槽体结构、清洗机器及清洗方法技术

本发明专利技术提供了一种槽体结构和清洗机器以及清洗方法，槽体结构包括：多个槽体板，多个槽体板相连接围成了第一内腔；隔离板，隔离板设置在第一内腔内，与第一内腔的腔壁连接；其中，隔离板将内腔隔离开，以形成相互隔离的第一腔体和第二腔体。通过本发明专利技术的技术方案，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体，由于第一腔体和第二腔体隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
槽体结构、清洗机器及清洗方法
本专利技术涉及清洗设备
，具体而言，涉及槽体结构、清洗机器及清洗方法。
技术介绍
近些年来，半导体行业尤其国内产业蓬勃发展，芯片制程规格越来越精细，行业对晶圆清洗的洁净度要求也越来越高，相应地，对晶圆制作中使用的石英管的清洗要求同样重要，不容忽视。相关技术中采用卧式清洗机器对石英管进行清洗，该清洗机器中的旋转机构一直浸泡于药液中，旋转结构旋转时，链条与链轮之间产生的磨损呈粉末状的颗粒，这样会影响清洗腔内的洁净度，从而影响石英管的清洗洁净度。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提供一种槽体结构。本专利技术的另一个目的在于提供一种清洗机器。为了实现上述目的，本专利技术的实施例提供了一种槽体结构，包括：多个槽体板，多个槽体板相连接围成了第一内腔；隔离板，隔离板设置在第一内腔内，与第一内腔的腔壁连接；其中，隔离板将第一内腔隔离开，以形成相互隔离的第一腔体和第二腔体。在该技术方案中，将清洗机器中的链轮和链条设置在第二腔体，由于第一腔体和第二腔体隔离而不连通，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保了第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。另外，本专利技术提供的上述实施例中的槽体结构还可以具有如下附加技术特征：在上述技术方案中，所述槽体结构还包括多个槽体连接板，多个所述槽体连接板与多个所述槽体板围成了第二内腔，所述第二内腔与所述第一内腔相连通。在该技术方案中，由于第一内腔和第二内腔相连通，这样第一内腔内的清洗液能够流到第二内腔内进行排除，从而增强了槽体结构的排水能力。在上述任一技术方案中，所述第一内腔的腔壁上设置有溢流口，所述第一内腔通过所述溢流口与所述第二内腔连接。在该技术方案中，当第一内腔内的清洗液上升到一定高度时，在溢流口的作用下，第一内腔内的清洗液溢流到第二内腔内，这样便于控制第一内腔内清洗液的量，从而确保槽体结构能存储足够的清洗液对待清洗件进行清洗，另外，溢流口能够将多余的清洗液排放到第二内腔内进行排放。在上述任一技术方案中，优选地，所述第一内腔的底部设置有第一排液口。在该技术方案中，第一排液口为主要排液口排放第一内腔内的清洗液，第一排液口能够将第一内腔内的清洗液快速的排出，从而确保清洗机器能够正常地工作。在上述任一技术方案中，优选地，所述第二内腔的底部设置有第二排液口。在该技术方案中，第二排液口为辅助排液口排放第二内腔内的清洗液。这样第一排液口和第二排液口相配合，提高了槽体结构的排液能力，从而确保清洗机器能够正常地工作。本专利技术第二方面的技术方案提供了一种清洗机器，所述清洗机器包括上述任一技术方案所述的槽体结构，所述第一内腔的腔壁包括侧壁和与所述侧壁连接的底壁，所述清洗机器还包括：喷淋管和进水管，所述喷淋管和所述进水管间隔设置在所述侧壁上；托轮组件，所述托轮组件与所述隔离板可转动地设置，所述托轮组件位于所述喷淋管和所述进水管的下方。在该技术方案中，进水管用于向第一内腔内注入清洗液，进水管在长度上分布密集出水小孔，确保整根进水管均匀出水。管上小孔根据所用主管截面积推算，做到小孔流通截面积之和小于主管流通截面积。这样实现了进水管的均匀喷水，且喷出的水具有一定出水力度。另外，喷淋管用于对待清洗件，比如石英管，进行冲洗和吹干，从而除去待清洗件外壁上的脏污及药液残留，在确保待清洗件清洗干净的同时，还能够确保石英管下料时人工搬运时的安全；托轮组件主要用支撑待清洗件，同时，托轮组件能够带动待清洗件转动，从而确保待清洗件的外壁面能够完全被清洗，进而确保清洗机器的清洗能力。本专利技术第二方面的技术方案提供的清洗机器，因包括第一方面技术方案中任一项所述的槽体结构，因而具有上述任一技术方案所具有的一切有益效果，在此不再赘述。在上述任一技术方案中，所述清洗机器还包括鼓泡管，所述鼓泡管与所述底壁连接。在该技术方案中，鼓泡管上开有密集出气小孔，从孔处喷出氮气，产生密集小气泡，利于混合及清洗。与进水管类似，管上小孔根据所用主管截面积推算，做到小孔流通截面积之和小于主管流通截面积。这样实现了鼓泡管的均匀喷气，且喷出的气体具有一定出气力度。从而起到混合清洗液，实现辅助清洗的目的，进而增强清洗机器的清洗能力。在上述任一技术方案中，所述隔离板设置有安装孔，所述清洗机器还包括：旋转轴，所述旋转轴的一端从所述安装孔穿出，所述旋转轴的一部分位于所述第一腔体内，所述旋转轴的另一部分位于所述第二腔体内；从动部件，所述从动部件设置在所述第二腔体内，且与所述旋转轴连接；支撑组件，设置在所述第一腔体内，且与所述底壁连接，用于支撑所述旋转轴。在该技术方案中，从动部件能够带动旋转轴转动，由于旋转轴与托轮组件连接，从而使得托轮组件能够转动，进而带动待清洗件转动，以确保待清洗件的外壁面能够完全被清洗；支撑组件用于支撑旋转轴，防止转动轴在转动时发生偏斜而影响待清洗件的清洗工作，从而确保清洗机器能够正常的工作在上述任一技术方案中，所述清洗机器还包括设置所述隔离板上的密封组件，所述密封组件用于密封所述安装孔。在该技术方案中，密封组件通过密封住旋转轴与安装孔之间的环形间隙，从而防止第一腔体内的清洗液流入第二腔体内，从而确保清洗机器能够正常的工作。在上述任一技术方案中，所述从动部件包括从动链轮和与所述从动链轮配合的链条。在该技术方案中，清洗机器中的链轮和链条均设置在第二腔体，这样避免了链轮和链条配合时产生磨损颗粒进入到第一腔体(清洗腔)，以确保第一腔体内清洗液的纯净度，从而确保清洗机器的清洗效率。本专利技术第三方面的技术方案提供了一种清洗方法，所述清洗方法利用上述任一技术方案所述的清洗机器进行清洗，所述清洗方法包括第一清洗过程和第二清洗过程。在上述任一技术方案中，当所述清洗机器的第一腔体处于空槽状态时，采用所述第一清洗过程，所述第一清洗过程包括以下步骤：S10：利用喷淋管冲洗待清洗件；S20：利用进水管向所述第一腔体内注水，待清洗件在所述第一腔体内进行清洗；S30：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；S40：利用鼓泡管的氮气对待清洗件进行吹干；S50：利用机械手将待清洗件搬运到料口。在上述任一技术方案中，当所述清洗机器的第一腔体处于注水状态时，采用所述第二清洗过程，所述第二清洗过程包括以下清洗步骤：S12：待清洗件在第一腔体内进行清洗；S22：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；S32：利用喷淋管冲洗待清洗件；S42：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；S52：利用进水管向所述第一腔体内注水，待清洗件在第一腔体内进行清洗；S62：利用排水口排出所述第一腔体内的注水；S72：利用鼓泡管的氮气对待清洗件进行吹干；S82：利用机械手将待清洗件搬本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种槽体结构，其特征在于，所述槽体结构包括：/n多个槽体板(10)，多个所述槽体板(10)相连接围成了第一内腔(12)；/n隔离板(20)，所述隔离板(20)设置在所述第一内腔(12)内，与所述第一内腔(12)的腔壁连接；/n其中，所述隔离板(20)将所述第一内腔(12)隔离开，以形成相互隔离的第一腔体(122)和第二腔体(124)。/n

