一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片的流量流速的微阀制造技术

本发明专利技术提供一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量调节的微阀，其包括包括驱动模块和传感调节模块以及流量调节方法。其驱动模块包括保温腔、电磁加热器、空腔层等，用来为微阀提供动力源。传感调节模块主要包括温度薄膜传感器、压电薄膜以及PDMS薄膜等，用来检测温度是否达到标准以及流量是否达到预期。两个模块通过彼此间的配合来实现调节微流控芯片通道的流量大小以及开关。使用温度作为动力源，通过温度薄膜传感器的反馈精准控制动力的大小，最后通过压电薄膜反馈是否达到要求。本发明专利技术所设计的微流控芯片流量调节的微阀具有体积小、控制精度高，灵敏度高，可实时反馈等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片的流量流速的微阀
本专利技术涉及一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片的流量流速的微阀。
技术介绍
微流控芯片(Microfluidicchip)是指通过微加工技术(MEMS)、注塑技术及其它加工方法将一个生物、化学实验室的基本功能微缩到一块只有几平方厘米大的芯片上面，一般由微通道形成网络，用可控流体贯穿整个系统，用以实现常规化学或生物实验室的各种功能。微流控芯片是通过控制不同流体在单一微通道或微通道网络中流动以集成样品制备、反应、分离、检测等一系列过程的一种技术平台，其分析检测过程的微型化、集成化、快速化以及低成本、少试剂、高通量等特点使其在在分析化学、环境学及生物学等多个领域得到广泛应用。传统的微流控芯片采用可动部件控制的微流控阀门，结构复杂，加工工艺繁琐，仪器设备要求较高并且在工作时不能精准的控制流量大小，容易出现微流道里的液体泄露。在具体的应用方面，有些实验室虽然经过各种简单或复杂的程序可以提供可靠的流体样品测试，但是都无法实时显示控制效果。基于压电薄膜反馈控制微流控芯片使用实体阀门，体积更小并采用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量流速的微阀，其特征在于：将PDMS、压电薄膜、玻璃集成一体，使用温度作为动力源，密封腔内的空气作为介质，调节PDMS薄膜的变形量，以改变微流控芯片通道的横截面积，具有体积小、控制精度高，灵敏度高，可实时反馈等优点。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量流速的微阀，其特征在于：将PDMS、压电薄膜、玻璃集成一体，使用温度作为动力源，密封腔内的空气作为介质，调节PDMS薄膜的变形量，以改变微流控芯片通道的横截面积，具有体积小、控制精度高，灵敏度高，可实时反馈等优点。


2.根据权利要求1所述的一种基于压电薄膜反馈控制微流控芯片流量流速的微阀，其特征在于，包括驱动模块和传感调节模块。驱动模块由保温腔1、加热器2、空腔层3组成；传感调节模块包括温度薄膜传感器4、压电薄膜5以及PDMS薄膜6组成。初始状态时，阀门完全打开，通过电磁加热器使空腔层内部温度逐渐升高，其内部空气受热膨胀增加空腔层内部压强，对空腔层下方的压电薄膜以及PDMS薄膜产生压力使之变形，减小微流控芯片通道横截面积进而减小微流控芯片通道的流量。在停止加热以后，温度逐渐降低，空腔层内部的压强逐渐减少，PDMS薄膜逐渐恢复。


3.根据权利要求1所述的一种基于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊尧，李云鹏，刘欢，孙琪，侯琪，孙功臣，陈星宇，
申请(专利权)人：东北电力大学，
类型：发明
国别省市：吉林;22