用于电容式压力传感器设备的微机械构件制造技术

本发明专利技术涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件，具有：衬底(10)；框围部分表面(16)的框架结构(12)；膜片(18)，其借助框架结构(12)如此展开，使得膜片(18)的无支承的区域(20)跨越所框围的部分表面(16)，其中存在参考压力(p

【技术实现步骤摘要】
用于电容式压力传感器设备的微机械构件
本专利技术涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件和一种电容式压力传感器设备。本专利技术同样涉及一种用于电容式压力传感器设备的微机械构件的制造方法和一种用于制造电容式压力传感器设备的方法。
技术介绍
在DE102009000403A1中描述一种电容式压力传感器，该电容式压力传感器包括衬底、施加到衬底的一侧上的中间层、将中间层的部分表面框起来的框架结构和借助该框架结构展开的膜片。膜片和框架结构包围其中存在内压力的空腔。此外，通过在无支承(freitragen)的区域的从空腔离开地取向的外侧上的物理压力不等于内压力的方式，膜片的至少一个无支承的区域可以如此变形，使得固定在无支承的区域上且伸入到空腔中的第一电极相对于所框围(umrahmen)的部分表面上的第二电极是可移动的。借助分析处理施加在两个电极之间的电压，应该能够确定存在于无支承的区域外侧上的物理压力。
技术实现思路
本专利技术提出一种具有本专利技术的技术方案的用于电容式压力传感器设备的微机械构件、一种具有本专利技术的技术方案的电容本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机械构件，所述微机械构件用于电容式压力传感器设备，所述微机械构件具有：/n衬底(10)；/n框架结构(12)，所述框架结构框围所述衬底(10)的部分表面(16)和/或框围存在于所述衬底(10)上的至少一个中间层(14)；/n膜片(18)，所述膜片借助所述框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的无支承的区域(20)跨越所框围的部分表面(16)，其中，由所述框架结构(12)和所述膜片(18)包围的内部容积(22)是气密密封的，在所述内部容积中存在参考压力(p

【技术特征摘要】
20181221 DE 102018222712.81.一种微机械构件，所述微机械构件用于电容式压力传感器设备，所述微机械构件具有：
衬底(10)；
框架结构(12)，所述框架结构框围所述衬底(10)的部分表面(16)和/或框围存在于所述衬底(10)上的至少一个中间层(14)；
膜片(18)，所述膜片借助所述框架结构(12)如此展开，使得所述膜片(18)的无支承的区域(20)跨越所框围的部分表面(16)，其中，由所述框架结构(12)和所述膜片(18)包围的内部容积(22)是气密密封的，在所述内部容积中存在参考压力(p0)，其中，通过在所述无支承的区域(20)的从所述内部容积(22)离开地指向的外侧(20a)上的物理压力(p)不等于所述参考压力(p0)的方式，所述膜片(18)的无支承的区域(20)能够变形；
测量电极(24)，所述测量电极布置在所框围的部分表面(16)上；
其特征在于，所述微机械构件具有参考测量电极(26)，除了所述测量电极(24)外，所述参考测量电极也布置在所框围的部分表面(16)上，然而所述参考测量电极与所述测量电极(24)电隔离。


2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，所述测量电极(24)和对电极(32)——所述对电极(32)构造在所述无支承的区域(20)中和/或固定在所述无支承的区域(20)上——能够如此电接通，使得能够量取在所述测量电极(24)与所述对电极(32)之间存在的测量电压，其中，所述参考测量电极(26)和参考对电极(36)——所述参考对电极(36)构造在所述无支承的区域(20)中和/或固定在所述框架结构(12)上和/或固定在所框围的部分表面(16)上——能够如此电接通，使得能够量取在所述参考测量电极(26)与所述参考对电极(36)之间存在的参考电压。


3.根据权利要求2所述的微机械构件，其中，能够量取所述测量电极(24)与固定在所述无支承的区域(20)上的对电极(32)之间的测量电压，并且能够量取所述参考测量电极(26)与参考对电极(36)——所述参考对电极(36)固定在所述框架结构(12)上和/或固定在所框围的部分表面(16)上——之间的参考测量电压，其中，所述对电极(32)相对于所述测量电极(24)如此布置，且所述参考对电极(36)相对于所述参考测量电极(26)如此布置，使得在所述无支承的区域(20)的外侧(20a)上的物理压力(p)等于所述参考压力(p0)时，所述对电极(32)处在至所述测量电极(24)的第一间距(d1)中，而所述参考测量电极(26)处在至所述参考对电极(36)的第二间距(d2)中，所述第二间距小于所述第一间距。


4.根据以上权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，能够限定由所述框架结构(12)框围的部分表面(16)的中点(M)，其中，所述测量电极(24)覆盖所述中点(M)，而所述参考测量电极(26)与所述中点(M)间隔开地布置在所框围的部分表面(16)上。


5.根据以上权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述测量电极(24)处在由所述参考测量电极(26)围绕的面内。


6.根据以上权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，通过在所述无支承的区域(20)的外侧(20a)上占主导的物理压力(p)超过所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：T·弗里德里希，C·赫尔梅斯，H·阿特曼，H·韦伯，P·施莫尔格鲁贝尔，V·森兹，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE