施例中，包括冷却装置1、第一容器2、升温装置3、第二容器4和若干根管道5；所述冷却装置1包括冷却液槽11、第一热交换器12、冷却液泵13和冷却液回收槽14，所述冷却液槽11内盛放有冷却液111，所述冷却液泵13的输入端通过管道5与冷却液槽11连通，所述冷却液泵13的输出端通过管道5与第一热交换器12的冷媒入口端连通，所述第一热交换器12的冷媒出口端通过管道5与冷却液回收槽14连通，所述第一热交换器12的热媒入口端为样品输入端，所述第一热交换器12的热媒出口端通过管道5与第一容器2连通；所述第一容器2上设有与第一容器2内部连通的第一出气管21，所述第一出气管21远离第一容器2的一端螺纹连接有第一收集容器211；所述升温装置3包括升温液槽31、第二热交换器32、升温液泵33和升温液回收槽34，所述升温液槽31内盛放有升温液311，所述升温液泵33的输入端通过管道5与升温液槽31连通，所述升温液泵33的输出端通过管道5与第二热交换器32的热媒入口端连通，所述第二热交换器32的热媒出口端通过管道5与升温液回收槽34连通，所述第二热交换器32的冷媒入口通过管道5与第一容器2连通，所述第二热交换器32的冷媒出口通过管道5与第二容器4连通，所述第二容器4上设有与第二容器4内部连通的第二出气管41和第一出液管42，所述第二出气管41远离第二容器4的一端螺纹连接有第二收集容器411，所述第一出液管42远离第二容器4的一端螺纹连接有第三收集容器421。通过采用上述技术方案，第一热交换器可以将二氯硅烷、三氯硅烷和四氯硅烷液化，第一出气管可以将气态的一氯硅烷导入第一收集容器，第一收集容器用于收集一氯硅烷，冷却液槽用于承载冷却液，冷却液泵可以抽取冷却液，冷却液与产品在第一热交换器内交换内能，所述第一容器用于气态的氯硅烷和其余液态组分的分离，第一出气口可以供气态一氯硅烷通过，第一收集容器用于收集一氯硅烷，第一容器内的液态组分经过第二热交换器可以将二氯硅烷转化为气态，升温泵用于将升温液槽内的升温液送入第二热交换器，升温液在第二热交换器内将热量传递给产品剩余的液态组分，第二出气管本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置，其特征在于：包括冷却装置、第一容器、升温装置、第二容器和若干管道；所述冷却装置包括冷却液槽、第一热交换器、冷却液泵和冷却液回收槽，所述冷却液槽内盛放有冷却液，所述冷却液泵的输入端通过管道与冷却液槽连通，所述冷却液泵的输出端通过管道与第一热交换器的冷媒入口端连通，所述第一热交换器的冷媒出口端通过管道与冷却液回收槽连通，所述第一热交换器的热媒入口端为样品输入端，所述第一热交换器的热媒出口端通过管道与第一容器连通；所述第一容器上设有与第一容器内部连通的第一出气管，所述第一出气管远离第一容器的一端可拆卸连接有第一收集容器；所述升温装置包括升温液槽、第二热交换器、升温液泵和升温液回收槽，所述升温液槽内盛放有升温液，所述升温液泵的输入端通过管道与升温液槽连通，所述升温液泵的输出端通过管道与第二热交换器的热媒入口端连通，所述第二热交换器的热媒出口端通过管道与升温液回收槽连通，所述第二热交换器的冷媒入口通过管道与第一容器连通，所述第二热交换器的冷媒出口通过管道与第二容器连通，所述第二容器上设有与第二容器内部连通的第二出气管和第一出液管，所述第二出气管远离第二容器的一端可拆卸连接有第二收集容器，所述第一出液管远离第二容器的一端可拆卸连接有第三收集容器。/n...
【技术特征摘要】
1.一种分析二氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置，其特征在于：包括冷却装置、第一容器、升温装置、第二容器和若干管道；所述冷却装置包括冷却液槽、第一热交换器、冷却液泵和冷却液回收槽，所述冷却液槽内盛放有冷却液，所述冷却液泵的输入端通过管道与冷却液槽连通，所述冷却液泵的输出端通过管道与第一热交换器的冷媒入口端连通，所述第一热交换器的冷媒出口端通过管道与冷却液回收槽连通，所述第一热交换器的热媒入口端为样品输入端，所述第一热交换器的热媒出口端通过管道与第一容器连通；所述第一容器上设有与第一容器内部连通的第一出气管，所述第一出气管远离第一容器的一端可拆卸连接有第一收集容器；所述升温装置包括升温液槽、第二热交换器、升温液泵和升温液回收槽，所述升温液槽内盛放有升温液，所述升温液泵的输入端通过管道与升温液槽连通，所述升温液泵的输出端通过管道与第二热交换器的热媒入口端连通，所述第二热交换器的热媒出口端通过管道与升温液回收槽连通，所述第二热交换器的冷媒入口通过管道与第一容器连通，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：姜瓘涛，杨利，于青玉，
申请(专利权)人：浙江西亚特电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。