一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置制造方法及图纸

一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置，包括含矩形槽的加载盘和用于粘结试样的抛光陪片，与试样粘结后的抛光陪片通过内六角圆柱螺钉固定在加载盘的矩形槽侧壁。加载盘底面的矩形槽垂直于加载盘表面，均匀分布于加载盘底面，外圆面上设有与矩形槽数量相同的带沉头螺纹孔，螺纹孔贯穿至矩形槽。抛光陪片的尺寸与试样相同，材料为硅片或与试样相同。本实用新型专利技术可保证抛光截面与试样加工表面垂直，抛光完成后，可快速拆卸抛光陪片，方便分离试样，保证检测结果的可靠性，提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置
本技术属于光学材料亚表面损伤观测的专用夹具，具体涉及一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置。
技术介绍
光学玻璃(熔融石英和K9玻璃)广泛用于制备精密光学系统和高激光通量系统中的关键光学元件。光学玻璃的精密加工(磨削和研磨)过程会在材料表层残留不同程度的损伤(划痕、凹坑和裂纹等)。研究表明，亚表面损伤会显著降低光学元件的激光损伤阈值，进而削弱光学系统的寿命和稳定性。由于亚表面损伤主要来自于磨削和研磨加工中磨粒与试样表面的复杂压入和划入作用产生的机械损伤。为研究亚表面损伤产生机理、表征方法和影响规律，进而优化超精密加工工艺，需要对亚表面损伤形貌进行观测和分析。截面显微法常用于检测光学玻璃亚表面损伤形貌。根据测量步骤的不同，截面显微法可分为“粘结-加工-分离-观测”和“加工-剖面-抛光-观测”两种检测类型。前者由于试样处于非整体的加工方式，粘结面的材料变形难以反映真实的加工应力状态，以致截面裂纹难以表征真实损伤形貌；后者采用先加工后剖面观测的方式，截面裂纹为真实加工损伤。然而，截面抛光过程本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置，包括含矩形槽的加载盘和用于粘结试样的抛光陪片，其特征在于，与试样粘结后的抛光陪片通过螺钉固定在加载盘的矩形槽侧壁，所述矩形槽垂直于加载盘表面，均匀分布于加载盘底面，所述加载盘外圆面上设有与矩形槽数量相同的带沉头螺纹孔，螺纹孔贯穿至矩形槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种光学玻璃亚表面损伤观测的截面抛光装置，包括含矩形槽的加载盘和用于粘结试样的抛光陪片，其特征在于，与试样粘结后的抛光陪片通过螺钉固定在加载盘的矩形槽侧壁，所述矩形槽垂直于加载盘表面，均匀分布于加载盘底面，所述加载...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华东，庞佩，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33