电子管制造技术

电子管包括：具有被气密密封的内部空间的壳体；电极，用于在内部空间内进行利用电子释放的能量的产生或者检测。壳体包括：主体部，其形成有构成内部空间的凹部且由绝缘性材料构成；和以封闭凹部的开口的方式固定于主体部的盖部。凹部随着朝向开口侧而扩展。在主体部，固定有与电极电连接并且贯通主体部的贯通部件。贯通部件具有从凹部的底面突出到内部空间内的内部空间突出部。

【技术实现步骤摘要】
电子管
本专利技术的一个方面涉及一种电子管(ELECTRONTUBE)。
技术介绍
作为与现有的电子管有关的技术，已知例如日本特开2013－19719号公报、美国专利第5500531号说明书和日本专利第3470077号公报所记载的技术。在日本特开2013－19719号公报中，记载了一种火焰传感器，其包括通过蚀刻设置有空腔的下盖、以关闭空腔的方式与下盖接合的上盖和配置于空腔内的电极。在美国专利第5500531号说明书中，记载了一种放电型的紫外线检测器，其包括通过蚀刻形成有空腔的硅基板、设置于硅基板上的玻璃基板和设置于空腔内的电极。在日本专利第3470077号公报中，记载了一种放电发光装置，其包括：互相重叠的基板及透明基板；和形成于基板及透明基板的内部电极及外部电极。在日本专利第3470077号公报所记载的放电发光装置中，在基板与透明基板间形成有放电空间。
技术实现思路
在上述那样的电子管中，为了抑制未意图的放电，耐压特性是重要的特性之一，希望提高耐压性能。另外，在上述那样的电子管中，为了期望大量生产，其制造的容易性也是重要的。本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种能够提高耐压性能并且能够容易地制造的电子管。本专利技术的一个方面所涉及的电子管包括：具有气密密封的内部空间的壳体；电极，用于在内部空间内进行利用电子释放的能量的产生或者检测，壳体包括：主体部，其形成有构成内部空间的凹部，由绝缘性材料构成；和以封闭凹部的开口的方式固定于主体部的盖部，凹部随着朝向开口侧而扩展，在主体部，固定有与电极电连接并且贯通主体部的贯通部件，贯通部件具有从凹部的底面突出到内部空间内的内部空间突出部。在该电子管中，利用具有内部空间突出部的贯通部件来进行与电极的电连接，由此与使用例如沿壳体内壁面设置的导电膜等的情况相比，能够降低内部空间内的与壳体的电极的接触面积，因此能够提高在内部空间内的耐压性能。此外，由于凹部随着朝向开口侧而扩展，因此在使用模具来形成主体部的凹部的情况下能够容易地脱模。因此，能够提高耐压性能并且能够容易地制造。在本专利技术的一方面所涉及的电子管中，也可以为主体部包括第一板状部和设置于第一板状部上的框状的侧壁部，盖部包括固定在侧壁部上，与第一板状部相对的第二板状部，贯通部件贯通第一板状部。根据该结构，在具有板状部相对的壳体的电子管中，能够稳定地固定贯通部件。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为凹部的侧面以随着朝向开口侧而凹部扩展的方式连续地倾斜。根据该结构，能够稳定地形成具有一定形状的凹部的主体部。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为贯通部件的内部空间突出部中的侧面的至少一部分被由绝缘性材料构成的绝缘部所覆盖。根据该结构，能够减少内部空间内的贯通部件的露出，提高在内部空间内的耐压性能。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为电极保持在贯通部件的内部空间突出部中的前端侧，内部空间突出部具有随着朝向该前端侧而扩展的扩大部。根据该结构，能够扩大在内部空间突出部中保持电极的前端侧的截面积。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为扩大部的至少一部分被由绝缘性材料构成的绝缘部所覆盖。根据该结构，能够减少内部空间内的扩大部的露出，提高在内部空间内的耐压性能。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为扩大部的侧面以随着朝向前端侧而贯通部件扩展的方式连续地倾斜。根据该结构，由绝缘部无间隙地覆盖扩大部的侧面变得容易，能够容易地提高在内部空间内的耐压性能。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为作为与电极不同的其它的电极，还具有以与贯通部件相对的方式设置于盖部的相对电极，相对电极与不露出到内部空间内而贯通主体部的供电部电连接。根据该结构，能够减少与相对电极电连接的供电部的内部空间中的露出，并提高在内部空间内的耐压性能。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为盖部由具有能量透过性的绝缘性材料构成。根据该结构，能够构成盖部来作为内部空间内的能量的产生或检测所涉及的窗部并进一步提高在内部空间内的耐压性能。