一种压电喷墨打印喷头的驱动元件结构制造技术

本发明专利技术提供了一种压电喷墨打印喷头的驱动元件结构，属于半导体传感器执行器制造技术领域。该驱动元件结构包括振动薄板、底电极、压电陶瓷、顶电极；当所述顶电极和所述底电极同时通电时，压电陶瓷会因为逆压电效应发生变形，进而驱动所述振动薄板变形，所述振动薄板变形会挤压压电喷墨打印喷头腔室内的墨水，进而使墨水喷出。本设计结构所使用的振动薄板材料可以是金属、无机物、有机物等单一材料，也可以是多种材料互相组合而成的材料。本设计的压电喷墨打印喷头的驱动元件结构，其制作工艺简单、成本低、工艺重复性好。

【技术实现步骤摘要】
一种压电喷墨打印喷头的驱动元件结构
本专利技术属于半导体传感器执行器制造
，具体的是采用微机电技术(MEMS)设计制造的一种压电喷墨打印喷射头的驱动元件，包括顶电极、压电陶瓷、底电极和振动薄板的材料性能和结构参数设计。
技术介绍
喷墨打印自19世纪50年代被专利技术后，由于其打印头不接触承接物，印刷图像清晰等特点，使其得以快速广泛的发展。随着喷墨打印头技术的不断革新，喷墨打印在印刷行业中的地位越来越高。而且，喷墨打印技术已从图形印刷发展到新的领域，如机械工程，生命科学和电子产品。它的低成本，非接触和易于物料处理的优点现在被研究的越来越多。压电驱动方案和热驱动方案是两个最成熟的喷墨打印技术。压电驱动方案是一种利用压电元件挤压振动薄板，进而挤压腔室内的墨水，来实现墨滴喷射的按需喷墨打印技术。与热驱动方案相比，压电驱动打印技术具有能耗低，驱动力大，制造周期短等优点，本专利技术以压电振动薄板为研究对象，重点研究了振动薄板的材料性能参数和尺寸对压电喷墨打印的影响。在压电喷墨打印头中，压电振动薄板通过施加的电压波形产生的小位移在墨水通道中产生本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电喷墨打印喷头的驱动元件结构，其特征在于，该驱动元件结构包括振动薄板和压电元件；所述振动薄板主要由材料(1)、材料(2)、材料(3)、材料(4)组成，所述压电元件主要由底电极、压电陶瓷(6)、顶电极组成，所述底电极主要由材料(5)组成，所述顶电极主要由材料(7)、材料(8)组成；当底电极和顶电极同时通电时，压电陶瓷(6)会发生变形，进而导致所述振动薄板变形，挤压墨水，进而使墨水喷出。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电喷墨打印喷头的驱动元件结构，其特征在于，该驱动元件结构包括振动薄板和压电元件；所述振动薄板主要由材料(1)、材料(2)、材料(3)、材料(4)组成，所述压电元件主要由底电极、压电陶瓷(6)、顶电极组成，所述底电极主要由材料(5)组成，所述顶电极主要由材料(7)、材料(8)组成；当底电极和顶电极同时通电时，压电陶瓷(6)会发生变形，进而导致所述振动薄板变形，挤压墨水，进而使墨水喷出。


2.根据权利要求1所述的驱动元件结构，其特征在于，所述材料(1)为Cr、Ni、Cu、SiO2、Si或Si3N4，所述材料(2)为Ti或Cr，所述材料(3)为Pt或Au，所述材料(4)为Cr、Ni、Cu、SiO2、Si或Si3N4，所述材料(5)为Pt或Au，所述材料(7)为Ti或Cr，所述材料(8)为Pt或Au。


3.根据权利要求1或2所述的驱动元件结构，其特征在于，所述材料(1)、材料(2)、材料(3)、材料(4)、材料(5)、压电陶瓷(6)、材料(7)和材料(8)的厚度相同或不同，范围为不大于10um。


4.根据权利要求1或2所述的驱动元件结构，其特征在于，所述底电极、压电陶瓷(...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹赫麟，王秋森，韩梅，
申请(专利权)人：大连瑞林数字印刷技术有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21