一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统技术方案

技术编号:25634845 阅读:32 留言:0更新日期:2020-09-15 21:27
本发明专利技术公开了一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,解决了现有技术电热蒸发等离子体原子发射光谱仪装置存在单一气源气路系统无法同时满足电热蒸发进样及微等离子体激发是各自所需最优气体环境的技术问题。本发明专利技术提供一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,其包括互相连通的电热蒸发进样管和微等离子体反应管,电热蒸发进样管为双管式结构:内管和外管;内管的两端分别为内管进气口和内管出气口,内管出气口设于外管的内部,内管的内部设有电热蒸发进样装置,位于内管上、靠近内管出气口处还设有外端部穿过外管的进样支管,且进样支管的外端口为进样口;可广泛应用于光分析检测技术领域。

【技术实现步骤摘要】
一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统
本专利技术涉及光分析检测
,具体为一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统。
技术介绍
现有电热蒸发(ETV)等离子体原子发射光谱仪装置的气路系统主要采用单一气源将电热蒸发与等离子体激发区直接连通,所用载气主要为高纯惰性气体。载气的作用主要有两方面,一是电热蒸发过程中带动气化后的待测元素进入激发区,二是作为工作气体在高压下被击穿产生低温等离子体。电热蒸发过程,样品需要经过瞬间高温被气化,在载气(高纯惰性气体,如氩气、氦气)带动下进入等离子体激发区被激发产生特征光谱,无论是进样过程中空气中氧气的扩散进入气路系统,还是金属盐类分解时产生的氧原子,以及样品中溶解的氧气,都会使电热蒸发进样装置在瞬间高温过程中发生氧化,这将极大影响电热蒸发进样装置寿命及检测结果的稳定性,因此为保护电热蒸发进样装置,需添加适量还原性气体,如氢气。在等离子体激发区,高纯惰性气体(如氩气、氦气)作为工作气体,当电极两端实际的电压超过帕邢击穿电压时产生高能量的等离子体,用于激发气态样品元素产生原子发射光谱。存在的问题是,此过程若有少量氢气存在,会极大削弱等离子体能量,影响待测元素的激发,降低检测性能;而且单一气源气路系统无法同时满足电热蒸发进样及微等离子体激发是各自所需最优气体环境。
技术实现思路
本专利技术目的是为克服上述现有技术不足,为解决上述问题,提高了一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,该系统可以通过调节两种气源的气体流速实现装置内不同区域气体成分控制,以分别满足电热蒸发进样及微等离子体激发所需的气体环境,更利于提高电热蒸发进样微等离子体光谱技术检测重金属的性能。为解决以上技术问题,本专利技术提供一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,其包括互相连通的电热蒸发进样管和微等离子体反应管,电热蒸发进样管为双管式结构:内管和外管;内管的两端分别为内管进气口和内管出气口,内管出气口设于所述外管的内部,内管的内部设有电热蒸发进样装置,位于内管上、靠近内管出气口处还设有外端部穿过外管的进样支管,且进样支管的外端口为进样口。优选的,电热蒸发进样管为设于微等离子体反应管上的分支结构,内管进气口穿过外管的外端部;外管的外端设有第一进气口;靠近电热蒸发进样管一侧的、微等离子体反应管的一端与质谱仪连接;远离电热蒸发进样管一侧的、微等离子体反应管的一端连接设有抽气泵。优选的,从电热蒸发进样管与微等离子体反应管之间的夹角大于90°。优选的,微等离子体反应管上设有等离子体激发装置。优选的,从外管的外端设有第一进气口内部通入高纯氩气;从内管的内管进气口通入低浓度氢气。本专利技术的有益效果:本专利技术的连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,具有装置结构简单巧妙,操作简便,该系统可以通过调节两种气源的气体流速实现装置内不同区域气体成分控制,以分别满足电热蒸发进样及微等离子体激发所需的气体环境,更利于提高电热蒸发进样微等离子体光谱技术检测重金属的性能。附图说明图1为本专利技术的结构示意图。图中:1.电热蒸发进样管,2.微等离子体反应管,3.内管,4.外管,5.内管进气口,6.内管出气口,7.电热蒸发进样装置,8.进样支管,9.进样口,10.第一进气口,11.质谱仪,12.抽气泵,13.等离子体激发装置。