【技术特征摘要】
1.一种槽体结构，其特征在于，所述槽体结构包括：
多个槽体板(10)，多个所述槽体板(10)相连接围成了第一内腔(12)；
隔离板(20)，所述隔离板(20)设置在所述第一内腔(12)内，与所述第一内腔(12)的腔壁连接；
其中，所述隔离板(20)将所述第一内腔(12)隔离开，以形成相互隔离的第一腔体(122)和第二腔体(124)。


2.根据权利要求1所述的槽体结构，其特征在于，所述槽体结构还包括多个槽体连接板(30)，多个所述槽体连接板(30)与多个所述槽体板(10)围成了第二内腔(32)，所述第二内腔(32)与所述第一内腔(12)相连通。


3.根据权利要求2所述的槽体结构，其特征在于，所述第一内腔(12)的腔壁上设置有溢流口(129)，所述第一内腔(12)通过所述溢流口(129)与所述第二内腔(32)连接。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的槽体结构，其特征在于，所述第一内腔(12)的底部设置有第一排液口(40)。


5.根据权利要求2所述的槽体结构，其特征在于，所述第二内腔(32)的底部设置有第二排液口(50)。


6.一种清洗机器，其特征在于，所述清洗机器包括如权利要求1至5中任一项所述的槽体结构，所述第一内腔(12)的腔壁包括侧壁(128)和与所述侧壁连接的底壁(126)，所述清洗机器还包括：
喷淋管(60)和进水管(70)，所述喷淋管(60)和所述进水管(70)间隔设置在所述侧壁(128)上；
托轮组件(80)，所述托轮组件(80)与所述隔离板(20)可转动地设置，所述托轮组件(80)位于所述喷淋管(60)和所述进水管(70)的下方。


7.根据权利要求6所述的清洗机器，其特征在于，所述清洗机器还包括鼓泡管(90)，所述鼓泡管(90)与所述底壁(126)连接。


8.根据权利要求7所述的清洗机器，其特征在于，所述隔离板(20)设置有安装孔，所述清洗机器还包括：
旋转轴(100)，所述旋转轴(100)的一端从所述安装孔穿出，所述旋转轴(...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，任金枝，陈雷，成旭，李雄朋，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32