电容式压力传感器结构制造技术

一种电容式压力传感器结构，涉及压力传感器领域。其在左夹板与右夹板之间安装金属薄膜,分别在左右夹板下方安装左右外套，左绝缘体固定安装左外套上，左绝缘体与左电极固定连接，右绝缘体固定安装在右外套上，右绝缘体与右电极固定连接，在左外套外侧固定连接左基座，在右外套外侧固定连接右基座。其结构简单，易于制造，精度高；其体积可以做的很小，以实现耨中特殊的测量。电容式传感器一般用金属作电极，以无极材料做绝缘支撑，因此，可工作在高低温、强辐射等恶劣的环境中，能够承受很大的温度变化，能测超高压和低压差。

【技术实现步骤摘要】
电容式压力传感器结构
本技术涉及压力传感器领域，特别涉及一种电容式压力传感器结构。
技术介绍
目前，压力传感器在工业领域中应用非常广泛，例如航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等。按照工作原理的不同，压力传感器主要分为压阻式、电容式以及压电式等。压阻式压力传感器由于其制造工艺与半导体工艺兼容性高，制造工艺简单，接口电路简单等优点，是目前压力传感器的主流技术。但是由于半导体的温度特性,压阻式压力传感器会发生温度漂移,在相当程度上限制了压阻式压力传感器的应用,并不适合一些高可靠性、精度高的应用领域。压电式压力传感器制造工艺复杂，温度系数大，使用及维护比较困难。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种电容式压力传感器结构。本技术所采用的技术方案是：一种电容式压力传感器结构，其技术要点是，包括左基座、右基座、带有环形凸起的左夹板、金属薄膜、带有凹槽的右夹板、左外套、右外套，左电极、右电极、左绝缘体及右绝缘体，在左夹板与右夹板之间安装金属薄膜,左夹板的凸起插接在右夹板的凹槽内将左夹板、金属薄膜及右夹板三者结合在一起；在左夹板下方安装左外套，左外套上固定左绝缘体，左绝缘体与左电极固定连接，在右夹板下方安装右外套，右外套上固定右绝缘体，右绝缘体与右电极固定连接，在左外套外侧固定连接左基座，在右外套外侧固定连接右基座。上述方案中，在金属薄膜与左夹板、右夹板的接触位置分别设有O型圈。上述方案中，左夹板和右夹板通过螺栓固定连接。上述方案中，左电极通过螺栓与左绝缘体连接，右电极通过螺栓与右绝缘体连接。上述方案中，左基座与右基座通过螺栓连接。本技术的有益效果是：该电容式压力传感器结构，结构简单，易于制造，精度高；其可以做的很小，以实现耨中特殊的测量。电容式传感器一般用金属作电极，以无极材料做绝缘支撑，因此，可工作在高低温、强辐射等恶劣的环境中，能够承受很大的温度变化，能测超高压和低压差。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例中右夹板结构示意图;图2为本技术实施例中左夹板结构示意图；图3为本技术实施例中左O型圈、右O型圈结构示意图；图4为本技术实施例中左右夹板与金属薄膜连接的结构示意图；图5为本技术实施例中电容式压力传感器结构示意图；图中序号说明如下：1左基座、2右基座、3左夹板、4右夹板、5左外套、6右外套，7左电极、8右电极、9左绝缘体、10右绝缘体、11左O型圈、12右O型圈、13金属薄膜、14密封槽、15环形凸起、16凹槽。具体实施方式使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图1～图5和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本实施例采用的电容式压力传感器结构，包括左基座1、右基座2、左夹板3、金属薄膜13、右夹板4、左外套5、右外套6，左电极7、右电极8、左绝缘体9及右绝缘体10，左夹板3上具有环形凸起15，右夹板4上具有与左夹板3上的环形凸起15相配合的凹槽16。左夹板3和右夹板4对合后环形凸起15与凹槽16可完全重合。在左夹板3和右夹板4上还设有密封槽14，密封槽14内分别放入左O型圈11和右O型圈12，然后在左夹板3和右夹板4中间夹金属薄膜13，然后用螺栓将两夹板锁紧。在左夹板3下方安装左外套5，左外套5再通过螺栓固定连接左绝缘体9，左绝缘体9与左电极7固定连接。在右夹板4下方安装右外套6，右外套6上固定右绝缘体10，右绝缘体10与右电极8固定连接，在左外套5外侧固定连接左基座1，在右外套6外侧固定连接右基座2。本实施例中电容式压力传感器结构的工作过程如下:当被测介质的两种压力通入左夹板3、右夹板4形成的密封压力腔中，作用在金属薄膜13（敏感元件）上，金属薄膜13与位于左绝缘体9上的左电极7、位于右绝缘体10上的右电极8组成一个电容器。应用时，当金属薄膜片13两侧气压不一致时，致使金属薄膜片13产生位移，其位移量和压力差成正比，故两侧电容量就不等，通过振荡和调节环节，转换成与压力成正比的信号。接着进行信号调制得到调制电流，A/D转换器将调节器的电流转换成数字信号，其值被微处理器用来判定输入压力值。微处理控制变送器的工作。以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电容式压力传感器结构，其特征在于，包括左基座、右基座、带有环形凸起的左夹板、金属薄膜、带有凹槽的右夹板、左外套、右外套，左电极、右电极、左绝缘体及右绝缘体，在左夹板与右夹板之间安装金属薄膜,左夹板的凸起插接在右夹板的凹槽内将左夹板、金属薄膜及右夹板三者结合在一起；在左夹板下方安装左外套，左外套上固定左绝缘体，左绝缘体与左电极固定连接，在右夹板下方安装右外套，右外套上固定右绝缘体，右绝缘体与右电极固定连接，在左外套外侧固定连接左基座，在右外套外侧固定连接右基座。/n

【技术特征摘要】
1.一种电容式压力传感器结构，其特征在于，包括左基座、右基座、带有环形凸起的左夹板、金属薄膜、带有凹槽的右夹板、左外套、右外套，左电极、右电极、左绝缘体及右绝缘体，在左夹板与右夹板之间安装金属薄膜,左夹板的凸起插接在右夹板的凹槽内将左夹板、金属薄膜及右夹板三者结合在一起；在左夹板下方安装左外套，左外套上固定左绝缘体，左绝缘体与左电极固定连接，在右夹板下方安装右外套，右外套上固定右绝缘体，右绝缘体与右电极固定连接，在左外套外侧固定连接左基座，在右外套外侧固定连接右基座。
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【专利技术属性】
技术研发人员：曲学涛，赵明，
申请(专利权)人：沈阳艾尔泰克精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21