等离子体处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种等离子体处理装置，具备被施加从电源部输出的输出电压的电压施加电极，利用在上述电压施加电极和与上述电压施加电极对置的对置电极之间产生的等离子体对被处理物进行处理，上述等离子体处理装置具备：使上述电压施加电极与上述被处理物相对移动的促动器；配置在上述对置电极与上述促动器之间的绝缘部；以及检测经由上述对置电极流动的电流的电流检测部。

【技术实现步骤摘要】
等离子体处理装置
本专利技术涉及一种等离子体处理装置。
技术介绍
现今，大多利用以下技术：使密闭容器的内部减压来产生等离子体，对配置在该密闭容器内的工件进行等离子体处理。专利文献1公开这样的进行等离子体处理的等离子体处理装置的一例。上述专利文献1的等离子体处理装置是将处理对象物收纳在处理室内来进行等离子体处理的装置，具有放电检测传感器。放电检测传感器具有板状的电介质部件和探头电极。电介质部件的一个面与在处理室内产生的等离子体对置地装配于真空腔室。探头电极配置于电介质部件的另一个面。探头电极经由检测导线而与信号记录部连接。在探头电极中感应出与等离子体的状态对应的电位。探头电极的电位由检测导线引导至信号记录部，从而由信号记录部记录与等离子体的状态对应的电位变化的信号。由此，若在处理室的内部产生异常放电等，则等离子体的状态变动，检测该变动作为探头电极的电位变化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-135253号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在等离子体处理装置搭载有搬运处理对象物的促动器等，在促动器中，有因从用于生成等离子体的电源接受到的电磁波而产生噪声的担忧，在上述专利文献1中，未考虑上述噪声对放电检测传感器影响。尤其是，近年来，确立了在大气压下稳定地进行等离子体放电的技术，实际使用了开放空间内的等离子体处理。在这样的大气压等离子体处理中，需要对电极施加更高的电压，从而上述噪声的影响更大。鉴于上述状况，本专利技术的目的在于提供一种利用简易的结构就能够高精度地检测等离子体放电状态的等离子体处理装置。用于解决课题的方案本专利技术示例的等离子体处理装置具备被施加从电源部输出的输出电压的电压施加电极，利用在上述电压施加电极和与上述电压施加电极对置的对置电极之间产生的等离子体对被处理物进行处理，上述等离子体处理装置具备：促动器，其使上述电压施加电极与上述被处理物相对移动；绝缘部，其配置在上述对置电极与上述促动器之间；以及电流检测部，其检测经由上述对置电极流动的电流。专利技术的效果根据本专利技术示例的等离子体处理装置，利用简易的结构就能够高精度地检测等离子体放电状态。附图说明图1是简要地示出第一实施方式的等离子体处理装置的整体结构的图。图2是示出第一实施方式的等离子体处理装置中的施加给电压施加电极的输出电压、和由电流检测部检测到的检测电流信号的波形例的图。图3是示出比较例的等离子体处理装置中的输出电压和检测电流信号的波形例的图。图4是示出被处理物的处理工序的一例的俯视图。图5是简要地示出第二实施方式的等离子体处理装置的整体结构的图。图6是简要地示出第三实施方式的等离子体处理装置的整体结构的图。图7是简要地示出第四实施方式的等离子体处理装置的整体结构的图。图中：1—被处理物，11—对置侧电极面，2—电压施加电极，21—对置侧电极面，3—电介质部，4—电源部，41—第一输出端，42—第二输出端，5—工作台，6—绝缘部，7—促动器，8—信号处理箱，81—电流检测部，82—判定部，10—等离子体处理装置，15—位移计，101～103—等离子体处理装置，20—电压施加电极，201—对置侧电极面，30—电介质部，40—电源部，401—第一输出端，402—第二输出端，50—对置电极，501—对置侧电极面，60—绝缘部，70—促动器，80—信号处理箱，801—电流检测部，802—判定部，90—被处理物，L1—第一线，L2—第二线，L3—第三线，L4—第四线，L5—第五线，L6—第六线，L7—第七线。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术示例的实施方式进行说明。＜1.第一实施方式＞图1是简要地示出第一实施方式的等离子体处理装置10的整体结构的图。图1所示的等离子体处理装置10是在大气压下产生等离子体来对金属制的被处理物1进行等离子体处理的装置。等离子体处理装置10具有电压施加电极2、电介质部3、电源部4、工作台5、绝缘部6、以及促动器7。