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。在本专利技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。请参阅图1,本专利技术提供一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,其包括互相连通的电热蒸发进样管1和微等离子体反应管2,电热蒸发进样管2为双管式结构:内管3和外管4;内管3的两端分别为内管进气口5和内管出气口6,内管出气口6设于外管4的内部,内管3的内部设有电热蒸发进样装置7,位于内管3上、靠近内管出气口6处还设有外端部穿过外管4的进样支管8,且进样支管8的外端口为进样口9。电热蒸发进样管1为设于微等离子体反应管2上的分支结构,内管进气口5穿过外管4的外端部;外管4的外端设有第一进气口10;靠近电热蒸发进样管1一侧的、微等离子体反应管2的一端与质谱仪11连接;远离电热蒸发进样管1一侧的、微等离子体反应管2的一端连接设有抽气泵12。从电热蒸发进样管1与微等离子体反应管2之间的夹角大于90°,使得从电热蒸发进样管1的气源更容易进入微等离子体反应管2中,且不对光谱仪的检测造成干扰。微等离子体反应管2上设有等离子体激发装置13。从外管4的外端设有第一进气口10内部通入高纯氩气;从内管3的内管进气口6通入低浓度氢气(添加适量氢气的惰性气体)。使用过程步骤为:待测样品经过内管3的进样口9滴加至电热蒸发进样装置7中,将抽气泵12的电源打开,对微等离子体反应管2内的气体杂质进行抽吸排出30s。从外管4的第一进气口10通入高纯氩气(高纯惰性气体),关闭抽气泵12;打开电热蒸发进样装置7的电源,依次进行电热蒸发程序(干燥)——除基体,同时从内管3的内管进气口5通入低浓度氢气(添加适量氢气的惰性气体——气化,经过内管3末端内管出气口6随着外管4中的气流一起进入微等离子体反应管2内的微等离子体区域。气路系统末端设置抽气泵12,在进样后打开,用于抽除气路系统内的空气,进一步保护灯丝不受氧化。本专利技术的双管式结构的电热蒸发进样管,可以实现在内管3内有氢气(1%)的情况下,在样品气化时,通过设定内管较小的流量(<50ml/min),外管4较大的气流(>500ml/min),确保电热蒸发装置7周围有适量高浓度氢气环境,微等离子体区域内氢气浓度极低的条件(浓度低至不影响等离子体强度);既能使电热蒸发受到保护,又不影响光谱检测性能。本专利技术的连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,具有装置结构简单巧妙,操作简便,该系统可以通过调节两种气源的气体流速实现装置内不同区域气体成分控制,以分别满足电热蒸发进样及微等离子体激发所需的气体环境,更利于提高电热蒸发进样微等离子体光谱技术检测重金属的性能。以上所述,仅为本专利技术较佳的具体实施方式,但本专利技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本专利技术揭露的技术范围内,根据本专利技术的技术方案及其专利技术构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,其特征在于,其包括互相连通的电热蒸发进样管和微等离子体反应管,所述电热蒸发进样管为双管式结构:内管和外管;所述内管的两端分别为内管进气口和内管出气口,所述内管出气口设于所述外管的内部,所述内管的内部设有电热蒸发进样装置,位于所述内管上、靠近所述内管出气口处还设有外端部穿过所述外管的进样支管,且所述进样支管的外端口为进样口。/n

【技术特征摘要】
1.一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,其特征在于,其包括互相连通的电热蒸发进样管和微等离子体反应管,所述电热蒸发进样管为双管式结构:内管和外管;所述内管的两端分别为内管进气口和内管出气口,所述内管出气口设于所述外管的内部,所述内管的内部设有电热蒸发进样装置,位于所述内管上、靠近所述内管出气口处还设有外端部穿过所述外管的进样支管,且所述进样支管的外端口为进样口。


2.根据权利要求1所述的一种连接电热蒸发进样与微等离子体的气路系统,其特征在于,所述电热蒸发进样管为设于所述微等离子体反应管上的分支结构,所述内管进气口穿过所述外管的外端部;所述外管的外端设有第一进气口;
靠近所述电热蒸发进样...

【专利技术属性】
技术研发人员:于凯阚光峰张向楠刘向宇杨彬
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学威海
类型:发明
国别省市:山东;37

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