一种热反射装置及管式真空加热设备制造方法及图纸

技术编号:25654870 阅读:46 留言:0更新日期:2020-09-15 21:51
本实用新型专利技术公开了一种热反射装置及管式真空加热设备,该热反射装置包括:炉门板,其形状与管式真空加热设备的截面一致;至少两层挡热板,其设于所述炉门板的同一侧;其中,所述炉门板与所述挡热板设置在所述管式真空加热设备的端部。本案的热反射装置不仅可以反射80%的进射热量,而且可以避免因辐射传热炉门板因辐射传热温度过高导致密封圈变性失效,从而炉门的密封性能会受到影响。

【技术实现步骤摘要】
一种热反射装置及管式真空加热设备
本专利技术涉及太阳能电池制备领域,特别涉及一种热反射装置及管式真空加热设备。
技术介绍
在太阳能电池制备领域中,采用PEVCD方式在电池表面上沉积形成减反膜是众所周知中,在沉积过程中往往需要用到用于提供沉积反应空间的管式真空加热设备。在研究和优化PEVCD沉积工艺的过程中,专利技术人发现现有技术中的管式真空加热设备至少存在如下问题:现有技术中的很多真空加热设备炉门直接与炉体工艺腔直接压紧密封,保温隔热性能差,由于在真空状态下,高温炉体工艺腔主要通过热辐射的方式向周围传热,这将导致炉体工艺腔中出现升温慢和保温过程中热量损失过多的问题。有鉴于此,实有必要开发一种热反射装置及管式真空加热设备,用以解决上述问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处,本专利技术的目的是提供一种热反射装置,其通过在炉门板的内侧加装双层镀铝硅挡热钢板,不仅可以反射80%的进射热量,而且可以避免因辐射传热炉门板因辐射传热温度过高导致密封圈变性失效,从而炉门的密封性能会受到影响。为了实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热反射装置,其特征在于,包括:/n炉门板(210),其形状与管式真空加热设备的截面一致;/n至少两层挡热板(220),其设于所述炉门板(210)的同一侧;/n其中,所述炉门板(210)与所述挡热板(220)设置在所述管式真空加热设备的端部。/n

【技术特征摘要】
1.一种热反射装置,其特征在于,包括:
炉门板(210),其形状与管式真空加热设备的截面一致;
至少两层挡热板(220),其设于所述炉门板(210)的同一侧;
其中,所述炉门板(210)与所述挡热板(220)设置在所述管式真空加热设备的端部。


2.如权利要求1所述的热反射装置,其特征在于,两两所述挡热板(220)之间设有一定间距;
其中,两两所述挡热板(220)之间设有氧化铝陶瓷螺丝(230)固定。


3.如权利要求1所述的热反射装置,其特征在于,两两所述挡热板(220)的表面镀有隔热反射的薄膜。


4.如权利要求1所述的热反射装置,其特征在于,两两所述挡热板(220)...

【专利技术属性】
技术研发人员:王玉明程海良闫宝杰曾俞衡陈晖谢利华李旺鹏
申请(专利权)人:苏州拓升智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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