电源部4具有第一输出端41和第二输出端42。电源部4从第一输出端41对电压施加电极2施加高频且高电压的输出电压。上述输出电压是交流电压。即，等离子体处理装置10具备电压施加电极2，对该电压施加电极2施加从电源部4输出的输出电压。并且，电源部4具有对电压施加电极2施加输出电压的第一输出端41和与第一输出端41不同的第二输出端42。电源部4所施加的电压的频率例如为1kH～100kHz。电源部4所施加的电压的波形优选为脉冲波形，但除此以外，还可以为正弦波、矩形波等，使用在大气压等离子体放电中使用的公知波形即可。并且，电源部4所施加的电压例如为5kVpp～20kVpp，根据电压施加电极2与被处理物1之间的间隙等而适当地设定。被处理物1由金属制成，并在上下方向上与电压施加电极2对置。电压施加电极2具有对置侧电极面21作为与被处理物1对置的一侧的端面。被处理物1具有对置侧电极面11作为与电压施加电极2对置的一侧的端面。电介质部3配置于对置侧电极面21。作为电介质部3的材料，适宜使用氧化铝、氧化锆等陶瓷材料、或者易切削陶瓷等。在电介质部3与被处理物1之间形成有缝隙S1。利用在缝隙S1内产生的等离子体P对被处理物1的作为被处理面的对置侧电极面11进行等离子体处理。被处理物1作为与电压施加电极2对置的对置电极发挥功能，利用在电介质部3与被处理物1之间产生的等离子体P直接地对被处理物1进行处理。即，等离子体处理装置10利用在电压施加电极2和与电压施加电极2对置的对置电极1之间产生的等离子体对被处理物1进行处理。工作台5载置被处理物1并保持被处理物1。即，等离子体处理装置10具备载置被处理物1的工作台5。工作台5由金属制成。绝缘部6配置在工作台5与促动器7之间。即，绝缘部6配置在对置电极1与促动器7之间。绝缘部6例如由片状的绝缘材料构成。绝缘部6使工作台5与促动器7电绝缘。促动器7将被处理物1与工作台5及绝缘部6一起沿搬运方向搬运。即，促动器7使电压施加电极2与被处理物1相对移动。工作台5经由第一线L1而与第二输出端42连接。信号处理箱8收纳电流检测部81和判定部82。电流检测部81配置于第一线L1的中途。即，电流检测部81配置于使对置电极1与第二输出端82导通的第一线L1。促动器7通过第二线L2接地。第一线L1不与使促动器7接地的第二线L2连接。电流检测部81与工作台5通过第三线L3连接。即，第三线L3是第一线L1的一部分。电流检测部81由例如将电流转换成电压的电阻构成。当在缝隙S1内产生了放电时，放电电流经由被处理物1及工作台5而流经电流检测部81。由此，电流检测部81检测放电电流。即，电流检测部81检测经由对置电极1流动的电流。判定部82基于电流检测部81的检测结果来进行判定处理。在下文中说明判定部82所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体处理装置，具备被施加从电源部输出的输出电压的电压施加电极，利用在上述电压施加电极和与上述电压施加电极对置的对置电极之间产生的等离子体对被处理物进行处理，/n上述等离子体处理装置的特征在于，具备：/n促动器，其使上述电压施加电极与上述被处理物相对移动；/n绝缘部，其配置在上述对置电极与上述促动器之间；以及/n电流检测部，其检测经由上述对置电极流动的电流。/n

【技术特征摘要】
20190305 JP 2019-0396501.一种等离子体处理装置，具备被施加从电源部输出的输出电压的电压施加电极，利用在上述电压施加电极和与上述电压施加电极对置的对置电极之间产生的等离子体对被处理物进行处理，
上述等离子体处理装置的特征在于，具备：
促动器，其使上述电压施加电极与上述被处理物相对移动；
绝缘部，其配置在上述对置电极与上述促动器之间；以及
电流检测部，其检测经由上述对置电极流动的电流。


2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，
上述对置电极是上述被处理物。


3.根据权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于，
上述促动器接地。


4.根据权利要求3所述的等离子体处理装置，其特征在于，
上述电源部具有：对上述电压施加电极施加上述输出电压的第一输出端；以及与上述第一输出端不同的第二输出端，
上述电流检测部配置于使上述对置...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥大辅，
申请(专利权)人：日本电产株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP