一种冷却液循环系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种冷却液循环系统，包括用于冷却液的中转的集中溢流装置；一用于与线切机连通循环的线切机供液循环支路，线切机供液循环支路的进液端和出液端均与集中溢流装置连通，对多台线切机进行冷却液供液并进行冷却液集中回收；一用于对集中溢流装置进行冷却液补充的补液循环支路，补液循环支路的进液端和出液端均与集中溢流装置连通，便于冷却液废液处理后进入集中溢流装置。本实用新型专利技术的有益效果是结构简单，安装拆卸维修方便，具有集中溢流装置和集中过滤装置，能够对进入多台线切机的冷却液集中过滤，保证进入切割仓内冷却液品质的一致性，减少在线液中粘稠物等杂质，提升在线冷却液品质。

【技术实现步骤摘要】
一种冷却液循环系统
本技术属于硅片切割
，尤其是涉及一种冷却液循环系统。
技术介绍
目前硅片切割采用金刚石线切片技术，其机理是机器带动缠绕在槽轮上的金刚线发生高速运转，与单晶硅棒发生摩擦完成切割。此过程会产生大量的热量，需要冷却液进行冷却。冷却液中添加的消泡剂主要成是难溶于水或微溶于水的有机物，此类有机物在线切机中高速剪切、受温度变化影响等作用下破乳析出可视乳白色粘稠物；在线液循环系统中粘稠物不断析出、团聚、堆积，造成在线液系统精滤器和线切机前端过滤袋频繁堵塞，滤袋更换频次高、用量大，同时对在线液供液的稳定性、品质的一致性等造成了影响。
技术实现思路
鉴于上述问题，本技术要解决的问题是提供一种冷却液循环系统，适用于线切机冷却液循环系统使用，采用集中溢流装置和集中过滤装置，对冷却液集中过滤，过滤后的冷却液同时进入多台线切机内，保证进入切割仓内的冷却液品质的一致性。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种冷却液循环系统，包括，用于冷却液的中转的集中溢流装置；一用于与线切机连通循环的线切机供液本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冷却液循环系统，其特征在于：包括，/n用于冷却液的中转的集中溢流装置；/n一用于与线切机连通循环的线切机供液循环支路，所述线切机供液循环支路的进液端和出液端均与所述集中溢流装置连通，对多台线切机进行冷却液供液并进行冷却液集中回收；/n一用于对集中溢流装置进行冷却液补充的补液循环支路，所述补液循环支路的进液端和出液端均与所述集中溢流装置连通，便于冷却液废液处理后进入所述集中溢流装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种冷却液循环系统，其特征在于：包括，
用于冷却液的中转的集中溢流装置；
一用于与线切机连通循环的线切机供液循环支路，所述线切机供液循环支路的进液端和出液端均与所述集中溢流装置连通，对多台线切机进行冷却液供液并进行冷却液集中回收；
一用于对集中溢流装置进行冷却液补充的补液循环支路，所述补液循环支路的进液端和出液端均与所述集中溢流装置连通，便于冷却液废液处理后进入所述集中溢流装置。


2.根据权利要求1所述的冷却液循环系统，其特征在于：所述线切机循环支路系统包括集中供液装置和集中过滤装置，所述集中溢流装置、所述集中供液装置与所述集中过滤装置依次连接，所述集中过滤装置的出液端分别与多台线切机的过滤系统连接，所述多台线切机的过滤系统的出液端与所述集中溢流水箱连接，便于为线切机提供冷却液并进行集中回收。


3.根据权利要求1或2所述的冷却液循环系统，其特征在于：所述补液循环支路包括冷却液处理装置和过滤装置，所述集...

【专利技术属性】
技术研发人员：张中赛，王少刚，付少华，魏辉，王如意，辛超，史丹梅，
申请(专利权)人：天津市环欧半导体材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12