【技术实现步骤摘要】
应用于电流传感器的隔离结构及电流传感器
本专利技术属于微电子机械制造领域,尤其涉及一种应用于电流传感器的隔离结构及电流传感器。
技术介绍
电流传感器是一种检测装置,其能感受到被测电流的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为符合一定标准需要的电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。如图1所示,现有的电流传感器结构包括:金属框架1,电性连接金属框架1的隔离结构2,以及设置于隔离结构正上方的且具有磁感应功能的霍尔传感器3;所述金属框架1通常使用裸铜为基材的金属材料。所述隔离结构自下向上依次包括:电流导体层21、绝缘介质层22,粘结层23、感应电路层24;所述粘结层通常为具有粘合效果的胶水。结合图2所示,传统的绝缘介质层22采用双层胶带结构,每层胶带通常由聚酰亚胺材质的膜22a和粘合膜22b组成;如此,现有的隔离结构能实现电流导体通过大电流产生电场被磁感应电路感测,同时达到电流导体和磁感应电路之间电气隔离的目的。然而,受技术局限性的影响,现有技术的隔离结 ...
【技术保护点】
1.一种应用于电流传感器的隔离结构,其特征在于,/n所述隔离结构自下向上依次包括:电流导体层、绝缘介质层和磁场感应电路层;/n所述绝缘介质层包括:粘结于所述电流导体层设置的第一粘结层、粘结于所述磁场感应电路层设置的第二粘结层,以及设置于所述第一粘结层和所述第二粘结层之间的增强型绝缘安全隔离层。/n
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种应用于电流传感器的隔离结构,其特征在于,
所述隔离结构自下向上依次包括:电流导体层、绝缘介质层和磁场感应电路层;
所述绝缘介质层包括:粘结于所述电流导体层设置的第一粘结层、粘结于所述磁场感应电路层设置的第二粘结层,以及设置于所述第一粘结层和所述第二粘结层之间的增强型绝缘安全隔离层。
2.根据权利要求1所述的应用于电流传感器的隔离结构,其特征在于,所述增强型绝缘安全隔离层包括:靠近第一粘结层设置的硅基晶圆和设置于所述硅基晶圆之上的绝缘膜。
3.根据权利要求2所述的应用于电流传感器的隔离结构,其特征在于,所述硅基晶圆与所述磁场感应电路层具有相同的热膨胀系数。
4.根据权利要求1所述的应用于电流传感器的隔离结构,其特征在于,所述增强型绝缘安全隔离层为玻璃板。
5.根据权利要求4所述的应用于电流传感器的隔离结构,其特征在于,所述玻璃的热膨胀系数与所述磁场感应电路层的热膨胀系数的差值小于预设热膨胀系数阈值。
技术研发人员:王立,盛云,
申请(专利权)人:苏州纳芯微电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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