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为在构成内部空间的面的至少一部分形成有凹部、凸部和粗面部的至少任一者。根据该结构，能够增大内部空间内的沿面距离。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为在主体部的外表面的至少一部分形成有凹部、凸部和粗面部的至少任一者。根据该结构，能够增大主体部的外表面上的沿面距离。在本专利技术的一个方面所涉及的电子管中，也可以为电极与贯通部件一体地形成。根据该结构，能够更容易地进行制造。附图说明图1是第一实施方式所涉及的电子管的截面图。图2是图1的电子管的分解立体图。图3是图1的电子管的制造方法中使用的夹具的俯视图。图4A是说明图1的电子管的制造方法的一部分截面图。图4B是表示图4A的后续的一部分截面图。图5A是表示图4B的后续的一部分截面图。图5B是表示图5A的后续的一部分截面图。图6A是表示图5B的后续的一部分截面图。图6B是表示图6A的后续的一部分截面图。图6C是表示图6B的后续的一部分截面图。图7A是表示图6C的后续的一部分截面图。图7B是表示图7A的后续的一部分截面图。图7C是表示图7B的后续的一部分截面图。图8A是表示图7C的后续的一部分截面图。图8B是表示图8A的后续的一部分截面图。图9是说明第二实施方式所涉及的电子管的制造方法的一部分截面图。图10A是说明第三实施方式所涉及的电子管的制造方法的一部分截面图。图10B是说明第三实施方式所涉及的电子管的制造方法的其它的一部分截面图。图11A是说明第四实施方式所涉及的电子管的制造方法的一部分截面图。图11B是说明第四实施方式所涉及的电子管的制造方法的其它的一部分截面图。图12A是说明第五实施方式所涉及的电子管的制造方法的一部分截面图。图12B是说明第五实施方式所涉及的电子管的制造方法的其它的一部分截面图。图13A是说明第五实施方式的变形例所涉及的电子管的制造方法的一部分截面图。图13B是说明第五实施方式的变形例所涉及的电子管的制造方法的其它的一部分截面图。图14A是第一变形例所涉及的电子管的截面图。图14B是第二变形例所涉及的电子管的截面图。图15A是第三变形例所涉及的电子管的截面图。图15B是第四变形例所涉及的电子管的截面图。图15C是第五变形例所涉及的电子管的截面图。具体实施方式下面，参照附图，对一个实施方式进行详细的说明。此外，在下面的说明中，对相同或者相当的要素标注相同的符号，并省略重复的说明。另外，下面的说明中的尺寸不必与附图相当。[第一实施方式]如图1和图2所示，电子管1是封入有氖气或者氢气等放电气体的作为受光元件(能量检测元件)来发挥作用的放电管。电子管1被本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子管，其特征在于，/n包括：/n壳体，其具有被气密密封的内部空间；和/n电极，其用于在所述内部空间内进行利用电子释放的能量的产生或者检测，/n所述壳体包括：/n主体部，其形成有构成所述内部空间的凹部，且由绝缘性材料构成；和/n盖部，其以封闭所述凹部的开口的方式固定于所述主体部，/n所述凹部随着朝向所述开口侧而扩展，/n在所述主体部，固定有与所述电极电连接并且贯通所述主体部的贯通部件，/n所述贯通部件具有从所述凹部的底面突出到所述内部空间内的内部空间突出部。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子管，其特征在于，
包括：
壳体，其具有被气密密封的内部空间；和
电极，其用于在所述内部空间内进行利用电子释放的能量的产生或者检测，
所述壳体包括：
主体部，其形成有构成所述内部空间的凹部，且由绝缘性材料构成；和
盖部，其以封闭所述凹部的开口的方式固定于所述主体部，
所述凹部随着朝向所述开口侧而扩展，
在所述主体部，固定有与所述电极电连接并且贯通所述主体部的贯通部件，
所述贯通部件具有从所述凹部的底面突出到所述内部空间内的内部空间突出部。


2.如权利要求1所述的电子管，其特征在于：
所述主体部包括第一板状部和设置于所述第一板状部上的框状的侧壁部，
所述盖部包括固定在所述侧壁部上，与所述第一板状部相对的第二板状部，
所述贯通部件贯通所述第一板状部。


3.如权利要求1或2所述的电子管，其特征在于：
所述凹部的侧面以所述凹部随着朝向所述开口侧而扩展的方式连续地倾斜。


4.如权利要求1～3中的任一项所述的电子管，其特征在于：
所述贯通部件的所述内部空间突出部中的侧面的至少一部分被由绝缘性材料构成的绝缘部所覆盖。


5.如权利要求1～4中的任一项所述的电子管，其特征在于：
所述电极保持于所述贯通部件的所述内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：小玉刚史，河野泰行，原真一，下井英树，影山裕之，长谷川祐介，掛井良太，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP