一种可开关式体声波滤波器制造技术

本发明专利技术公开一种可开关式体声波滤波器，所述可开关式体声波滤波器包括若干个串联的体声波谐振器和若干个并联的体声波谐振器；所述体声波谐振器包括第一金属层、压电层和第二金属层；压电层位于第一金属层和第二金属层的中间。所述第一金属层材料为高功函数金属。所述第二金属层材料为低声学损耗金属。所述压电层采用压电半导体材料作为压电材料。本发明专利技术的压电层中压电半导体材料上添加不同禁带宽度的三元化合物构成异质结产生二维电子气。第一金属层上的偏置电压控制二维电子气的产生与耗尽，从而达到控制谐振器开启与关闭。本发明专利技术结构简单，开启电压低且具有良好的隔离度。

【技术实现步骤摘要】
一种可开关式体声波滤波器
本专利技术涉及半导体器件领域中的射频微机电器件技术，具体涉及一种可开关式体声波滤波器。
技术介绍
随着5G时代的来临，无线通讯设备不断朝着多功能，微型化发展。这就意味着当今市场对无线通讯的关键部分射频前端要求着其更高的集成度以及更低的信号功率损耗。据Skyworks公司预计，5G成熟阶段射频前端滤波器数量会增加到100余个，开关超过30余个。现存的射频前端开关或滤波器选择器将难以应对这样高速的发展，新型快速开关器件的研发具有重要的研究价值。在射频电路中对所需的器件进行选择有两种方法：第一种方法是在不同的器件之间添加选择开关，而选择开关的添加会增加电路复杂度同时器件之间的影响无法彻底消除；第二种方法是使器件自身具有开关特性，本专利技术将采用这一种方法。目前可开关式射频声波滤波器在国内尚未有相关研究报导，但在国外已有一定的研究，已报道的可开关功能的滤波器的实现方案主要有如下几种：1、S.Li,Y.Lin,Z.RenandC.T.-.Nguyen,"AnMSIMicromechanicalDiffer本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可开关式体声波滤波器，其特征在于，所述可开关式体声波滤波器包括若干个串联的体声波谐振器和若干个并联的体声波谐振器；/n所述体声波谐振器包括第一金属层、压电层和第二金属层；压电层位于第一金属层和第二金属层的中间。/n

【技术特征摘要】
1.一种可开关式体声波滤波器，其特征在于，所述可开关式体声波滤波器包括若干个串联的体声波谐振器和若干个并联的体声波谐振器；
所述体声波谐振器包括第一金属层、压电层和第二金属层；压电层位于第一金属层和第二金属层的中间。


2.根据权利要求1所述的一种可开关式体声波滤波器，其特征在于，所述第一金属层为高功函数的金属，并与压电层形成肖特基接触。


3.根据权利要求2所述的一种可开关式体声波滤波器，其特征在于，所述第二层金属层材料为低声学损耗的金属。


4.根据权利要求3所述的一种可开关式体声波滤波器，其特征在于，所述压电层包括禁带宽度不同的压电半导体材料层和三元化合物层，所述压电半导体材料层和三元化合物层构成异质结。


5.根据权利要求4所述的一种可开关体声波滤波器，其特征在于，所述禁带宽度不同的压电...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱浩慎，许霄彤，薛泉，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：广东;44